Государственная поверочная схема для средств измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы

(утв. Приказом Росстандарта от 09.11.2018 № 2340)

Утверждена Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 9 ноября 2018 г. № 2340

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОВЕРХНОСТЕЙ СЛОЖНОЙ ФОРМЫ

1. Область применения

Настоящая Государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы от Государственного первичного специального эталона (далее по тексту — ГПСЭ) единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы (ГЭТ 192) средствам измерений при помощи рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи в диапазоне от 0 до 50 м.

Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы представлена в приложении А.

2. Государственный первичный специальный эталон

2.1 ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы и передачи единицы при помощи рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

2.2 В основу измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы должна быть положена единица длины, воспроизводимая указанным ГПСЭ.

2.3 ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

установка на базе координатно-измерительной машины в диапазоне до 1 м;

мобильная интерференционная установка на базе лазерной измерительной системы в диапазоне до 15 м;

мобильная интерференционная установка на базе лазерной измерительной системы в диапазоне до 50 м.

2.4 Диапазон значений единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы, воспроизводимой ГПСЭ, составляет от 0 до 50 м.

2.5 ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы:

в диапазоне от 0 до 1 м со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,25 мкм при 20 независимых наблюдениях, неисключенная систематическая погрешность \theta не превышает (0,8 + 0,6·L) мкм;

в диапазоне от 0 до 15 м со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим (0,04·L) мкм при 20 независимых наблюдениях, неисключенная систематическая погрешность \theta не превышает (0,15 + 0,2·L) мкм;

в диапазоне от 0 до 50 м со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим (0,03·L) мкм при 20 независимых наблюдениях, неисключенная систематическая погрешность \theta не превышает (0,02 + 0,5·L) мкм.

Стандартная неопределенность:

оцененная по типу A:

в диапазоне от 0 до 1 м 0,25 мкм;

в диапазоне от 0 до 15 м (0,04·L <1>) мкм;

в диапазоне от 0 до 50 м (0,03·L) мкм;

оцененная по типу B:

    в диапазоне от 0 до 1 м                             (0,3 + 0,47·L) мкм;
    в диапазоне от 0 до 15 м                             (0,1 + 0,1·L) мкм;
    в диапазоне от 0 до 50 м                            (0,01 + 0,2·L) мкм.

---

<1> L — измеряемая длина в метрах.

2.6 Для обеспечения воспроизведения единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы с указанной точностью должны быть соблюдены правила хранения и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

2.7 ГПСЭ применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 1-го, 2-го и 3-го разрядов и средствам измерений методом прямых измерений и методом непосредственных сличений.

3. Рабочие эталоны

3.1 Рабочие эталоны, заимствованные из других государственных поверочных схем

3.1.1 В качестве рабочих эталонов, заимствованных из других поверочных схем, применяют меры длины концевые плоскопараллельные 2-го, 3-го и 4-го разрядов по ГОСТ Р 8.763-2011 в диапазоне от 0,1 до 1000 мм.

3.1.2 Доверительные границы абсолютной погрешности \delta (при доверительной вероятности 0,99) рабочих эталонов, заимствованных из других поверочных схем, составляют от (0,05 + 0,5·L) до (0,2 + 2·L) мкм, где L — длина в метрах.

3.1.3 Рабочие эталоны, заимствованные из других поверочных схем, применяют для передачи единицы рабочим эталонам 1-го и 2-го разрядов и средствам измерений методом прямых измерений.

3.1.4 Допускается при передаче единицы длины использовать меры длины концевые плоскопараллельные более высокого разряда, чем предусмотрено в настоящей поверочной схеме.

3.2 Рабочие эталоны 1-го разряда

3.2.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют машины координатно-измерительные стационарные в диапазоне измерений от 0 до 1 м.

3.2.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей \Delta рабочих эталонов 1-го разряда составляют от 0,3 до 1,0 мкм.

3.2.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единицы рабочим эталонам 3-го разряда методом прямых измерений.

3.3 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.3.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют машины координатно-измерительные стационарные в диапазоне измерений от 0 до 15 м.

3.3.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей \Delta для рабочих эталонов 2-го разряда составляют от 1 до 30 мкм.

3.3.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для передачи единицы рабочим эталонам 3-го разряда методом прямых измерений.

3.4 Рабочие эталоны 3-го разряда

3.4.1 В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют меры координат в диапазоне от 0,01 до 3 м.

3.4.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей \Delta для рабочих эталонов 3-го разряда составляют от 1 до 50 мкм.

3.4.3 Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для передачи единицы средствам измерений методом прямых измерений.

4. Средства измерений

4.1 В качестве средств измерений применяют системы оптические для измерений координат и отклонений формы (системы фотограмметрические и сканеры) в диапазоне измерений от 0 до 5 м, машины координатно-измерительные портативные в диапазоне измерений от 0 до 10 м, машины координатно-измерительные стационарные в диапазоне измерений от 0 до 50 м и средства измерений координат точек поверхностей сложной формы в диапазоне измерений от 0 до 5 м на объектах сложной формы размером до 50 м.

4.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей \Delta для средств измерений составляют от 1,4 до 300 мкм.

5. Нормативные ссылки

ГОСТ Р 8.763-2011 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм.

Приложение А

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОВЕРХНОСТЕЙ СЛОЖНОЙ ФОРМЫ

---