ГОСТ Р 8.763-2011. Национальный стандарт Российской Федерации. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10(-9) до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм

(утв. и введен в действие Приказом Росстандарта от 13.12.2011 № 1094-ст)

от 13 декабря 2011 г. № 1094-ст

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ ОТ 1 \cdot 10^{- 9} ДО 50 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,2 ДО 50 мкм

State system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule for measuring instruments of length in the range from 1 \cdot 10^{- 9} to 50 m and wavelength in the range from 0,2 to 50\mu m

ГОСТ Р 8.763-2011

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения».

1. Разработан Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» (ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева») Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии.

2. Внесен Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии.

3. Утвержден и введен в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 13 декабря 2011 г. № 1094-ст.

4. Введен впервые.

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет.

Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений длины в диапазоне от 1 \cdot 10^{- 9} до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм (далее — государственная поверочная схема) и устанавливает порядок передачи единицы длины от государственного первичного эталона единицы длины — метра (далее — государственный первичный эталон) рабочим средствам измерений с помощью вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов поверки.

Государственная поверочная схема состоит из четырех частей:

часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн [рисунок А.1 (Приложение А)];

часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений [рисунок Б.1 (Приложение Б)];

часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные [рисунок В.1 (Приложение В)];

часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона [рисунок Г.1 (Приложение Г)].

Государственный первичный эталон представляет собой комплекс, в состав которого входят следующие средства измерений:

• источник эталонного излучения — He - Ne/I_{2} лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде-127;
• установка для измерений разности частот источников лазерного излучения;
• универсальный интерференционный метровый компаратор;
• лазерный интерференционный тридцатиметровый компаратор;
• лазерный интерференционный компаратор для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне;
• гетеродинный интерферометр.

Номинальное значение длины волны, при котором воспроизводится единица, составляет 0,633 мкм.

Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы со среднеквадратическим отклонением результата измерений S_{o} , не превышающим 5,6 \cdot 10^{- 12} при 100 независимых измерениях.

Неисключенная систематическая погрешность \Theta_{0} не превышает 2,2 \cdot 10^{- 12} .

Государственный первичный эталон применяют для передачи единицы длины вторичным и рабочим эталонам методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора и мер сравнения.

2.1 Вторичные эталоны 1-й части

2.1.1. В качестве вторичных эталонов используют частотно-стабилизированные лазеры в диапазоне длин волн от 0,4 до 11 мкм.

2.1.2. Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности S_{\Sigma\text{о}} результатов сличений вторичных (рабочих) эталонов с государственным первичным эталоном при 100 независимых измерениях составляют от 1 \cdot 10^{- 11} до 1 \cdot 10^{- 9} .

2.1.3. Вторичные (рабочие) эталоны применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 1-го и 2-го разрядов методом сличения с помощью компаратора и методом прямых измерений, а также рабочим средствам измерений — частотно-стабилизированным лазерам непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.

2.2 Вторичные эталоны 2-й части

2.2.1. В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне от 0,001 до 1000 мм.

2.2.2. Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности S_{\Sigma} результатов сличений эталонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,02 + 0,04L) мкм, где L — длина, м.

2.2.3. Эталоны-копии применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины, а также рабочих средств измерений — измерителей линейных перемещений методом прямых измерений.

2.2.4. В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют штриховые меры длины и установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм.

2.2.5. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 составляют от +/- (0,03 + 0,1L) до +/- (0,05 + 0,1L) мкм, где L — длина в метрах.

2.2.6. Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора.

2.3 Вторичные эталоны 3-й части

2.3.1. В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах от 0,1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм.

2.3.2. Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности S_{\Sigma} результатов сличений эталонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,01 + 0,04L) мкм, где L — длина, м.

2.3.3. Эталоны-копии применяют для поверки вторичных эталонов — интерференционных установок для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм методом сличения с помощью мер сравнения, рабочих эталонов 1-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины и кварцевых геодезических жезлов методом прямых измерений, а также установок для поверки средств измерений внутренних размеров методом сличения с помощью мер сравнения.

2.3.4. В качестве вторичных эталонов используют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах от 0,1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм и интерференционные установки для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм.

2.3.5. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 составляют от +/- (0,02 + 0,1L) мкм до +/- (0,05 + 0,1L) мкм, где L — длина, м.

2.3.6. Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров — измерительных колец методом прямых измерений и рабочих средств измерений — плоскопараллельных концевых мер длины методом прямых измерений.

2.4 Вторичные эталоны 4-й части

2.4.1. В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют лазерные измерители перемещений в диапазоне от 10^{- 9} до 10^{- 2} м.

2.4.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 составляют от +/- 0,5 до +/- 3,0 нм.

