---
title: "\"ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне\""
number: "ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020"
issuer: "Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии"
status: действует
canonical: "https://bukva.ai/docs/standart-gost-r-iso-14644-12-2020"
---

## "ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне"

# "ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне"

(утв. и введен в действие Приказом Росстандарта от 23.07.2020 N 395-ст)

> [!IMPORTANT]
> Документ [введен](#p100010) в действие с 01.12.2020.


<a id="p100001"></a>Утвержден и введен в действие
Приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от 23 июля 2020 г. N 395-ст

<a id="p100002"></a>**НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ**

<a id="p100003"></a>**ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ**

<a id="p100004"></a>**ЧАСТЬ 12**

<a id="p100005"></a>**ТРЕБОВАНИЯ К ТЕКУЩЕМУ КОНТРОЛЮ ЧИСТОТЫ ВОЗДУХА**
**ПО КОНЦЕНТРАЦИИ ЧАСТИЦ С РАЗМЕРАМИ В НАНОДИАПАЗОНЕ**

<a id="p100006"></a>Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12
Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale
particle concentration

<a id="p100007"></a>**(ISO 14644-12:2018, IDT)**

<a id="p100008"></a>**ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020**

<a id="p100009"></a>ОКС 13.040.35
19.020
07.030

<a id="p100010"></a>Дата введения
1 декабря 2020 года


### <a id="p100011"></a>Предисловие


<a id="p100012"></a>1 ПОДГОТОВЛЕН ООО "Чистые технологии" на основе собственного перевода на русский язык англоязычной версии стандарта, указанного в [пункте 4](#p100015)
<a id="p100013"></a>2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 "Обеспечение промышленной чистоты"
<a id="p100014"></a>3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 23 июля 2020 г. N 395-ст
<a id="p100015"></a>4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-12:2018 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне" (ISO 14644-12:2018 "Cleanrooms and associated controlled environments - Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration", IDT).
<a id="p100016"></a>Международный стандарт подготовлен Техническим комитетом ISO/TC 209 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды" Международной организации по стандартизации (ISO)
<a id="p100017"></a>**5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ**

<a id="p100018"></a>Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. N 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации". Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)


### <a id="p100019"></a>Введение


<a id="p100020"></a>Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды обеспечивают защиту от загрязнений исходя из требований видов деятельности, чувствительных к загрязнениям. Продукты и процессы, требующие защиты от загрязнений, применяются в аэрокосмической, электронной, фармацевтической, медицинской, пищевой промышленности и здравоохранении.
<a id="p100021"></a>Нормативные требования первых изданий стандартов ИСО 14644-1 и ИСО 14544-3 были ограничены классификацией по частицам с размерами более 100 нм. Однако в оба стандарта был включен справочный материал, относящийся к аэрозольным частицам с размерами менее 100 нм. На период разработки указанных стандартов для частиц с размерами менее 100 нм в большей степени использовался термин "ультрамелкие частицы", чем "наночастицы".
<a id="p100022"></a>Во вторых изданиях стандартов ИСО 14644-1 и ИСО 14644-3 <*> разделы, относящиеся к "ультрамелким частицам", были из них изъяты и перенесены в измененном виде в данный стандарт. Дополнительная информация была получена из других источников, включая документы, разработанные ИСО/ТК 229 "Нанотехнологии".

<a id="p100023"></a>

---

<a id="p100024"></a><*> Находится на стадии разработки (стадия на дату публикации ISO/DIS 14644-3).

