Изменение № 1 ГОСТ 25948-83 «Арсенид и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла»

(утв. и введено в действие Постановлением Госстандарта СССР от 22.03.1989 № 606)

от 22 марта 1989 г. № 606

ИЗМЕНЕНИЕ № 1 ГОСТ 25948-83 «АРСЕНИД И ФОСФИД ГАЛЛИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ.»

Дата введения 1 января 1990 года

Вводная часть, пункт 1.3. Заменить слова «тип проводимости» на «тип электропроводности».

Пункт 1.4. Чертеж 1 под словами «p-тип» дополнить обозначением: (R_{H}>0) ; «n-тип» — обозначением (R_{H}<0) .

Раздел 2 дополнить пунктами — 2.1.1, 2.1.2: «2.1.1. Измерительная установка должна быть аттестована. Основная относительная погрешность установки при контроле образцов с удельным электрическим сопротивлением \rho<10^{6}\text{Ом } \cdot \text{см} не должна превышать при измерении удельного электрического сопротивления +/- 5% и коэффициента Холла +/- 8%, при контроле образцов с удельным электрическим сопротивлением \rho \geq 10^{6}\text{Ом } \cdot \text{см} не должна превышать соответственно +/- 12% и +/- 15%.»

2.1.2. Допускается проведение измерений и обработка результатов с использованием средств автоматизации по алгоритмам, изложенным в настоящем стандарте, в частности использование установок типа «Холл-100», «Холл-200» при условии соблюдения требований п. 2.1.1».

Пункт 2.2.1. Таблицу 1 изложить в новой редакции:

Таблица 1

Наименование материала	Подвижность основных носителей заряда мю, 2 -1 -1 см x В x с , не более	Магнитная индукция в зазоре магнита B, Тл, не более	Допустимая неоднородность магнитного поля в области измерения, %, не более
Арсенид галлия nи p-типа электропроводности	3 3 x 10 3 7 x 10 4 1 x 10	1,0 0,7 0,5	+/- 3
Фосфид галлия nи p-типа электропроводности	2 2 x 10	1,0	+/- 3

Примечание. Измерение коэффициента Холла в арсениде галлия p-типа электропроводности с концентрацией основных носителей заряда более 1 \cdot 10^{19}\text{см}^{- 3} выполняют при значении B не менее 0,7 Тл.

Пункт 2.2.2 дополнить словами: «Погрешность регистрации электрического тока не должна превышать 1% при измерении материала с удельным электрическим сопротивлением \rho<10^{6}\text{Ом } \cdot \text{см} и 3% при измерении полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением \rho \geq 10^{6}\text{Ом } \cdot \text{см} »;

таблицу 2 изложить в новой редакции:

Таблица 2

Удельное электрическое сопротивление, ро, Ом x см, не более	Значение электрического тока I, А, не более	Допустимая нестабильность электрического тока за время измерения, %, не более	Входное электрическое сопротивление измерительного прибора R , вх Ом, не менее	Чувствительность измерительного прибора, В
-3	-1		4	-7
5 x 10	5 x 10	+/- 1	10	10
-2	-1		4	-6
3 x 10	2 x 10	+/- 1	10	10
0	-1		4	-5
1 x 10	1 x 10	+/- 1	10	10
1	-2		5	-5
1 x 10	1 x 10	+/- 1	10	10
2	-3		6	-5
1 x 10	1 x 10	+/- 1	10	10
3	-4		7	-5
1 x 10	1 x 10	+/- 1	10	10
4	-5		8	-5
1 x 10	1 x 10	+/- 1	10	10
5	-6		9	-4
1 x 10	1 x 10	+/- 1	10	10
6	-7		10	-3
1 x 10	5 x 10	+/- 5	10	10
7	-8		11	-3
1 x 10	5 x 10	+/- 5	10	10
8	-9		11	-3
1 x 10	5 x 10	+/- 5	10	10
9	-10		12	-3
1 x 10	5 x 10	+/- 5	10	10

Пункт 2.2.3 изложить в новой редакции: «2.2.3. Прибор для измерения электрического напряжения должен удовлетворять требованиям табл. 2.»

Погрешность измерения электрического напряжения не должна превышать 1% при контроле материала с удельным электрическим сопротивлением \rho<10^{6}\text{Ом } \cdot \text{см} и 2,5% — при контроле полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением \rho \geq 10^{6}\text{Ом } \cdot \text{см} «.»

