(ред. от 12.12.2016)
«Об утверждении профессионального стандарта „Инженер-технолог в области производства наногетероструктурных СВЧ-монолитных интегральных схем“»
(Зарегистрировано в Минюсте России 20.03.2014 № 31666)
Внимание
Документ утратил силу с 1 сентября 2026 года в связи с изданием Приказа Минтруда России от 16.02.2026 № 72н, утвердившего новый профессиональный стандарт.
Начало действия редакции — 28.01.2017.
Окончание действия документа — 31.08.2026.
Изменения, внесенные Приказом Минтруда России от 12.12.2016 № 727н, вступили в силу по истечении 10 дней после дня официального опубликования (опубликован на Официальном интернет-портале правовой информации http://www.pravo.gov.ru - 17.01.2017).
Документ утратил силу с 1 сентября 2026 года в связи с изданием Приказа Минтруда России от 16.02.2026 № 72н.
Зарегистрировано в Минюсте России 20 марта 2014 г. № 31666
МИНИСТЕРСТВО ТРУДА И СОЦИАЛЬНОЙ ЗАЩИТЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ПРИКАЗ
от 3 февраля 2014 г. № 69н
ОБ УТВЕРЖДЕНИИ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО СТАНДАРТА
«ИНЖЕНЕР-ТЕХНОЛОГ В ОБЛАСТИ ПРОИЗВОДСТВА
НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРНЫХ СВЧ-МОНОЛИТНЫХ
ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ»
В соответствии с пунктом 22 Правил разработки, утверждения и применения профессиональных стандартов, утвержденных постановлением Правительства Российской Федерации от 22 января 2013 г. № 23 (Собрание законодательства Российской Федерации, 2013, № 4, ст. 293), приказываю:
Утвердить прилагаемый профессиональный стандарт «Инженер-технолог в области производства наногетероструктурных СВЧ-монолитных интегральных схем».
Министр
М. А. Топилин
Утвержден
приказом Министерства труда
и социальной защиты
Российской Федерации
от 3 февраля 2014 г. № 69н
ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ
ИНЖЕНЕР-ТЕХНОЛОГ
В ОБЛАСТИ ПРОИЗВОДСТВА НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРНЫХ СВЧ-МОНОЛИТНЫХ
ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
I. Общие сведения
(наименование вида профессиональной деятельности) Код
Основная цель вида профессиональной деятельности:
| Производство наногетероструктурных сверхвысокочастотных (СВЧ) монолитных интегральных схем (МИС СВЧ) с использованием нанотехнологий |
| 2111 |
Физики |
2113 |
Химики |
| (код ОКЗ <1>) |
(наименование) |
(код ОКЗ) |
(наименование) |
<1> Общероссийский классификатор занятий.
Отнесение к видам экономической деятельности:
(в ред. Приказа Минтруда России от 12.12.2016 № 727н)
| 26.11.3 |
Производство интегральных электронных схем |
| (код ОКВЭД <2>) |
(наименование вида экономической деятельности) |
<2> Общероссийский классификатор видов экономической деятельности.
II. Описание трудовых функций, входящих в профессиональный стандарт (функциональная карта вида профессиональной деятельности)
| Обобщенные трудовые функции | Трудовые функции |
| код | наименование | уровень квалификации | наименование | код | уровень (подуровень) квалификации |
| A | Моделирование, разработка и внедрение новых технологических процессов производства наногетероструктурных МИС СВЧ | 7 | Анализ мирового опыта применения материалов наногетероструктурной электроники СВЧ | A/01.7 | 7 |
| Разработка планов создания и модернизации технологических линий для освоения новых направлений в наногетероструктурной электронике СВЧ | A/02.7 |
| Подготовка технического задания (ТЗ) на проведение опытно-технологических работ (ОТР) по разработке новых технологических процессов производства МИС СВЧ | A/03.7 |
| Моделирование наногетероструктур, активных и пассивных элементов, технологических операций изготовления гетероструктурных МИС СВЧ с использованием технологических систем моделирования и проектирования элементов и технологий полупроводниковых ИС, в том числе МИС СВЧ, изготавливаемых на основе гетероструктур (TCAD) | A/04.7 |