<a id="p100025"></a>В рамках долгосрочной тенденции развития технологических процессов в сторону работы с очень мелкими частицами, ряд отраслей, такие как микроэлектроника и здравоохранение, выпускают продукцию, требующую контроля в нанодиапазоне.
<a id="p100026"></a>Наночастицы созданы человеком. Другие частицы в диапазоне наноразмеров могут возникать как выбросы побочных продуктов технологического процесса или дополнительно как встречающиеся в природе частицы. Чистое помещение с нанотехнологическим процессом может содержать наночастицы из всех трех источников
<a id="p100027"></a>Наночастицы или ультрамелкие частицы отличаются от субмикронных частиц и макрочастиц по своей природе, химическим свойствам и поведению во время движения. Большинство субмикронных частиц и макрочастиц связаны с деятельностью человека. Наночастицы образуются при электростатическом разряде и химических реакциях, таких как окисление и образование ядер в газовой фазе. Предполагается, что свойства материала наночастиц отличаются от более крупных образований потенциально большей химической активностью и иногда повышенной токсичностью. Частицы движутся, в основном, в потоке воздуха, так же как субмикронные частицы. Однако диффузия и подвижность наночастиц в электрическом поле быстро возрастают с уменьшением размера. Следствием этого являются более высокие коагуляция в воздухе и интенсивность осаждения на поверхности, чем для более крупных частиц. Поэтому не предполагается, что кривые классификации, приведенные в ИСО 14644-1, могут быть просто экстраполированы на частицы с размерами, меньшими указанного нижнего предела.
<a id="p100028"></a>ULPA фильтры (сверхвысокоэффективные фильтры или фильтры с ультранизких проскоком частиц) удерживают наночастицы с высокой эффективностью, предупреждая их попадание в помещений из атмосферы или с рециркуляционным воздухом. Поэтому большинство наночастиц в чистых помещениях относятся к процессу. Во многих чистых помещениях субмикронные частицы и макрочастицы имеют сходный состав. Что касается наночастиц, то наночастицы в каждом чистом помещении связаны со специфическим процессом. Поэтому определение концентрации наночастиц имеет смысл только для "эксплуатируемого" состояния чистого помещения. В "построенном" или "оснащенном" состояниях частицы, связанные с процессом, отсутствуют, что ведет к несоответствию с реальными данными.
<a id="p100029"></a>В библиографии [[1]](#p100254) - [[18]](#p100297) указаны источники, содержащие основополагающую информацию о характеристиках и свойствах частиц в зависимости от размеров.
<a id="p100030"></a>Настоящий стандарт подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды".
<a id="p100031"></a>Перечень всех частей комплекса стандартов ИСО 14644 приведен на сайте ИСО.


### <a id="p100032"></a>1 Область применения


<a id="p100033"></a>Настоящий стандарт устанавливает требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне.
<a id="p100034"></a>Для целей настоящего стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже - "нанодиапазон".
<a id="p100035"></a>Текущий контроль, представленный в настоящем стандарте, применим, в основном, для эксплуатируемого состояния.
<a id="p100036"></a>Примечания
<a id="p100037"></a>1 Для целей настоящего стандарта [термин](#p100068) "наночастица" относится ко всем объектам, имеющим один (нанопластина), два (нановолокно) или три (наночастица) размера в нанодиапазоне.
<a id="p100038"></a>2 Как следствие, требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации наночастиц в чистом помещении в эксплуатируемом состоянии учитывают также специфику процесса, например, используемое оборудование, поведение персонала и др.
<a id="p100039"></a>3 Стандарт не рассматривает требования к охране здоровья и безопасности.


### <a id="p100040"></a>2 Нормативные ссылки


<a id="p100041"></a>Нормативные ссылки в данном стандарте отсутствуют.


### <a id="p100042"></a>3 Термины и определения


<a id="p100043"></a>В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.
<a id="p100044"></a>ИСО и МЭК (IEC) предоставляет базу данных терминов для целей стандартизации по следующим адресам:
- <a id="p100045"></a>ISO Online browsing platform - доступно по адресу http://www.iso.org/obp
- <a id="p100046"></a>IEC Electropedia - доступно по адресу http://www.electropedia.org/

#### <a id="p100047"></a>3.1 Общие термины

<a id="p100048"></a>3.1.1 чистое помещение (cleanroom): Помещение, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое спроектировано, построено и эксплуатируется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц в нем.
<a id="p100049"></a>Примечания
<a id="p100050"></a>1 Следует задать класс чистоты по концентрации аэрозольных частиц.
<a id="p100051"></a>2 Могут также задаваться и контролироваться другие параметры, например, концентрации химических, биологических загрязнений и загрязнений с размерами в нанодиапазоне [(3.2.1)](#p100062) в воздухе, а также чистота поверхностей по частицам, химическим, биологическим загрязнениям и загрязнениям с размерами в нанодиапазоне.
<a id="p100052"></a>3 При необходимости могут задаваться и другие физические параметры, например, температура, влажность, давление, уровень вибрации и электростатические характеристики.

<a id="p100053"></a>**[ИСО 14644-1:2015, 3.1.1]**
<a id="p100054"></a>3.1.2 чистая зона (clean zone): Определенное пространство, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и эксплуатируется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц в нем.
<a id="p100055"></a>Примечания
<a id="p100056"></a>1 Следует задать класс чистоты по концентрации аэрозольных частиц.
<a id="p100057"></a>2 Могут также задаваться и контролироваться другие параметры, например, концентрации химических, биологических загрязнений и загрязнений с размерами в нанодиапазоне [(3.2.1)](#p100062) в воздухе, а также чистота поверхностей по частицам, химическим, биологическим загрязнениям и загрязнениям с размерами в нанодиапазоне.
<a id="p100058"></a>3 Чистая зона может находиться внутри чистого помещения [(3.1.1)](#p100048) или представлять собой изолирующее устройство. Такое устройство может быть установлено как в чистом помещении, так и вне него.
<a id="p100059"></a>4 При необходимости могут задаваться и другие физические параметры, например, температура, влажность, давление, уровень вибрации и электростатические характеристики.

