Резолюция № 23 Совета Министров Союзного государства

«О внедрении результатов, полученных в ходе реализации научно-технической программы Союзного государства „Разработка современной и перспективной технологии создания в государствах-участниках Союзного государства тепловизионной техники специального и двойного назначения на базе фотоприемных устройств инфракрасного диапазона третьего поколения“ („Союзный тепловизор“)»

(Вместе с «Информацией...»)

(Принята в г. Москве 11.12.2023)

СОВЕТ МИНИСТРОВ СОЮЗНОГО ГОСУДАРСТВА

РЕЗОЛЮЦИЯ № 23 О ВНЕДРЕНИИ РЕЗУЛЬТАТОВ, ПОЛУЧЕННЫХ В ХОДЕ РЕАЛИЗАЦИИ

Приложение к резолюции Совета Министров Союзного государства от 11 декабря 2023 г. № 23

НА БАЗЕ ФОТОПРИЕМНЫХ УСТРОЙСТВ ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА ТРЕТЬЕГО ПОКОЛЕНИЯ» («СОЮЗНЫЙ ТЕПЛОВИЗОР»)

№ п/п	Наименование полученных результатов	в Российской Федерации	в Республике Беларусь
1	Внедрено в производство технологий (количество)	5	2
2	Передано в производство видов продукции (типов изделий) (количество)	-	12 типов: микросхемы матричных коммутаторов-мультиплексоров IZ160MB, IZ320MB, IZ640MB, IZ384FD, IZ640FD; установка присоединения кристаллов на клей ЭМ-4405Т, установка ультразвуковой сварки выводов ЭМ-4320УТ, установка контактной сварки выводов с бескорпусных элементов на кристалл ЭМ-4320КТ, установка контактной сварки для монтажа геттеров ЭМ-4320-4Т, установка монтажа пластин ЭМ-2068, установка разделения полупроводниковых пластин ЭМ-2095, установка отмывки полупроводниковых пластин ЭМ-3067
3	Объем произведенной продукции на основе внедрения результатов реализации программы (объем производства в год, количество)	-	95 пластин с кристаллами микросхем матричных коммутаторов-мультиплексоров IZ160MB, IZ320MB, IZ640MB, IZ384FD, IZ640FD; 7 установок (ЭМ-4605, ЭМ-4615, ЭМ-4505У, ЭМ-4322, ЭМ-4461, ЭМ-2165) в том числе по годам: 2016 г.: 8 пластин с кристаллами; 2017 г.: 37 пластин с кристаллами; 2018 г.: 26 пластин с кристаллами, 1 установка; 2019 г.: 2 пластины с кристаллами; 2020 г.: 20 пластин с кристаллами, 1 установка; 2021 г.: 1 установка; 2022 г.: 2 пластины с кристаллами, 4 установки
4	Объем выручки от внедрения результатов (тыс. российских рублей)	-	143 851,1 тыс. российских рублей, из них: - 84 515,6 тыс. российских рублей от продажи микросхем матричных коммутаторов-мультиплексоров; - 59 335,5 тыс. российских рублей от продажи установок
5	Патенты, полученные при внедрении результатов реализации Программы Союзного государства (наименование, количество)	4 Свидетельства о регистрации топологии интегральных микросхем, в том числе: 5.1. Свидетельство Российской Федерации № 2015630031 от 11.02.2015 на микросхему МКМС-3-160-Мультиплексор матричного микроболометрического приемника формата 160x120 (Инв. № 00998 принят к бухгалтерскому учету 01.11.2015). 5.2. Свидетельство Российской Федерации № 2015630028 от 11.02.2015 на микросхему МКМС-3-640 Мультиплексор матричного микроболометрического приемника формата 640x480 (Инв. № 00990 принят к бухгалтерскому учету 01.11.2015).	4 Свидетельства о регистрации топологии интегральных микросхем, в том числе: 5.1. Свидетельство Республики Беларусь № 202 от 22.04.2015 на микросхему МКМС-3-160-Мультиплексор матричного микроболометрического приемника формата 160x120 (Инв. № 00986 принят к бухгалтерскому учету 01.11.2015). 5.2. Свидетельство Республики Беларусь № 203 от 22.04.2015 на микросхему МКМС-3-640 Мультиплексор матричного микроболометрического приемника формата 640x480 (Инв. № 00989 принят к бухгалтерскому учету 01.11.2015). 5.3. Свидетельство Республики Беларусь № 204 от 05.05.2015 на микросхему 640 Матричный кремниевый мультиплексор для охлаждаемых фотоприемных устройств 640x512 (Инв. № 00987 принят к бухгалтерскому учету 01.11.2015). 5.4. Свидетельство Республики Беларусь № 208 от 14.07.2015 на микросхему ТМ 384 Матричный кремниевый мультиплексор для охлаждаемых фотоприемных устройств формата 384x288 (Инв. № 00984 принят к бухгалтерскому учету 01.11.2015).
		5.3. Свидетельство Российской Федерации № 2015630029 от 11.02.2015 на микросхему 640 Матричный кремниевый мультиплексор для охлаждаемых фотоприемных устройств 640x512 (Инв. № 00988 принят к бухгалтерскому учету 01.11.2015). 5.4. Свидетельство Российской Федерации № 2015630030 от 11.02.2015 на микросхему ТМ 384 Матричный кремниевый мультиплексор для охлаждаемых фотоприемных устройств формата 384x288 (Инв. № 00985 принят к бухгалтерскому учету 01.11.2015).
6	Объем отчислений налогов в национальные бюджеты Республики Беларусь и Российской Федерации составил (наименование бюджета, сумма, тыс. российских рублей)	Объем отчислений налогов в бюджет Российской Федерации составил 11 382,48 тыс. росс. рублей	Объем отчислений налогов в бюджет Республики Беларусь: - ОАО «Планар-Со» составил 34 588 тыс. росс. рублей; - ОАО «ИНТЕГРАЛ» — управляющая компания «ИНТЕГРАЛ» составил 40 787,2 тыс. росс. рублей