| Подготовка технического задания (ТЗ) на разработку маршрутных и операционных карт производства МИС СВЧ на основе разработанной конструкторской документации (КД), документации на отработанные технологические процессы (ТП) и данных моделирования | A/05.7 |
| B | Подготовка комплекта технологической документации (ТД) производства наногетероструктурных МИС СВЧ, организация и сопровождение технологического процесса производства | 7 | Разработка комплекта технологической документации для производства МИС СВЧ на основе ТЗ и нормативной документации | B/01.7 | 7 |
| Планирование и организация сопровождения технологического процесса производства МИС СВЧ | B/02.7 |
| Разработка методики входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ | B/03.7 |
| Реализация технологии на основе электронной литографии | B/04.7 |
| Реализация технологии на основе проекционной литографии | B/5.7 |
| Организация работы по повышению выхода годных МИС, разработка ТЗ для корректировки технологических операций | B/6.7 |
| C | Осуществление проектирования и изготовления методами эпитаксии наногетероструктур для ОТР и производства МИС СВЧ | 7 | Проведение расчета параметров технологического процесса эпитаксиального выращивания наногетероструктур на подложках, применяемых в СВЧ-электронике | C/1.7 | 7 |
| Подготовка и квалификация машин к росту продукции | C/2.7 |
| Определение методик тестирования качества эпитаксиальных слоев | C/3.7 |
| Проведение статистического анализа поведения установки во время исследования, статистическое сопровождение по группам продукции и контроль качества по спецификации заказчика | C/4.7 |
| D | Проведение ОТР по разработке базовых технологических процессов МИС СВЧ | 7 | Анализ КД и ТЗ на проведение ОТР, оценка достижимости заданных параметров МИС СВЧ по выбираемой или заданной технологии | D/1.7 | 7 |
| Определение базовых технологических процессов, применяемых материалов и оборудования для изготовления опытных образцов МИС СВЧ | D/2.7 |
| Согласование принимаемых решений с представителями заказчика, конструкторскими подразделениями, метрологической службой и другими смежными структурами организации | D/3.7 |
| Управление командой по реализации ОРТ | D/4.7 |
III. Характеристика обобщенных трудовых функций
3.1. Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Моделирование, разработка и внедрение новых технологических процессов производства наногетероструктурных МИС СВЧ |
Код |
A |
Уровень квалификации |
7 |
| Происхождение обобщенной трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Возможные наименования должностей |
Ведущий инженер-технолог
Инженер-технолог |
| Требования к образованию и обучению |
Высшее образование — специалитет, магистратура |
| Требования к опыту практической работы |
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке <1>;
инструктаж по безопасному ведению работ |
<1> Приказ Минздравсоцразвития России от 12 апреля 2011 г. № 302н «Об утверждении перечней вредных и (или) опасных производственных факторов и работ, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные и периодические медицинские осмотры (обследования), и Порядка проведения обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров (обследований) работников, занятых на тяжелых работах и на работах с вредными и (или) опасными условиями труда» (зарегистрирован в Минюсте России 21 октября 2011 г., регистрационный № 22111), с изменением, внесенным приказом Минздрава России от 15 мая 2013 г. № 296н (зарегистрирован в Минюсте России 3 июля 2013 г., регистрационный № 28970).
Дополнительные характеристики
| Наименование документа | Код | Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
| ОКЗ | 2111 | Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики |
| 2113 | Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики |
| ЕКС <2> | - | Инженер-технолог |
| ОКСО <3> | 5507002 | Электроника и микроэлектроника |
| 01.04.04 | Физическая электроника |
<2> Единый квалификационный справочник должностей руководителей, специалистов и служащих.
<3> Общероссийский классификатор специальностей по образованию.