<a id="p100060"></a>**[ИСО 14644-1:2015, 3.1.2]**

#### <a id="p100061"></a>3.2 Размеры частиц

<a id="p100062"></a>3.2.1 нанодиапазон (nanoscale): Диапазон линейных размеров приблизительно от 1 нм до 100 нм.
<a id="p100063"></a>*Примечание* - Уникальные свойства нанообъектов, не являющиеся экстраполяцией свойств больших размеров, проявляются преимущественно в пределах данного диапазона.

<a id="p100064"></a>**[ISO/TS 80004-2:2015, 2.1]**
<a id="p100065"></a>3.2.2 отсечка частиц по размерам D50 (particle size cutoff, D50): Размер частиц, при котором эффективность счета равна 50%.
<a id="p100066"></a>Примечание - По эффективности счета см. [приложение B](#p100189).


#### <a id="p100067"></a>3.3 Аэрозольные частицы

<a id="p100068"></a>3.3.1 наночастица (nanoparticle): Нанообъект, внешние размеры которого по всем трем измерениям находятся в нанодиапазоне [(3.2.1)](#p100062), а размеры длин в направлении самой короткой и самой длинной из осей не имеют существенных отличий.
<a id="p100069"></a>*Примечание* - Если по одному или двум измерениям размеры нанообъекта значительно больше, чем по третьему измерению (как правило, более чем в три раза), то вместо термина "наночастица" можно использовать термины "нановолокно" или "нанопластина".

<a id="p100070"></a>**[ISO/TS 80004-2:2015, 4.4]**
<a id="p100071"></a>3.3.2 распределение частиц по размерам (particle size distribution): Кумулятивное распределение концентрации частиц в зависимости от их размеров.
<a id="p100072"></a>**[ИСО 14644-1:2015, 3.2.4]**
<a id="p100073"></a>3.3.3 аэрозоль (aerosol): Система, состоящая из твердых и жидких частиц, взвешенных в газе.
<a id="p100074"></a>**[ИСО 15900:2009, 2.1]**

#### <a id="p100075"></a>3.4 Состояния чистого помещения

<a id="p100076"></a>3.4.1 эксплуатируемое (operational): Состояние, в котором чистое помещение [(3.1.1)](#p100048) или чистая зона [(3.1.2)](#p100054) функционирует установленным образом с работающим оборудованием и заданным числом персонала.
<a id="p100077"></a>**[ИСО 14644-1:2015, 3.3.3]**

#### <a id="p100078"></a>3.5 Средства контроля

<a id="p100079"></a>3.5.1 счетчик ядер конденсации (condensation particle counter, CPC): Прибор для определения концентрации частиц в аэрозоле [(3.3.3)](#p100073).
<a id="p100080"></a>Примечания
<a id="p100081"></a>1 Размеры обнаруживаемых частиц обычно находятся в пределах от нескольких нанометров до нескольких сот нанометров.
<a id="p100082"></a>2 Счетчик ядер конденсации является одним из возможных детекторов для использования совместно с анализатором дифференциальной электрической подвижности (DEMC).
<a id="p100083"></a>3 В некоторых случаях счетчик ядер конденсации, "condensation particle counter, CPC" может иметь наименование "condensation nucleus counter, CNC".

<a id="p100084"></a>**[ИСО 15900:2009, 2.5]**
<a id="p100085"></a>3.5.2 эффективность счета (counting efficiency): Отношение полученной концентрации частиц в определенном диапазоне размеров к действительной концентрации таких частиц.
<a id="p100086"></a>**[ИСО 14644-3:2005, 3.6.5]**


### <a id="p100087"></a>4 Текущий контроль



#### <a id="p100088"></a>4.1 Общие положения

<a id="p100089"></a>Для целей контроля частиц представляет интерес только их характеристика "эквивалентный диаметр".

#### <a id="p100090"></a>4.2 Принцип контроля

<a id="p100091"></a>Проверка предельных значений для текущего контроля и требований, указанных заказчиком, выполняется с помощью заданных методов испытаний с оформлением документации, отражающей результаты испытаний и условия их проведения, в соответствии с соглашением между заказчиком и исполнителем. Требования к программе контроля, основанные на оценке риска при использовании по назначению, приведены в приложении A к ИСО 14644-2:2015.