2.4.3. Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — микроскопов с лазерным интерферометром и лазерных измерителей перемещений в диапазоне от 10^{- 9} до 10^{- 2} м методом непосредственного сличения.

3.1 Рабочие эталоны 1-й части

3.1.1 Рабочие эталоны 1-го разряда

3.1.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют спектральные лампы в диапазоне от 0,4 до 0,7 мкм, частотно-стабилизированные лазеры и измерители длин волн лазеров в диапазоне от 0,4 до 11 мкм.

3.1.1.2. Доверительные границы относительных погрешностей \delta_{0} при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от 2 \cdot 10^{- 10} до 1 \cdot 10^{- 8} .

3.1.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда используют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — спектральных ламп и стандартных образцов спектра поглощения и пропускания, а также источников излучения, входящих в состав измерителей линейных перемещений (часть 2), методом сличения с помощью компаратора, лазерных спектрометров методом непосредственного сличения измерителей длин волн лазеров непрерывного излучения методом прямых измерений и рабочих средств измерений — частотно-стабилизированных лазеров непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.

3.1.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.1.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют спектральные лампы и стандартные образцы спектра поглощения и пропускания в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения в диапазоне от 0,4 до 1,2 мкм.

3.1.2.2. Доверительные границы относительных погрешностей \delta_{0} при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от 1 \cdot 10^{- 8} до 1 \cdot 10^{- 3} .

3.1.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений, методом сличения с помощью компаратора и методом непосредственного сличения.

3.2 Рабочие эталоны 2-й части

3.2.1 Рабочие эталоны 1-го разряда

3.2.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют штриховые меры длины, дифракционные голографические меры длины в диапазоне от 0,001 до 1000 мм, установки для поверки измерительных лент в диапазоне от 0,001 до 30 м и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.

3.2.1.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от +/- (0,02 + 0,2L) мкм до +/- (1 + 1L) мкм.

3.2.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора, измерительных лент методом прямых измерений и рабочих средств измерений — измерителей линейных перемещений методом прямых измерений и штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.2.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.2.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют штриховые меры длины, голографические измерительные системы линейных перемещений в диапазоне от 0,001 до 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне от 0,001 до 30 м.

3.2.2.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от +/- (0,2 + 0,5L) мкм до +/- (2 + 2L) мкм.

3.2.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора, измерительных лент методом непосредственного сличения, рабочих эталонов 4-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных и внутренних размеров методом прямых измерений, измерительных рулеток методом непосредственного сличения.

3.2.3 Рабочие эталоны 3-го разряда

3.2.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда используют штриховые меры длины, растровые измерительные преобразователи в диапазоне от 0,1 до 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне от 0,001 до 50 м.

3.2.3.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от +/- (1 + 5L) мкм до +/- (10 + 10L) мкм.

3.2.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда — штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных и внутренних размеров методом прямых измерений, измерительных рулеток и землемерных лент методом непосредственного сличения, штриховых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.2.4 Рабочие эталоны 4-го разряда

3.2.4.1. В качестве рабочих эталонов 4-го разряда используют штриховые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм.

3.2.4.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 4-го разряда составляют +/- (20 + 30L) мкм.

3.2.4.3. Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений — складных мер, нивелирных реек, измерительных линеек, лесных вилок методом непосредственного сличения.

3.3 Рабочие эталоны 3-й части

3.3.1 Рабочие эталоны 1-го разряда

3.3.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм, меры внутренних диаметров — измерительные кольца в диапазоне от 0,5 до 200 мм и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.

3.3.1.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от +/- (0,02 + 0,2L) мкм до +/- (0,05 + 0,5L) мкм.

3.3.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — установок для поверки измерительных головок, установок для поверки измерительных преобразователей, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров, мер внутренних диаметров — измерительных колец методом прямых измерений, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора и рабочих средств измерений — плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора, приборов для измерений наружных размеров, контактных интерферометров методом прямых измерений.

3.3.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.3.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют установки для поверки измерительных головок в диапазоне от 0,1 до 25 мм, установки для поверки измерительных преобразователей в диапазоне от 0,005 до 0,2 мм, плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм и меры внутренних диаметров — измерительные кольца в диапазоне от 1 до 500 мм.

3.3.2.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от +/- 0,04 до +/- 2 мкм.

3.3.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров — измерительных колец сличением при помощи компаратора, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров методом прямых измерений и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных размеров, преобразователей и приборов автоматизированного контроля методом прямых измерений.

3.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда

3.3.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, меры внутренних диаметров — измерительные кольца в диапазоне от 0,5 до 500 мм и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм.

3.3.3.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от +/- (0,1 + 1L) до +/- (0,2 + 2L) мкм.