3.1.1. Трудовая функция
| Наименование |
Анализ мирового опыта применения материалов наногетероструктурной электроники СВЧ |
Код |
A/01.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ применения материалов в интегральной электронике СВЧ, основанной на гетероэпитаксиальных структурах |
| Анализ физических и технологических принципов разработки и изготовления активных элементов с применением новых и традиционных материалов СВЧ (гетеротранзисторов с высокой подвижностью электронов, низкобарьерных диодов и др.) |
| Прогноз применения материалов в наногетероструктурной электронике для определения политики организации в области производства наногетероструктурных МИС СВЧ |
| Необходимые умения | Делать обзоры по отечественным и иностранным источникам информации |
| Необходимые знания | Технический английский язык |
| Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур |
| Технология наногетероструктурных МИС СВЧ |
| Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ |
| Технико-экономические и прогнозные исследования в отрасли |
| Другие характеристики | Ответственность за прогнозные оценки развития производства |
| Деятельность, направленная на решение нетиповых задач технологического характера |
3.1.2. Трудовая функция
| Наименование |
Разработка планов создания и модернизации технологических линий для освоения новых направлений в наногетероструктурной электронике СВЧ |
Код |
A/02.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ тенденций развития технологии, технологического оборудования в области наногетероструктурной электроники СВЧ |
| Разработка технически и экономически обоснованных планов развития новых производств или модернизации существующих для освоения новых направлений в производстве МИС СВЧ |
| Представление планов развития для обсуждения и принятия на научно-техническом совете (НТС) |
| Необходимые умения | Делать обзоры по отечественным и иностранным источникам информации |
| Готовить планы развития |
| Готовить презентации |
| Необходимые знания | Технический английский язык |
| Технология наногетероструктурных МИС СВЧ, исследования в новых направлениях |
| Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ |
| Технико-экономические и прогнозные исследования в отрасли |
| Другие характеристики | Ответственность за прогнозные оценки развития производства |
| Деятельность, направленная на решение новых задач технологического характера |
3.1.3. Трудовая функция
| Наименование |
Подготовка технического задания (ТЗ) на проведение опытно-технологических работ (ОТР) по разработке новых технологических процессов производства МИС СВЧ |
Код |
A/03.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ прогнозных оценок тенденций развития технологии, технологического оборудования в области наногетероструктурной электроники СВЧ |
| Постановка целей и задач проведения опытно-технологических работ по разработке новых ТП производства МИС СВЧ |
| Декомпозиция задач ОТР, выделение базовых ТП и установление временных рамок и последовательности их разработки |
| Представление планов развития для обсуждения и принятия на НТС |
| Формулирование ТЗ для определенной последовательности разработки базовых технологических процессов |
| Оформление ТЗ на ОТР |
| Представление и защита разработанных ТЗ на НТС |
| Необходимые умения | Формулировать цели, задачи, разрабатывать и согласовывать ТЗ на проведение связанных системно ОТР |
| Необходимые знания | Физика и технология наногетероструктурных МИС СВЧ, исследования в новых направлениях |
| Системный анализ |
| Методы декомпозиции сложных задач |
| Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ |
| Технико-экономическое обоснование развития отрасли |
| Стандарты на проведение опытно-технологических работ |
| Другие характеристики | Ответственность за развитие производства |
| Деятельность, направленная на решение новых задач технологического характера |
3.1.4. Трудовая функция
| Наименование |
Моделирование наногетероструктур, активных и пассивных элементов, технологических операций изготовления гетероструктурных МИС СВЧ с использованием технологических систем моделирования и проектирования элементов и технологий полупроводниковых ИС, в том числе МИС СВЧ, изготавливаемых на основе гетероструктур (TCAD) |
Код |
A/04.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ требований КД на МИС СВЧ |
| Выбор на основе опыта и в соответствии с ТЗ и КД материалов и типа наногетероструктуры |
| Моделирование наногетероструктур, определение их параметров, необходимых для расчета активных элементов (СВЧ-транзисторов, диодов) с использованием TCAD и других программных продуктов |
| Моделирование технологического процесса изготовления активных элементов, определение параметров ТП на основе данных моделирования |
| Моделирование технологических операций изготовления пассивных элементов — линий передачи, конденсаторов, резисторов, мостов и др. |
| Отчет о результатах моделирования, согласование его с руководителем и передача технологу для использования при разработке ТД |
| Необходимые умения | Оценивать технические и экономические риски при выборе технологических процессов изготовления МИС СВЧ |
| Оценивать временные затраты на стандартные и нестандартные подходы при производстве МИС СВЧ |