#### <a id="p100092"></a>4.3 Методы контроля

<a id="p100093"></a>Наиболее эффективным прибором для целей текущего контроля концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне является счетчик ядер конденсации. Базовый метод для такого контроля приведен в [приложении A](#p100124). Контроль чистоты воздуха по концентрации наночастиц должен выполняться по программе, четко определенным инструкциям и с указанием порядка выполнения оценки. Как правило, уровни предупреждения и действия следует определять с помощью анализа рисков. При отсутствии требований к заказчику и исполнителю пределы могут устанавливаться по соглашению.
<a id="p100094"></a>К критериям выбора метода счета частиц относятся:
- <a id="p100095"></a>размеры наночастиц;
- <a id="p100096"></a>время, необходимое для отбора проб и анализа;
- <a id="p100097"></a>объем пробы;
- <a id="p100098"></a>точки отбора проб;
- <a id="p100099"></a>число проб;
- <a id="p100100"></a>критичность по отношению к продукту или процессу;
- <a id="p100101"></a>конструкция или план чистый зоны.
<a id="p100102"></a>По согласованию между заказчиком и исполнителем могут использоваться альтернативные методы и приборы, обеспечивающие, по крайней мере, получение результатов, сравнимых со счетчиком ядер конденсации. Если альтернативный метод не задан, то следует применять стандартный метод.
<a id="p100103"></a>Следует использовать калиброванные приборы.


### <a id="p100104"></a>5 Протокол испытаний


<a id="p100105"></a>Результаты испытаний каждой чистой зоны должны быть оформлены документально и быть представлены в виде протокола, содержащего полную информацию. В заключение должны быть включены обзор данных контроля с указанием отрицательных тенденций, рабочих параметров, а также требования к проведению анализа в соответствии с программой контроля по [4.2](#p100090).
<a id="p100106"></a>Протокол испытаний должен включать:
<a id="p100107"></a>a) наименование и адрес испытательной организации и дату проведения испытаний;
<a id="p100108"></a>b) ссылку на данный стандарт: ИСО 14644-12;
<a id="p100109"></a>c) ясное обозначение места расположения испытуемой чистой зоны (включая указание на соседние зоны, если это необходимо) с нанесением всех точек отбора проб;
<a id="p100110"></a>d) заданные критерии оценки чистой зоны с указанием ее состояния(й) и размера(ов) частиц;
<a id="p100111"></a>e) данные о методе испытаний с указанием специальных условий и приборов или отклонений от метода со ссылкой на действующие сертификаты калибровки:
1) <a id="p100112"></a>идентификацию счетчика ядер конденсации (CPC) и устройства для отсечки размера частиц, если используется, и данных о калибровке,
2) <a id="p100113"></a>нижний предел размеров частиц, для которого выполнен контроль концентрации наночастиц,
3) <a id="p100114"></a>результат нулевого счета при использовании CPC,
4) <a id="p100115"></a>данные об устройстве для отсечки размера частиц, если требуется,
5) <a id="p100116"></a>вид контроля: определение установление концентрации наночастиц или текущий контроль <*>,

<a id="p100117"></a>

---

<a id="p100118"></a><*> Имеются в виду два вида контроля:
- <a id="p100119"></a>при первоначальных и периодических испытаниях (аттестации) и
- <a id="p100120"></a>при текущем контроле (примечание ТК 184).

6) <a id="p100121"></a>данные о пробоотборном устройстве системы контроля наночастиц и скорости отбора проб;
<a id="p100122"></a>f) результаты испытаний, включая данные о концентрации частиц для всех точек отбора проб.





<a id="p100123"></a>Приложение A
(справочное)

<a id="p100124"></a>**СТАНДАРТНЫЙ МЕТОД ТЕКУЩЕГО КОНТРОЛЯ (МОНИТОРИНГА)**
**С ПОМОЩЬЮ СЧЕТЧИКА ЯДЕР КОНДЕНСАЦИИ**

<a id="p100125"></a>A.1 Общие положения
<a id="p100126"></a>Счетчик ядер конденсации служит для определения концентрации аэрозольных наночастиц с размерами равными и большими заданного порогового размера в требуемых точках отбора проб.
<a id="p100127"></a>A.2 Требования к приборам
<a id="p100128"></a>A.2.1 Счетчик ядер конденсации
<a id="p100129"></a>Счетчик должен иметь средства для отображения или записи результатов счета частиц в воздухе с разделением по размерам, достаточным для определения общей концентрации наночастиц в заданном диапазоне размеров для рассматриваемого класса.
<a id="p100130"></a>A.2.2 Требования к счетчику ядер конденсации (CPC)
<a id="p100131"></a>Счетчик считает все капельки, образованные при конденсации пересыщенного пара на ядрах отобранных частиц. Ведется кумулятивный счет всех частиц с размерами равными или большими наименьшего предела размеров частиц счетчика. Требования к счетчикам ядер конденсации приведены в [таблице A.1](#p100133). Технические характеристики прибора должны быть предоставлены поставщиком и приняты заказчиком.