Заключение

Реализация задач Программы позволила:

1. ОАО «ИНТЕГРАЛ» — управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ» в результате выполнения ОКР «Разработка мультиплексоров для микроболометрических матриц фотоприемных устройств форматов 160x120, 320x240, 640x480» мероприятия 1 «Разработка неохлаждаемых фотоприемных устройств на основе микроболометрических матриц» и ОКР «Разработка мультиплексоров для фотоприемных устройств на квантовых ямах форматов 384x288, 640x512», в рамках мероприятия 2 «Разработка охлаждаемых фотоприемных устройств на квантовых ямах (КЯ ФПУ)» разработаны опытные образцы 5 типов микросхем матричных коммутаторов-мультиплексоров (IZ160MB, IZ320MB, IZ640MB, IZ384FD, IZ640FD), соответствующие целевым показателям и требованиям Программы.

В соответствии с п. 6 Комплекса мероприятий по обеспечению внедрения результатов реализации ОКР научно-технической программы «Союзный тепловизор» ОАО «ИНТЕГРАЛ» — управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ» осуществляло изготовление и поставки по заявкам российских потребителей тепловизионной техники пластин с кристаллами микросхем IZ640FD, IZ320MB, IZ640MB. Всего отгружено в Российскую Федерацию 95 пластин на общую сумму 84 515,6 тыс. российских рублей. Рекламаций и замечаний от потребителей не поступало.

Объекты интеллектуальной собственности, созданные в рамках Программы, использованы при разработке микросхемы коммутатора-мультиплексора для микроболометрического матричного фотоприемного устройства формата 640x480 элементов с шагом 17 мкм, микросхемы мультиплексора для охлаждаемых фотоприемников устройств формата 640x512 (полярность диодов № на P, размер пикселя 15 мкм).

2. ОАО «Планар-СО» в результате выполнения ОКР «Разработка и изготовление комплекта оборудования для сборки микроболометрических матриц фотоприемных устройств (МБ ФПУ)» мероприятия 5 «Разработка и изготовление опытных образцов специального технологического оборудования и программно-аппаратных средств» были разработаны: установка присоединения кристаллов на клей ЭМ-4405Т, установка контактной сварки для монтажа геттеров ЭМ-4320-4Т, установка ультразвуковой сварки выводов ЭМ-4320УТ, установка контактной сварки выводов с бескорпусных элементов на кристалл ЭМ-4320КТ.

Технические решения, полученные при разработке установки присоединения кристаллов на клей ЭМ-4405Т, были использованы в дальнейшем при создании следующих образцов оборудования: установки монтажа кристаллов и элементов поверхностного монтажа ЭМ-4605, автомата монтажа кристаллов ЭМ-4615, автомата укладки кристаллов ЭМ-4505У.

Установка ЭМ-4605 реализована Белорусскому национальному техническому университету в 2022 году на сумму 208 070 белорусских рублей.