| Необходимые знания | Основы физики гетероэпитаксиальных структур и приборов |
| Параметры полупроводниковых материалов |
| Современные системы моделирования и проектирования СВЧ-устройств и МИС СВЧ |
| Основы технологии МИС СВЧ |
| Методы сквозного проектирования МИС СВЧ |
| Единая система технологической документации (ЕСТД), нормативная документация, регламенты, принятые в организации |
| ГОСТ по постановке продукции на производство |
| Другие характеристики | Самостоятельная профессиональная деятельность, предполагающая ответственность за выбор типа гетероструктур и активных элементов, как результат выполнения собственных работ |
| Деятельность, направленная на подготовку заданий на конструирование МИС СВЧ |
3.1.5. Трудовая функция
| Наименование |
Подготовка технического задания (ТЗ) на разработку маршрутных и операционных карт производства МИС СВЧ на основе разработанной конструкторской документации (КД), документации на отработанные технологические процессы (ТП) и данных моделирования |
Код |
A/05.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ требований КД на МИС СВЧ, а также данных моделирования наногетероструктур, активных и пассивных элементов |
| Оценка на основе опыта и экспериментальных данных реализуемости технологии изготовления на МИС СВЧ и возможных рисков |
| Выбор на основе нормативных документов ТП, в наиболее полном виде обеспечивающих требования к параметрам МИС СВЧ |
| Составление ТЗ на разработку ТД с учетом требований КД |
| Согласование ТЗ в соответствии с регламентом, принятым в организации |
| Необходимые умения | Оценивать технические и экономические риски при выборе технологических процессов изготовления МИС СВЧ |
| Оценивать временные затраты на стандартные и нестандартные подходы при производстве МИС СВЧ |
| Составлять согласно стандартам технические задания на разработку ТД МИС СВЧ |
| Оформлять ТД для сопровождения производства МИС СВЧ |
| Взаимодействовать с коллективами цехов, участков |
| Необходимые знания | Основы физики гетероэпитаксиальных структур и приборов |
| Параметры полупроводниковых материалов |
| Современные системы моделирования и проектирования СВЧ-устройств и МИС СВЧ |
| Основы технологии МИС СВЧ |
| Методы сквозного проектирования МИС СВЧ |
| ЕСТД, нормативная документация, регламенты, принятые в организации |
| Стандарты по постановке продукции на производство |
| Другие характеристики | Самостоятельная профессиональная деятельность, предполагающая ответственность за выбор типа гетероструктур и активных элементов, как результат выполнения собственных работ |
| Деятельность, направленная на подготовку заданий на разработку технологических процессов МИС СВЧ |
3.2. Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Подготовка комплекта технологической документации (ТД) производства наногетероструктурных МИС СВЧ, организация и сопровождение технологического процесса производства |
Код |
B |
Уровень квалификации |
7 |
| Происхождение обобщенной трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Возможные наименования должностей |
Ведущий инженер-технолог
Инженер-технолог |
| Требования к образованию и обучению |
Высшее образование — специалитет, магистратура |
| Требования к опыту практической работы |
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке;
инструктаж по безопасному ведению работ |
Дополнительные характеристики
| Наименование документа | Код | Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
| ОКЗ | 2111 | Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики |
| 2113 | Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики |
| ЕКС | - | Инженер-технолог |
| ОКСО | 5507002 | Электроника и микроэлектроника |
| 01.04.04 | Физическая электроника |
3.2.1. Трудовая функция
| Наименование |
Разработка комплекта технологической документации для производства МИС СВЧ на основе ТЗ и нормативной документации |
Код |
B/01.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ КД и ТЗ на разработку МИС СВЧ в части требований к технологии производства |
| Обоснование выбора маршрутной технологии |
| Разработка маршрутных карт ТП изготовления МИС СВЧ |
| Расчет технологических режимов операций |
| Разработка операционных карт ТП |
| Оформление технологической документации на ТП, согласование ее в соответствии с установленными регламентами |
| Необходимые умения | Работать с нормативной документацией |
| Работать в системе автоматизации проектирования (САПР) подготовки ТД для производства МИС СВЧ |
| Необходимые знания | Технология производства МИС СВЧ |
| Стандарты для подготовки технологической документации |
| САПР подготовки ТД |
| Другие характеристики | Ответственность за качество технологической документации на производство МИС СВЧ |
3.2.2. Трудовая функция
| Наименование |
Планирование и организация сопровождения технологического процесса производства МИС СВЧ |
Код |
B/02.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Тестовый запуск, сопровождение и контроль выполнения технологических операций в ходе изготовления экспериментальной партии МИС СВЧ |
| Анализ данных измерения параметров тестовых структур МИС СВЧ, внесение предложений по коррекции режимов в технологическую документацию |