<a id="p100132"></a>Таблица A.1

<a id="p100133"></a>Технические характеристики счетчиков ядер конденсации


| <a id="p100134"></a>Показатель | <a id="p100135"></a>Требования |
| --- | --- |
| <a id="p100136"></a>Верхний предел концентрации | <a id="p100137"></a>> 3,5 x 108/м3 |
| <a id="p100138"></a>Отсечка частиц по размерам (D50) | <a id="p100139"></a>Зависит от области применения, например, D50 = 0,01 мкм |
| <a id="p100140"></a>Точность счета частиц | <a id="p100141"></a>+/- 10% ниже верхнего предела концентрации |
| <a id="p100142"></a>Условия окружающей среды для стабильной работы | <a id="p100143"></a><a id="p100144"></a><a id="p100145"></a>Температура: от 10 °C до 35 °C<br>Относительная влажность: от 0% до 90% при отсутствии конденсации<br>Внешнее давление: от 75 кПа до 105 кПа (от 0,75 атм. до 1,1 атм.) |
| <a id="p100146"></a>Стабильность потока воздуха | <a id="p100147"></a>+/- 10% от заданной скорости потока при температуре, относительной влажности и давлении во время проведения испытаний |
| <a id="p100148"></a>Периодичность калибровки | <a id="p100149"></a>Не более 12 мес |
| <a id="p100150"></a>Ошибка счета | <a id="p100151"></a>Ошибка счета должна быть менее 1/3 от максимально допустимой концентрации по согласованию с заказчиком |
| <a id="p100152"></a>Эффективность счета | <a id="p100153"></a>50% +/- 10% от наименьшего порогового размера, > 85% для пятикратного значения наименьшего порогового размера и < 25% от половины этого размера [(рисунок B.1)](#p100235) при использовании наночастиц сахарозы или серебра |


<a id="p100154"></a>A.2.3 Калибровка прибора
<a id="p100155"></a>Прибор должен иметь действующий сертификат калибровки. Периодичность и методика калибровки должна соответствовать общепринятой практике (ИСО 27891).
<a id="p100156"></a>A.3 Эффективность счета частиц и отсечка частиц по размерам
<a id="p100157"></a>Эффективность счета частиц и отсечка частиц по размерам рассматриваются в [приложении B](#p100189).
<a id="p100158"></a>A.4 Условия до проведения испытаний
<a id="p100159"></a>A.4.1 Подготовка к проведению испытаний
<a id="p100160"></a>Перед началом испытаний следует убедиться в том, что чистая зона или связанные с нею контролируемые среды готовы к испытаниям и работают в соответствии с заданными требованиями. Такая проверка выполняется по ИСО 14644-3 и включает в себя, например, следующее:
<a id="p100161"></a>a) контроль потока воздуха (например, расход воздуха, скорость потока воздуха или однородность однонаправленного потока);
<a id="p100162"></a>b) контроль перепадов давления;
<a id="p100163"></a>c) проверку на герметичность;
<a id="p100164"></a>d) контроль целостности установленных фильтров.
<a id="p100165"></a>A.4.2 Установка оборудования перед испытаниями
<a id="p100166"></a>Установить оборудование согласно инструкции изготовителя. До проверки класса чистоты убедиться в том, что расход воздуха и нулевой счет счетчика ядер конденсации соответствуют [таблице A.1](#p100133).
<a id="p100167"></a>A.5 Отбор проб
<a id="p100168"></a>A.5.1 Определение точек отбора проб
<a id="p100169"></a>Расположение точек отбора проб должно быть согласовано между заказчиком и исполнителем.
<a id="p100170"></a>A.5.2 Метод отбора проб для счетчика ядер конденсации (CPC)
<a id="p100171"></a>A.5.2.1 Установить счетчик частиц [(A.2)](#p100127) согласно инструкции изготовителя с соблюдением требований изготовителя к условиям эксплуатации. Персонал, выполняющий эту работу, должен пройти обучение работе с прибором.
<a id="p100172"></a>A.5.2.2 Пробоотборник должен быть расположен навстречу потоку воздуха. Если направление потока воздуха не контролируется или непредсказуемо (например, поток является неоднонаправленным), то пробоотборник должен быть направлен вертикально вверх.
<a id="p100173"></a>A.5.2.3 При необходимости следует до начала отбора проб выдержать некоторое время для стабилизации условий. Следует отобрать пробы по [A.4.2](#p100165), как минимум, для каждой точки отбора проб. Следует выбрать пробоотборную трубку, пригодную для эффективного транспортирования заряженных частиц. Длина трубки должна быть минимальной.
<a id="p100174"></a>A.5.2.4 Если при отборе проб в нескольких точках наблюдается необычно высокий счет в отобранной пробе, то в этой точке может быть проведено дальнейшее исследование для установления того, соответствует ли точка требованиям пользователя. Если требуются данные о стабильности концентрации наночастиц, то следует выполнить три или более отборов проб в заданных точках с интервалами времени, согласованными заказчиком и исполнителем.
<a id="p100175"></a>A.6 Оформление результатов: средние концентрации частиц в каждой точке отбора проб
<a id="p100176"></a>A.6.1 Записать результаты для каждой точки как число частиц в каждом отдельном объеме пробы для каждого заданного размера(ов) частиц, относящиеся к соответствующей спецификации пользователя.
<a id="p100177"></a>A.6.2 Если в точке отбираются два и более объемов пробы, вычислить и записать среднее число частиц в точке для каждого размера частиц по индивидуальным значениям концентраций частиц [(A.6.1)](#p100176) согласно [формуле (A.1)](#p100178):

