ГОСТ 26239.0-84. Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
(утв. Постановлением Госстандарта СССР от 13.07.1984 № 2490)
от 13 июля 1984 г. № 2490
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ
ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ К МЕТОДАМ АНАЛИЗА
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. General requirements for methods of analysis
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. № 2490 срок действия установлен с 01.01.1986 до 01.01.1991.
Разработаны Министерством цветной металлургии СССР.
Исполнители: Ю.А. Карпов, М.Н. Щулепников, М.К. Винников, Г.Г. Главин, Н.А. Градскова, О.В. Завьялов, Т.И. Зяблова, В.Е. Квин, В.А. Крылов, И.А. Кузовлев, Н.И. Марунина, В.Г. Мискарьянц, В.М. Михайлов, М.Г. Назарова, В.А. Орлова, А.И. Степанов, Н.С. Сысоева, В.И. Фирсов, Г.И. Александрова.
Внесены Министерством цветной металлургии СССР.
Утвержден и введен в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. № 2490.
1. Настоящий стандарт устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения (технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца.
2. Общие требования к методам анализа по ГОСТ 26239.0-84 (СТ СЭВ 314-76).
3. Отбор и подготовку проб к анализу проводят по нормативно-технической документации.
4. Анализируемые пробы и материалы, используемые для приготовления образцов сравнения и стандартных растворов, взвешивают с погрешностью не более 0,0002 г.
5. Для взятия навесок используют аналитические лабораторные весы типа ВЛА-200-М или ВЛР-20Г, технические весы ВПТ-1, торсионные весы ВТ-500 по ГОСТ 13718-68 или аналогичных типов.
6. Для нагревания растворов применяют электрическую плитку с закрытой спиралью по ГОСТ 14919-83.
7. Для приготовления растворов и проведения анализов применяют дистиллированную воду по ГОСТ 6709-72 и реактивы квалификации не ниже ч.д.а., если не указана другая.
8. Для проведения анализа применяют мерную лабораторную посуду не ниже второго класса точности по ГОСТ 20292-74 (бюретки, пипетки) и ГОСТ 1770-74 (цилиндры, мензурки, колбы), а также стеклянную посуду (стаканы, конические колбы и др.) по ГОСТ 25336-82, тигли фарфоровые по ГОСТ 9147-80, тигли кварцевые по ГОСТ 19908-80, воронки стеклянные делительные и конические по ГОСТ 25336-82, бюксы стеклянные по ГОСТ 25336-82, эксикаторы по ГОСТ 25336-82, посуду из стеклоуглерода марки СУ-2000.
9. Допускается применение другой аппаратуры, материалов, посуды и реактивов при условии получения метрологических характеристик, не хуже указанных в соответствующих стандартах на методы анализа.
10. В стандартах на методы анализа указаны величины допускаемых расхождений при доверительной вероятности Р = 0,95 или Р = 0,90 для нескольких значений массовых долей. Допускаемые расхождения для промежуточных значений рассчитывают методом линейной интерполяции.
11. Проверку правильности результатов анализа полупроводникового кремния или исходных продуктов для его получения проводят не реже одного раза в месяц и не менее N/20 раз в месяц, где N — число проб, проанализированных за месяц, с использованием той же аппаратуры, реактивов и материалов.
12. Правильность результатов анализа контролируют способами, указанными в соответствующих государственных стандартах на методы анализа.
13. Требования безопасности при проведении анализов полупроводникового кремния и исходных продуктов его получения — по нормативно-технической документации. Порядок и виды обучения работников безопасности труда проводят в соответствии с ГОСТ 12.0.004-79.