| Сопровождение установившегося технологического процесса производства МИС СВЧ: формирование баз данных измерения и контроля, составление протоколов и актов контроля параметров МИС |
| Анализ данных измерений и контроля, предложения об изменении параметров ТП |
| Необходимые умения | Проводить анализ технологической документации |
| Работать на части технологического оборудования |
| Необходимые знания | Стандарты на ТД: нормативная документация отрасли, организации на технологические процессы |
| Основы технологии МИС СВЧ |
| Система менеджмента качества (СМК) |
| Другие характеристики | Профессиональная деятельность, направленная на согласование работ группы инженеров-конструкторов и инженеров-технологов |
3.2.3. Трудовая функция
| Наименование |
Разработка методики входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ |
Код |
B/03.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ ТЗ в части требований к параметрам исходных материалов и выполнения отдельных операций при изготовлении МИС СВЧ |
| Разработка методик, выбор оборудования входного контроля материалов, используемых в производстве МИС СВЧ: подложек, металлов, диэлектриков и др. |
| Разработка методик, выбор оборудования межоперационного контроля на тестовых структурах и элементах МИС СВЧ |
| Разработка методик, выбор оборудования выходного контроля на тестовых структурах и МИС СВЧ |
| Руководство проведением всех видов контроля |
| Формирование базы данных всех видов контроля |
| Статистическая обработка данных контроля с оформлением протоколов и заключений |
| Необходимые умения | Работать на оборудовании входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ |
| Необходимые знания | Методы контроля параметров МИС СВЧ и технологических процессов |
| Другие характеристики | Ответственность за контроль качества МИС СВЧ |
3.2.4. Трудовая функция
| Наименование |
Реализация технологии на основе электронной литографии |
Код |
B/04.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе электронной литографии |
| Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для проведения электронной литографии |
| Руководство подготовкой подложек для проведения операций экспонирования фоторезистов на установке электронной литографии |
| Подготовка установки электронной литографии к проведению операций прорисовки топологии |
| Руководство реализацией операций резист-процессинга после экспонирования подложек |
| Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка электронной литографии |
| Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой |
| Регламентные работы по тестированию установки электронной литографии |
| Необходимые умения | Работать с нормативной документацией |
| Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ |
| Необходимые знания | Методы электронной литографии |
| Технология производства МИС СВЧ на основе электронной литографии |
| Стандарты для подготовки технологической документации |
| САПР подготовки файлов топологии для электронной литографии |
| Другие характеристики | Ответственность за качество ТП, основанного на электронной литографии |
3.2.5. Трудовая функция
| Наименование |
Реализация технологии на основе проекционной литографии |
Код |
B/05.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе проекционной литографии |
| Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для изготовления фотошаблонов |
| Руководство изготовлением комплекта фотошаблонов в соответствии с ТЗ |
| Руководство подготовкой подложек для проведения последовательности операций ТП, основанного на проекционной литографии (фотолитографии) |
| Подготовка установки проекционной литографии к проведению операций |
| Руководство реализацией последовательности операций изготовления МИС СВЧ после экспонирования подложек |
| Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка проекционной литографии |
| Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой |
| Регламентные работы по тестированию установок проекционной литографии |
| Необходимые умения | Работать с нормативной документацией |
| Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ |
| Необходимые знания | Технология производства МИС СВЧ на основе проекционной литографии |
| Стандарты для подготовки технологической документации |
| САПР подготовки файлов топологии для проекционной литографии |
| Другие характеристики | Ответственность за качество ТП проекционной литографии |
3.2.6. Трудовая функция
| Наименование |
Организация работы по повышению выхода годных МИС, разработка ТЗ для корректировки технологических операций |
Код |
B/06.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Разработка методик статистической обработки данных по уровню отклонений параметров и брака на пластинах наногетероструктурных МИС СВЧ |
| Анализ причин отклонений, отказов и связывание их с исходными параметрами материалов гетероструктур, технологических операций, топологии |
| Составление программы дополнительных исследований и измерений |
| Подготовка рекомендации по устранению причин отклонений параметров и брака МИС СВЧ |
| Разработка ТЗ для корректировки технологических операций и других мероприятий на основе анализа причин отклонений параметров и отказов |
| Необходимые умения | Разрабатывать и владеть методиками статистической обработки данных |