<a id="p100178"></a>xi = [xi,1 + xi,2 + ... + xi,n]/n, (A.1)

<a id="p100179"></a>где xi - среднее число частиц в точке i;
<a id="p100180"></a>от xi,1 до xi,n - число частиц в отдельных пробах;
<a id="p100181"></a>n - число проб в точке i.
<a id="p100182"></a>A.6.3 Вычислить концентрацию частиц в 1 м3 [(формула A.2)](#p100183):

<a id="p100183"></a>Ci = xi x 1000/Vt, (A.2)

<a id="p100184"></a>где xi - среднее число частиц в точке i;
<a id="p100185"></a>Vt - объем проб в каждой точке, л.
<a id="p100186"></a>A.7 Интерпретация результатов - требования
<a id="p100187"></a>Чистая зона считается соответствующей заданным требованиям текущего контроля, если средние концентрации частиц в каждой точке, выраженные в числе частиц в 1 м3, не превышают предельных значений концентрации, заданных заказчиком или согласованных поставщиком и заказчиком.





<a id="p100188"></a>Приложение B
(справочное)

<a id="p100189"></a>**ЭФФЕКТИВНОСТЬ СЧЕТА ЧАСТИЦ И ОТСЕЧКА ЧАСТИЦ ПО РАЗМЕРАМ**

<a id="p100190"></a>B.1 Эффективность счета
<a id="p100191"></a>На эффективность счета с помощью счетчика ядер конденсации влияет, в основном, размер частиц и в определенной степени концентрация частиц. В редких случаях состав материала частиц может привести к снижению эффективности счета для очень гидрофобных материалов, когда конденсирующейся жидкостью оказывается вода.
<a id="p100192"></a>Эффективность счета системы для определения концентрации наночастиц должна находиться в пределах затененной зоны на [рисунке B.1](#p100235). Центр этой зоны приходится на эффективность счета 50% для определенного размера наночастицы (D50). Величина X представляет собой частное от деления величин D на D50 (D/D50). Она включает область разброса +/- 10% от нормализованного размера наночастицы X как X = 1,1 и X = 0,9 [(рисунок B.1)](#p100235). Показаны допустимые значения минимальной и максимальной эффективности для частиц с размерами выше и ниже +/- 10% от нормализованного размера наночастицы. Это указывает, что при X = 5 эффективность счета должна быть не менее 85%, а при X = 0,5 - менее 25%. Стандартными частицами для подтверждения эффективности являются частицы сахарозы или серебра.
<a id="p100193"></a>Если кривая эффективности счетчика ядер конденсации падает в правой части затененной зоны [(рисунок B.1)](#p100235), то счетчик не следует использовать для контроля концентрации наночастиц. Если кривая падает в левой части затененной зоны, то эффективность счета может быть снижена путем модификации счетчика с помощью устройства отсечки частиц по размерам согласно [B.2](#p100237). В этом случае эффективность счета модифицированного счетчика ядер конденсации зависит от эффективности счета немодифицированного счетчика ядер конденсации и фракционного проникания устройства отсечки частиц по размерам.

<a id="p100194"></a> ![5 Протокол испытаний](https://i.bukva.ai/Sbr5gnWX/img_0.png) 

<a id="p100195"></a>*ПРИМЕР* D50 = 5 нм


| <a id="p100196"></a>X | <a id="p100197"></a>0,5 | <a id="p100198"></a>0,9 | <a id="p100199"></a>1 | <a id="p100200"></a>1,1 | <a id="p100201"></a>5 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| <a id="p100202"></a>D, нм | <a id="p100203"></a>2,5 | <a id="p100204"></a>4,5 | <a id="p100205"></a>5 | <a id="p100206"></a>5,5 | <a id="p100207"></a>25 |


<a id="p100208"></a>*ПРИМЕР* D50 = 10 нм


| <a id="p100209"></a>X | <a id="p100210"></a>0,5 | <a id="p100211"></a>0,9 | <a id="p100212"></a>1 | <a id="p100213"></a>1,1 | <a id="p100214"></a>5 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| <a id="p100215"></a>D, нм | <a id="p100216"></a>5 | <a id="p100217"></a>9 | <a id="p100218"></a>10 | <a id="p100219"></a>11 | <a id="p100220"></a>50 |