Автомат монтажа кристаллов ЭМ-4615 реализован Новосибирскому государственному техническому университету, г. Новосибирск в 2022 году на сумму 15 400 000 российских рублей.

Автоматы укладки кристаллов ЭМ-4505У в количестве 2 ед. реализованы в 2023 году АО «Ангстрем», г. Москва на сумму 17 200 000 российских рублей.

В настоящее время выполняются контракты на поставку исполнений установок ЭМ-4605 и ЭМ-4615 для:

• Новосибирского государственного технического университета, г. Новосибирск на сумму 4 171 700 российских рублей;
• АО «Орбита», г. Саранск на сумму 7 213 500 российских рублей;
• ООО «Бутис», г. Москва на сумму 194 800 долларов США;
• ОАО «Интеграл» 2 единицы на сумму 446 976 белорусских рублей.

Технические решения, полученные при разработке установки ультразвуковой сварки выводов ЭМ-4320УТ, были использованы в дальнейшем при создании установки монтажа выводов ультразвуковой и термозвуковой сварки ЭМ-4322.

В 2018 году установка ЭМ-4322 поставлена в научно-исследовательское учреждение «Институт ядерных проблем» БГУ, г. Минск на сумму 69 996 белорусских рублей.

Технические решения, полученные при разработке установки контактной сварки выводов с бескорпусных элементов на кристалл ЭМ-4320КТ, были использованы в дальнейшем при создании установки контактной сварки универсальной ЭМ-4324, автомата присоединения медных выводов ЭМ-4461.

Автомат присоединения медных выводов реализован в 2021 году ОАО «Ангстрем» на сумму 6 700 000 российских рублей.

Технические решения, полученные при разработке установки контактной сварки для монтажа геттеров ЭМ-4320-4Т, были использованы в дальнейшем при создании установок контактной сварки ЭМ-4092М.

В настоящее время реализуются контракты на поставку пяти установок контактной сварки АО «НПП „Исток“ имени А.И. Шокина», г. Фрязино на сумму 6 754 750 российских рублей.

Опытные образцы установок ЭМ-4405Т, ЭМ-4320УТ, ЭМ-4320КТ, ЭМ-4320-4Т находятся в ОАО «Планар-СО» и используются для отработки технологических процессов и алгоритмов присоединения выводов в изделиях, требующих индивидуальных параметров присоединения и формирования каждого вывода в условиях сохранения универсальности к типам корпусных изделий, а также для обучения и подготовки молодых специалистов.

В ОАО «Планар-СО» создана научно-исследовательская лаборатория для подготовки инженерно-технических специалистов кафедры ЭТТ БГУИР и кафедры МНТ БНТУ.

В рамках ОКР «Разработка и изготовление комплекта оборудования для подготовки к сборке микроболометрических матриц фотоприемных устройств (МБ ФПУ)» мероприятия 5 «Разработка и изготовление опытных образцов специального технологического оборудования и программно-аппаратных средств» разработаны: установка монтажа пластин ЭМ-2068, установка разделения полупроводниковых пластин ЭМ-2095, установка отмывки полупроводниковых пластин ЭМ-3067.

Технические решения, полученные при разработке установки монтажа пластин ЭМ-2068, были использованы для отработки технологических процессов формирования рамки со светодиодными матрицами с минимальным физическим воздействием перед операцией разделения светодиодных рамок.

Установка разделения полупроводниковых пластин ЭМ-2095 прошла успешную опытно-промышленную эксплуатацию в ОАО «ИНТЕГРАЛ» — управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ», г. Минск.

За период эксплуатации с августа 2018 г. по июль 2021 г. было разделено 11 820 пластин. Результаты работ были использованы в дальнейшем при создании автомата разделения полупроводниковых пластин ЭМ-2165.

Технические решения, полученные при разработке установки отмывки полупроводниковых пластин ЭМ-3067, были использованы в дальнейшем при создании автомата разделения полупроводниковых пластин ЭМ-2165.

В 2020 году автомат разделения полупроводниковых пластин ЭМ-2065 поставлен в ООО МСК «БЛ ГРУПП», г. Москва на сумму 172 200 долларов США. В стадии реализации находятся контракты на поставку автоматов с ОКБ «Планета», г. Великий Новгород на сумму 9 756 000 российских рублей и ООО «Бутис», г. Москва на сумму 146 000 долларов США.