| Владеть методиками межоперационного контроля |
| Анализировать результаты экспериментов |
| Разрабатывать ТЗ |
| Владеть методологией СМК |
| Необходимые знания | Методы планирования эксперимента |
| Методы и методики статистического анализа |
| Теория допусков и теория чувствительности |
| Другие характеристики | Ответственность за процент выхода годных МИС |
| Деятельность, направленная на решение задач повышения эффективности организации |
3.3. Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Осуществление проектирования и изготовления методами эпитаксии наногетероструктур для ОТР и производства МИС СВЧ |
Код |
C |
Уровень квалификации |
7 |
| Происхождение обобщенной трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Возможные наименования должностей |
Ведущий инженер-технолог
Инженер-технолог |
| Требования к образованию и обучению |
Высшее образование — специалитет, магистратура |
| Требования к опыту практической работы |
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке;
инструктаж по безопасному ведению работ |
Дополнительные характеристики
| Наименование документа | Код | Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
| ОКЗ | 2111 | Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики |
| 2113 | Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики |
| ЕКС | - | Инженер-технолог |
| ОКСО | 5507002 | Электроника и микроэлектроника |
| 01.04.04 | Физическая электроника, технические науки |
3.3.1. Трудовая функция
| Наименование |
Проведение расчета параметров технологического процесса эпитаксиального выращивания наногетероструктур на подложках, применяемых в СВЧ-электронике |
Код |
C/01.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ ТЗ на разработку МИС СВЧ в части требований к материалам и типу наногетероструктуры |
| Обоснование выбора машины для проведения эпитаксии |
| Расчет технологических режимов выращивания эпитаксиальных слоев |
| Моделирование роста гетероструктур с применением TCAD |
| Разработка технологической документации на изготовление гетероструктур |
| Необходимые умения | Работать на машинах молекулярно-лучевой эпитаксии |
| Необходимые знания | Технический английский язык |
| Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур |
| Методы эпитаксии для производства гетероструктур, применяемых в наноэлектронике СВЧ |
| Работа с установками сверхвысокого вакуума |
| Другие характеристики | Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ |
3.3.2. Трудовая функция
| Наименование |
Подготовка и квалификация машин к росту продукции |
Код |
C/02.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Выполнение регламента подготовки машины к проведению ТП выращивания наногетероструктуры |
| Подготовка материалов для проведения эпитаксии |
| Проведение роста наногетероструктур в соответствии с ТП |
| Необходимые умения | Работать на машинах молекулярно-лучевой эпитаксии |
| Необходимые знания | Технический английский язык |
| Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур |
| Технология молекулярно-лучевой эпитаксии |
| Работа с установками сверхвысокого вакуума |
| Другие характеристики | Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ |
3.3.3. Трудовая функция
| Наименование |
Определение методик тестирования качества эпитаксиальных слоев |
Код |
C/03.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Выбор методов и технических средств для тестирования эпитаксиальных слоев наногетероструктур |
| Измерение основных параметров в процессе эпитаксии |
| Измерение параметров выращенных структур при завершении процесса эпитаксии |
| Формирование базы данных результатов тестирования и измерения |
| Необходимые умения | Работать с приборами и установками измерения параметров наногетероструктур |
| Необходимые знания | Методы измерения и тестирования параметров наногетероструктур |
| Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур |
| Другие характеристики | Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ |
3.3.4. Трудовая функция
| Наименование |
Проведение статистического анализа поведения установки во время исследования, статистическое сопровождение по группам продукции и контроль качества по спецификации заказчика |
Код |
C/04.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Формирование базы данных параметров установки во время реализации процесса роста |
| Анализ путем статистической обработки точности выполнения операций и результаты роста |
| Анализ данных статистической обработки об отклонениях в реализации роста и выработка корректирующих действий в следующей загрузке |
| Оформление сдаточных документов с сертификатом наногетероструктур для заказчика |
| Необходимые умения | Проводить статистический анализ |
| Оформлять протоколы и сертификаты (паспорта) продукции |
| Необходимые знания | Методы статистической обработки данных |
| Теория и практика управления технологическими процессами |
| Другие характеристики | Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ |
3.4. Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Проведение ОТР по разработке базовых технологических процессов МИС СВЧ |
Код |
D |
Уровень квалификации |
7 |
| Происхождение обобщенной трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Возможные наименования должностей |