Пункт 2.2.4 после слов «должно обеспечивать» дополнить словами: «при контроле одного образца».

Пункт 2.3.3 исключить.

Пункт 3.1. Заменить слово «(черт. 3)» на «в форме квадрата (черт. 3) или произвольной формы».

Раздел 3 дополнить пунктом — 3.1.1: «3.1.1. Допускается проводить измерения на образцах в форме параллелепипеда, удовлетворяющих требованиям к образцам крестообразной формы (табл. 3)».

Пункт 3.2 дополнить словами: «(либо в форме параллелепипеда)».

Пункт 3.3. Таблица 3. Графа «Длина образца». Заменить значение > 3a на >= 0,8;

дополнить абзацем (после табл. 3): «Для пластин произвольной формы поперечный размер образца должен быть не менее 0,7 см».

Пункт 4.2 после слов «располагая их на» дополнить словами: «торцовой поверхности или»;

второй абзац исключить.

Раздел 4 дополнить пунктами — 4.4, 4.4.1, 4.4.2: «4.4. Перед выполнением измерений электрофизических параметров измеряют геометрические размеры образца.»

4.4.1. Толщину образца в виде плоскопараллельной пластины измеряют в трех точках одной в центре и двух на периферии пластины. Если поперечный линейный размер образца превышает 5 см, толщину образца измеряют в 5 точках одной в центре и четырех на периферии образца. За результат измерения толщины принимают среднее арифметическое полученных значений.

4.4.2. Геометрические размеры образцов крестообразной формы измеряют два раза в противоположных концах образца. За результат измерений принимают среднее арифметическое полученных значений».

Пункт 5.2.1. Заменить слова «используя одну из двух пар контактов» на «используя соседнюю по периметру образца пару контактов».

Пункт 6.1.1. Формулы 1 - 4 изложить в новой редакции

U_{\rho_{1}} = \frac{U_{3,4(+ I)} - U_{3,4(- I)} + U_{2,3(+ I)} - U_{2,3(- I)}}{4} ; (1)

U_{\rho} = \_\_\_\_ \frac{U_{4,1(+ I)} - U_{4,1(- I)} + U_{1,2(+ I)} - U_{1,2(- I)}}{{}^{2}4} ; (2)

\alpha_{1} = \frac{U_{3,4(+ I)} - U_{3,4(- I)}}{U_{2,3(+ I)} - U_{2,3(- I)}} ; (3)

\alpha = \_\_\_\_ \frac{U_{4,1(+ I)} - U_{4,1(- I)}}{{}^{2}U_{1,2(+ I)} - U_{1,2(- I)}} ; (4)

дополнить абзацем (после первого): «При вычислении значений напряжений U_{\rho_{1}} , U_{\rho_{2}} и коэффициентов \alpha_{1} , \alpha_{2} алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях.»

Пункт 6.2.1. Формулу 13 изложить в новой редакции

U_{\rho} = \frac{U_{1,2(+ I)} - U_{1,2(- I)} + U_{3,4(+ I)} - U_{3,4(- I)}}{4} ; (13)

дополнить абзацем: «При определении значений U_{\rho} , U_{\rho_{1}} , U_{\rho_{2}} алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях».

Пункты 6.3 - 6.9 исключить.

Раздел 6 дополнить пунктами — 6.2.5 — 6.2.10: «6.2.5. Значения удельного электрического сопротивления и концентрации основных носителей заряда в полуизолирующих материалах (\rho \geq 10^{6}\text{Ом } \cdot \text{см}) могут быть приведены к температуре T_{0} по формулам»

\rho_{(T_{0})} = Q_{(T)} \cdot \rho_{T}^{( - 1)} ; (21)

N_{(T_{0})} = Q_{(T)} \cdot N_{(T)} ; (22)

Q_{(T)} = exp[E/K(\frac{1}{T} - \frac{1}{T_{0}})] , (23)

где K — постоянная Больцмана; K = 8,62 \cdot 10^{- 5}\text{эВ} \cdot K^{- 1} ;

T — температура измерения, К;

E — энергия активации глубокого примесного центра, определяющего полуизолирующие свойства материала, эВ.

---