Опытные образцы оборудования ЭМ-2068, ЭМ-2095, ЭМ-3067 находятся в ОАО «Планар-СО» и используются для отработки технологических процессов разделения полупроводниковых материалов, предоставляемых потребителями, обучения персонала общества, специалистов потребителя, изучения конструкции студентами БНТУ, БГУИР при прохождении производственных практик.

3. В рамках ОКР «Союз-5» АО «НТК „Криогенная техника“ разработан типоряд микрокриогенных систем для обеспечения рабочей температуры порядка 65 °К фотоприемных устройств на основе структур с квантовыми ямами (QWIP-структур). Сборка таких фотоприемных устройств проводилась в АО „ЦНИИ „Циклон“.»

Результаты, полученные в ходе ОКР «Союз-5», были использованы АО «НТК „Криогенная техника“ для поставок микрокриогенных систем следующим организациям:»

• АО «ЦНИИ „Циклон“;»
• АО «Элси», г. Великий Новгород;
• АО «НИИ ОЭП», г. Сосновый Бор;
• филиал ИФП СО РАН «КТИПМ», г. Новосибирск.

АО «НТК „Криогенная техника“ готово поставлять микрокриогенные системы и в настоящее время при наличии соответствующего спроса.»

4. АО «ОКБ „Астрон“ была организована работа по созданию фотоприемных устройств на основе структур с квантовыми ямами (QWIP-структур) с использованием результатов, полученных при выполнении ОКР „Союз-3“ и ОКР „Союз-7“. При этом окончательная сборка фотоприемных устройств может производиться в АО „ЦНИИ „Циклон“.»

5. АО «ЦНИИ „Циклон“ разработаны и серийно производятся ряд тепловизионных приборов (тепловизионный прицел — 1 (- 2), тепловизионный носимый прибор „Сыч-3ПС (ИР)“). Для разработки и производства указанных приборов использованы результаты, полученные при проведении ОКР в рамках программы „Союзный тепловизор“.»

Следует особо отметить, что в результате реализации Программы были разработаны тепловизоры с микроболометрическими фотоприемными матрицами формата 640x480 элементов с шагом элементов 20 мкм, однако в настоящее время, в соответствии с техническими требованиями государственного заказчика (Минобороны России), шаг элементов должен быть не более 17 мкм. Учитывая изложенное, АО «ЦНИИ „Циклон“ был вынужден перейти с разработанных фотоприемных устройств на микроболометрические матрицы производства французской компании Ulis (сегодня — Lynred).»

Такая ситуация сложилась по причине долгого согласования и принятия окончательного решения по постановке и выполнению ОКР. За время проведения ОКР разрабатываемые матрицы устарели, а требования государственного заказчика конечных изделий (тепловизионных приборов) ужесточились.

Подобная проблема существует и в части применения фотоприемных матриц на основе QWIP-структур (с охлаждаемым фотоприемником на основе структур с квантовыми ямами), работающего в спектральном диапазоне 8,0...12,0 мкм. Такие матрицы разрабатывались (ОКР «Союз-9») для тепловизионного прибора, использующегося в танковых прицелах, взамен импортного тепловизора «Catherine FC» фирмы «THALES».

В рамках Программы АО «ЦНИИ „Циклон“ разработан тепловизор аналогичный французским „Catherine FC“ и „Catherine XP“, производства компании „THALES“, с одним отличием, с шагом элементов 20 мкм (требование технического задания) вместо 15 мкм.»

6. В ходе выполнения ОКР «Разработка и изготовление оборудования для выращивания QWIP (КЯ) — структур», шифр «Союз-10» силами ЗАО «НТО» (г. Санкт-Петербург) была разработана установка молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ).

По итогам выполнения комплекса работ «Союзный тепловизор» установка МЛЭ была передана в АО «Светлана-Рост», которое разрабатывало технологию выращивания QWIP (КЯ) структур и явилось основой изготовления микросхем типа IZ640FD (ТУ ФШЮГ.431268.001) — матричный коммутатор-мультиплексор сигналов в гибридной фоточувствительной схеме на основе структур с квантовыми ямами форматом 640x512 элементов, которые в дальнейшем использовались при выполнении ОКР «Фотик-27», направленной на создание матричного ФПУ на спектральный диапазон 3 — 5 мкм.

В настоящее время установка МЛЭ используется при выращивании структур для СВЧ микросхем.

В результате выполнения Программы создана необходимая база — фундамент для совершенствования и развития нового фотоприемного устройства специального и двойного назначения.

---