3.3.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров — измерительных колец методом сличения с помощью компаратора, приборов для поверки средств измерений внутренних размеров методом прямых измерений и рабочих средств измерений — приборов для измерений наружных размеров, установочных колец методом прямых измерений, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.3.4 Рабочие эталоны 4-го разряда

3.3.4.1. В качестве рабочих эталонов 4-го разряда используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, приборы для поверки индикаторов и индикаторных нутромеров в диапазоне от 0 до 100 мм, меры внутренних диаметров — измерительные кольца и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне от 0,5 до 500 мм.

3.3.4.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 4-го разряда составляют от +/- 0,2 мкм до +/- (0,5 + 5L) мкм.

3.3.4.3. Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений — плоскопараллельных концевых мер длины, установочных концевых мер, проволочек, роликов, принадлежностей к концевым мерам (боковиков) методом сличения с помощью компаратора, приборов для измерений наружных размеров, штангенинструмента, приборов для измерений наружных и внутренних размеров, нутромеров методом прямых измерений, установочных колец, плоскопараллельных концевых мер длины методом сличения с помощью компаратора.

3.4 Рабочие эталоны 4-й части

3.4.1 Рабочие эталоны 1-го разряда

3.4.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют рельефные меры в диапазоне от 10^{- 9} до 10^{- 2} м, микроскопы с лазерным интерферометром и лазерные измерители перемещений в диапазоне от 10^{- 9} до 10^{- 2} м.

3.4.1.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от +/- 1 до +/- 10 нм.

3.4.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда — рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.

3.4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

3.4.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют рельефные меры, электронные растровые измерительные микроскопы и сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы в диапазоне от 10^{- 9} до 10^{- 2} м.

3.4.2.2. Доверительные границы абсолютных погрешностей \delta при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от +/- 3 до +/- 50 нм.

3.4.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений — рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.

4.1 Рабочие средства измерений 1-й части

4.1.1. В качестве рабочих средств измерений используют спектрометры и спектрофотометры в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения и частотно-стабилизированные и нестабилизированные лазеры непрерывного излучения — меры длин волн в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне от 0,4 до 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения и лазеры импульсного излучения в диапазоне от 0,4 до 1,2 мкм.

4.1.2. Доверительные границы относительных погрешностей \delta_{0} при доверительной вероятности 0,99 частотно-стабилизированных лазеров повышенной точности составляют от 1 \cdot 10^{- 10} до 3 \cdot 10^{- 8} .

4.1.3. Пределы допускаемых относительных погрешностей \Delta_{0} рабочих средств измерений составляют от \pm 3 \cdot 10^{- 8} до \pm 1 \cdot 10^{- 2} .

4.2 Рабочие средства измерений 2-й части

4.2.1. В качестве рабочих средств измерений используют измерители линейных перемещений в диапазоне от 0,01 до 30000 мм, штриховые меры длины в диапазоне от 0,1 до 2000 мм, измерительные преобразователи линейных перемещений в диапазоне от 0 до 32000 мм, приборы для измерений наружных и внутренних размеров в диапазоне от 0 до 1000 мм, складные меры и измерительные линейки в диапазоне от 0 до 1000 мм, нивелирные рейки в диапазоне от 0 до 4000 мм, лесные вилки в диапазоне от 1 до 750 мм, измерительные рулетки длиной до 100 м, землемерные ленты длиной до 50 м, мерные проволоки длиной до 24 м.

4.2.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей \Delta рабочих средств измерений составляют от +/- 0,05 мкм до +/- 14 мм.

4.3 Рабочие средства измерений 3-й части

4.3.1. В качестве рабочих средств измерений используют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм, контактные интерферометры с ценой деления от 0,02 до 0,2 мкм, приборы для измерений наружных и внутренних размеров, нутромеры, штангенинструмент в диапазоне от 0 до 2500 мм; установочные кольца в диапазоне от 1 до 500 мм, преобразователи и приборы автоматизированного контроля, установочные концевые меры, проволочки и ролики для измерений среднего диаметра резьбы, принадлежности к концевым мерам длины (боковики).

4.3.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей \Delta рабочих средств измерений составляют от +/- 0,02 мкм до +/- 1 мм.

4.4 Рабочие средства измерений 4-й части

4.4.1. В качестве рабочих средств измерений используют рельефные меры в диапазоне от 10^{- 9} до 10^{- 2} м, электронные растровые измерительные микроскопы в диапазоне от 10^{- 9} до 10^{- 4} м и сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы в диапазоне от 10^{- 9} до 10^{- 6} м.

4.4.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей \Delta рабочих средств измерений составляют от +/- 10 до +/- 1000 нм.

---