<a id="p100221"></a>*ПРИМЕР* D50 = 50 нм


| <a id="p100222"></a>X | <a id="p100223"></a>0,5 | <a id="p100224"></a>0,9 | <a id="p100225"></a>1 | <a id="p100226"></a>1,1 | <a id="p100227"></a>5 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| <a id="p100228"></a>D, нм | <a id="p100229"></a>25 | <a id="p100230"></a>45 | <a id="p100231"></a>50 | <a id="p100232"></a>55 | <a id="p100233"></a>250 |


<a id="p100234"></a>X - нормализованный диаметр частицы, D/D50;
Y - эффективность счета, %

<a id="p100235"></a>Рисунок B.1 - Зона допустимых значений
эффективности счета для выбранного прибора

<a id="p100236"></a>Отсечка частиц по размерам (D50) зависит от применяемого прибора.
<a id="p100237"></a>B.2 Устройство отсечки частиц по размерам
<a id="p100238"></a>Устройства отсечки частиц по размерам удаляют частицы с размерами, меньшими заданной величины, снижая проникание частиц определенным и воспроизводимым образом. Существует множество устройств отсечки частиц по размерам с разными конфигурациями и размерами, которые обладают разными характеристиками проникания. В качестве устройства для отсечки частиц по размерам могут использоваться элементы диффузионных батарей и виртуальные импакторы.
<a id="p100239"></a>Проникание является функцией физических свойств, конфигурации устройства и расхода воздуха. Устройства отсечки частиц по размерам должны использоваться только при значениях расходов воздуха, предусмотренных конструкцией, и должны быть установлены так, чтобы на них не накапливался электростатический заряд. Накопление заряда может быть сведено к минимуму за счет заземления. Устройство для отсечки частиц по размерам, как правило, устанавливается перед входом счетчика частиц.
<a id="p100240"></a>Требования к устройствам отсечки частиц по размерам приведены в [таблице B.1](#p100242).

<a id="p100241"></a>Таблица B.1

<a id="p100242"></a>Технические характеристики устройств
отсечки частиц по размерам


| <a id="p100243"></a>Наименование | <a id="p100244"></a>Значение |
| --- | --- |
| <a id="p100245"></a>Неопределенность оценки | <a id="p100246"></a>(50 +/- 10)% удаления частиц с заданными размерами |
| <a id="p100247"></a>Периодичность калибровки | <a id="p100248"></a>Зависит от вида устройства и составляет обычно 12 мес |
| <a id="p100249"></a>Расход воздуха | <a id="p100250"></a>Расход воздуха через устройство отсечки частиц по размерам должен быть постоянным, +/- 10%, и быть равным или большим, чем у счетчика частиц |


<a id="p100251"></a>B.3 Распределение наночастиц по размерам
<a id="p100252"></a>Анализатор дифференциальной подвижности (АДП) и счетчик ядер конденсации (CPC) могут использоваться совместно для получения распределения частиц по размерам, образуя систему (САДП). АДП классифицирует заряженные аэрозольные частицы по размерам, пропуская одновременно частицы с размерами в заданном узком диапазоне. После этого ведется счет частиц счетчиком ядер конденсации. Для чистых помещений, учитывая то, что АДП работает по принципу сканирования, и эффективность сообщения заряда частицам ограничена, требуется постоянный источник частиц и достаточное время для построения достоверного и значимого распределения наночастиц по размерам. САДП не предназначена мониторинга (текущего контроля) чистоты воздуха в чистых помещениях. Но она может использоваться для получения распределения наночастиц по размерам в целях диагностики, если концентрация частиц является достаточно высокой и постоянной, а время отбора достаточно продолжительным.