Ведущий инженер-технолог |
| Требования к образованию и обучению |
Высшее образование — специалитет, магистратура |
| Требования к опыту практической работы |
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке;
инструктаж по безопасному ведению работ |
Дополнительные характеристики
| Наименование документа | Код | Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
| ОКЗ | 2111 | Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики |
| 2113 | Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики |
| ЕКС | - | Инженер-технолог |
| ОКСО | 5507002 | Электроника и микроэлектроника |
| 01.04.04 | Физическая электроника |
3.4.1. Трудовая функция
| Наименование |
Анализ КД и ТЗ на проведение ОТР, оценка достижимости заданных параметров МИС СВЧ по выбираемой или заданной технологии |
Код |
D/01.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ экспериментальных данных предыдущих разработок |
| Оценка достижимости параметров путем моделирования основных электрических и эксплуатационных параметров, а также технологии изготовления активных и пассивных элементов МИС СВЧ |
| Организация проведения экспертных оценок достижимости заданных параметров по ТЗ |
| Разработка предложений о коррекции ТЗ на ОТР (в случае критичности достижения отдельных параметров) |
| Необходимые умения | Разрабатывать и владеть методами моделирования элементов и МИС в СВЧ-диапазоне |
| Владеть методиками экспертных оценок |
| Владеть методологией СМК |
| Необходимые знания | Методы моделирования активных и пассивных элементов МИС СВЧ |
| Методики экспертных оценок |
| Другие характеристики | Ответственность за корректность оценки ТЗ на реализуемость |
3.4.2. Трудовая функция
| Наименование |
Определение базовых технологических процессов, применяемых материалов и оборудования для изготовления опытных образцов МИС СВЧ |
Код |
D/02.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ технического задания на ОТР, определение базовых технологических процессов для реализации целей ОТР |
| Обоснование применения материалов, используемых при производстве МИС СВЧ |
| Разработка перечня оборудования для реализации технологического процесса производства МИС |
| Разработка технико-экономического обоснования выбранных решений |
| Защита на НТС обоснованных технологических решений реализации ОТР |
| Необходимые умения | Оформлять технические решения в виде пояснительной записки, презентации, согласовывать их в соответствии с установленным регламентом и представлять на НТС |
| Необходимые знания | Системный анализ |
| Нормативная документация и описания базовых технологических процессов |
| Основы материаловедения применительно к электронике СВЧ |
| Методики проведения технико-экономических исследований при производстве высокотехнологичной продукции |
| Другие характеристики | Профессиональная деятельность, направленная на развитие инновационных разработок |
3.4.3. Трудовая функция
| Наименование |
Согласование принимаемых решений с представителями заказчика, конструкторскими подразделениями, метрологической службой и другими смежными структурами организации |
Код |
D/03.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Разработка комплекса согласованных мероприятий по улучшению параметров технологического процесса и МИС СВЧ |
| Системный анализ влияния принимаемых согласованных решений на качественное и количественное улучшение основных параметров технологического процесса и МИС СВЧ |
| Необходимые умения | Принимать согласованные решения |
| Владеть методологией СМК |
| Необходимые знания | Системный анализ |
| Теория и практика принятия оптимальных решений |
| Процессный метод системы менеджмента качества |
| Другие характеристики | Ответственность за конечный результат, удовлетворяющий заказчика и имеющий перспективу производства электронных компонент СВЧ-техники |
3.4.4. Трудовая функция
| Наименование |
Управление командой по реализации ОТР |
Код |
D/04.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Постановка частных задач исследовательским и производственным коллективам для достижения основного результата |
| Контроль и оценка достижений заданных результатов |
| Необходимые умения | Декомпозировать ТЗ без потери системности |
| Принимать согласованные решения |
| Владеть методологией СМК |
| Необходимые знания | Системный анализ |
| Теория и практика принятия оптимальных решений |
| Процессный метод системы менеджмента качества |
| Другие характеристики | Ответственность за выполнение всех требований ТЗ на ОТР |
IV. Сведения об организациях — разработчиках профессионального стандарта
4.1. Ответственная организация-разработчик
| Фонд инфраструктурных и образовательных программ (РОСНАНО) Генеральный директор Свинаренко Андрей Геннадьевич |
4.2. Наименования организаций-разработчиков
| 1. |
Автономная некоммерческая организация «Национальное агентство развития квалификаций», город Москва |
| 2. |
ЗАО «Научно-производственная фирма „Микран“, город Томск» |
| 3. |
ОАО НИИ Полупроводниковых приборов, город Томск |
| 4. |
ООО «НПФ „Сенсерия“, город Томск» |
| 5. |
ООО «НПФ „Сибтроника“, город Томск» |
| 6. |
ООО «РИД», город Томск |
| 7. |
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники» (ТУСУР), город Томск |