## <a id="p100253"></a>БИБЛИОГРАФИЯ



<table>
<colgroup><col width="7%"><col width="20%"><col width="73%"></colgroup>
<tr><td><a id="p100254"></a>[1]</td><td><a id="p100255"></a>ISO 14644-1</td><td><a id="p100256"></a>Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration</td></tr>
<tr><td><a id="p100257"></a>[2]</td><td><a id="p100258"></a>ISO 14644-2</td><td><a id="p100259"></a>Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration</td></tr>
<tr><td><a id="p100260"></a>[3]</td><td><a id="p100261"></a>ISO 14644-3</td><td><a id="p100262"></a>Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods</td></tr>
<tr><td><a id="p100263"></a>[4]</td><td><a id="p100264"></a>ISO 15900</td><td><a id="p100265"></a>Determination of particle size distribution - Differential electrical mobility analysis for aerosol particles</td></tr>
<tr><td><a id="p100266"></a>[5]</td><td><a id="p100267"></a>ISO 21501-4</td><td><a id="p100268"></a>Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 4: Light scattering airborne particle counter for clean spaces</td></tr>
<tr><td><a id="p100269"></a>[6]</td><td><a id="p100270"></a>ISO/TS 80004-2</td><td><a id="p100271"></a>Nanotechnologies - Vocabulary - Part 2: Nano-objects</td></tr>
<tr><td><a id="p100272"></a>[7]</td><td><a id="p100273"></a>ISO 27891</td><td><a id="p100274"></a>Aerosol particle number concentration - Calibration of condensation particle counters</td></tr>
<tr><td><a id="p100275"></a>[8]</td><td><a id="p100276"></a>ISO/TS 80004-1</td><td><a id="p100277"></a>Nanotechnologies - Vocabulary - Part 1: Core terms</td></tr>
<tr><td><a id="p100278"></a>[9]</td><td colspan="2"><a id="p100279"></a>Ensor D.S., Dixon A.M. Aerosol Measurements in Cleanrooms. In: Aerosol Measurements, (Kulkarni P., ed.). Van Nostrand Reinhold, New York, 2011</td></tr>
<tr><td><a id="p100280"></a>[10]</td><td><a id="p100281"></a>IEST-G-CC1002</td><td><a id="p100282"></a>Determination of the Concentration of Airborne Ultrafine Particles. IEST, Schaumburg, IL, 1996</td></tr>
<tr><td><a id="p100283"></a>[11]</td><td colspan="2"><a id="p100284"></a>Ensor D.S., Foarde K.K. The Behavior of Particles in Cleanrooms. In: Environmental Monitoring, (Dixon A.M., Informa Healthcare U.S.A., eds.). New York, 2006, pp. 1 - 22</td></tr>
<tr><td><a id="p100285"></a>[12]</td><td colspan="2"><a id="p100286"></a>Hinds W.C. Aerosol Technology. John Wiley and Sons, New York, 1982</td></tr>
<tr><td><a id="p100287"></a>[13]</td><td colspan="2"><a id="p100288"></a>Sem G.<sub>J</sub>. Ultrafine ( $&lt;0.1\mu m$ Diameter) Particles. In: Particle control for Semiconductor Manufacturing, (Donovan R.P., ed.). Marcel Dekker, Inc, New York, 1990, pp. 79 - 103</td></tr>
<tr><td><a id="p100289"></a>[14]</td><td colspan="2"><a id="p100290"></a>Wen H.Y., Kasper G. On the Kinetics of Particle Reentrainment for Surfaces. J. Aerosol Sci. 1989, 20 pp. 483 - 498</td></tr>
<tr><td><a id="p100291"></a>[15]</td><td colspan="2"><a id="p100292"></a>Ensor D.S., Donovan R.P., Locke B.R. Particle Size Distributions in Clean Rooms. J. IEST. 1987, 30 (6) pp. 44 - 49</td></tr>
<tr><td><a id="p100293"></a>[16]</td><td colspan="2"><a id="p100294"></a>Ensor D.S., Viner A.S., Johnson E.W., Donovan R.P., Keady P.B., Weyrauch K.J.. Measurement of Ultrafine Aerosol Particle Size Distributions at Low Concentrations by Parallel Arrays of a Diffusion Battery and a Condensation Nucleus Counter in Series. J. Aerosol Sci. 1989, 20 pp. 471 - 475</td></tr>
<tr><td><a id="p100295"></a>[17]</td><td colspan="2"><a id="p100296"></a>Ahonen L.R. Kangasluoma, J. Lammi, J. Lehtipalo, K. Hämeri , K. Petäjä , T. &amp; Kulmala M. First measurements of the number size distribution of 1 - 2 nm aerosol particles released from manufacturing processes in a cleanroom environment. Aerosol Sci. &amp; Tech. 2017, 51 pp. 685 - 693| DOI: 10.1080/02786826.2017.1292347</td></tr>
<tr><td><a id="p100297"></a>[18]</td><td><a id="p100298"></a>ISO/TR 18401</td><td><a id="p100299"></a>Nanotechnologies - Plain language explanation of selected terms from the ISO/IEC 80004 series</td></tr>
</table>







<table>
<colgroup><col width="50%"><col width="50%"></colgroup>
<tr><td><a id="p100300"></a>УДК 620.3:006.354</td><td><a id="p100301"></a><a id="p100302"></a><a id="p100303"></a>ОКС 13.040.35<br>19.020<br>07.030</td></tr>
<tr><td colspan="2"><a id="p100304"></a>Ключевые слова: чистые помещения, контролируемые среды, наночастица, нанодиапазон, классификация чистоты, счетчик частиц</td></tr>
</table>




<a id="p100305"></a>

---