ГОСТ Р 71570-2024. Национальный стандарт Российской Федерации. Оптика и фотоника. Детали оптические. Типовые технологические процессы нанесения одно-, двух- и трехслойных просветляющих покрытий на оптические детали из несиликатных химически неустойчивых стекол
Актуально на 01.11.2026.
Как цитировать: "ГОСТ Р 71570-2024. Национальный стандарт Российской Федерации. Оптика и фотоника. Детали оптические. Типовые технологические процессы нанесения одно-, двух- и трехслойных просветляющих покрытий на оптические детали из несиликатных химически неустойчивых стекол". ГОСТ Р 71570-2024. https://bukva.ai/docs/standart-gost-r-71570-2024
(утв. и введен в действие Приказом Росстандарта от 12.09.2024 № 1213-ст)
Примечание
Документ введен в действие с 01.01.2025.
Утвержден и введен в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12 сентября 2024 г. № 1213-ст
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ТИПОВЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ НАНЕСЕНИЯ ОДНО-, ДВУХ- И ТРЕХСЛОЙНЫХ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ НА ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ ИЗ НЕСИЛИКАТНЫХ ХИМИЧЕСКИ НЕУСТОЙЧИВЫХ СТЕКОЛ
Optics and photonics. Optical details. Typical technological processes for applying one-, two- and three-layer antireflection coatings to optical parts made of non-silicate chemically unstable glasses
Дата введения 1 января 2025 года
Предисловие
1 РАЗРАБОТАН Обществом с ограниченной ответственностью «Лазеры и оптические системы» (ООО «ЛОС») и Акционерным обществом «ЛОМО» (АО «ЛОМО»)
2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 296 «Оптика и фотоника»
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12 сентября 2024 г. № 1213-ст
Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. № 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации». Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на оптические детали диаметром от 7 до 1000 мм, изготовленные из несиликатных химически неустойчивых стекол типов ОФ, СТК, ТБФ, ФК, ОК, СТФ по ГОСТ 3514, не содержащих или содержащих менее 34% (молекулярных) кремнезема и имеющих в своем составе растворимые или гигроскопические окислы (далее — детали), и устанавливает типовые технологические процессы нанесения на поверхности оптических деталей из стекол типов ОФ, СТК, ТБФ, ФК, ОК, СТФ одно-, двух- и трехслойных просветляющих покрытий для области спектра от 400 до 2000 нм химическим способом из спиртовых растворов тетраэтоксититана, тетраэтоксисилана, хлорокисей гафния и циркония (далее — нанесение просветляющих покрытий, просветление деталей).
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 2.412 Единая система конструкторской документации. Правила выполнения чертежей и схем оптических изделий
ГОСТ 3514 Стекло оптическое бесцветное. Технические условия
ГОСТ 11141 Детали оптические. Классы чистоты поверхностей. Методы контроля
ГОСТ Р ИСО 9211-1 Оптика и оптические приборы. Покрытия оптические. Часть 1. Термины и определения
ГОСТ Р ИСО 9211-2 Оптика и оптические приборы. Покрытия оптические. Часть 2. Оптические свойства
ГОСТ Р 59608.3 (ИСО 9211-3:2008) Оптика и фотоника. Покрытия оптические. Часть 3. Классификация по стойкости к воздействию внешних факторов и методы испытаний
ГОСТ Р 71279-2024 Оптика и фотоника. Детали оптические. Типовые технологические процессы нанесения одно-, двух- и трехслойных просветляющих покрытий из растворов
Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты» за текущий год. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом утверждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Термины, определения и обозначения
3.1 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ Р ИСО 9211-1.
3.2 Обозначения
В настоящем стандарте применены следующие обозначения:
n — показатель преломления покрытия (слоя);
nD — показатель преломления стекла;
nh — оптическая толщина покрытия (слоя);
t — температура термической обработки (далее — термообработки);
\lambda_{0} — центральная длина волны;
\lambda(\rho_{min}) — длина волны, соответствующая минимальному отражению;
\rho — энергетический коэффициент направленного отражения;
\rho(\lambda_{min}) — коэффициент отражения;
\rho(\lambda) — спектральный коэффициент отражения;
43P <1> - тетраэтоксисилан;
44P <1> - тетраэтоксититан;
45P <1> - смесь тетраэтоксисилана и тетраэтоксититана;
46P <1> - циркония хлорокись (эфир этиловый дизамещенный ортоциркониевой кислоты);
51P <1> - гафний хлорокись (гафний оксихлорид);
68P <1> - диметилэтоксисилан;
70P <1> - винилтрихлорсилан и уксуснокислая ртуть [винилтрихлорсилан и ртуть (II) ацетат].
<1> Обозначение пленкообразующего материала. В настоящем стандарте для упрощения записи приняты условные обозначения просветляющих покрытий, наносимых из пленкообразующих растворов (символ «P» после кода пленкообразующего материала).
4 Общие требования
4.1 Просветляющие покрытия наносят на детали:
- для снижения спектрального коэффициента отражения \rho(\lambda) от поверхностей деталей, т.е. увеличения общего светопропускания в соответствующей области спектра;
- повышения контрастности изображения;
- снижения количества рассеянного света в приборах;
- устранения бликов и двойного изображения;
- повышения химической устойчивости деталей.
4.2 Свойства и характеристики просветляющих покрытий устанавливают по ГОСТ Р ИСО 9211-2 и ГОСТ Р 59608.3.
4.3 Требования к качеству поверхности деталей с просветляющими покрытиями устанавливают по рабочим чертежам на деталь с учтенным снижением класса чистоты поверхности после нанесения просветляющего покрытия согласно ГОСТ 11141.
4.4 Просветление деталей проводят до операции склеивания.
4.5 Условные обозначения просветляющих покрытий указывают в соответствии с ГОСТ Р 71279-2024 (приложение А); условные графические знаки просветляющих покрытий — по ГОСТ 2.412.
4.6 Детали с просветляющими покрытиями, независимо от их назначения, следует защищать химическим способом — раствором диметилдиэтоксисилана толщиной от 8 до 10 нм 68P.t.
4.7 Детали с просветляющими и защитными от влаги покрытиями не должны изменять своих свойств в течение 10 лет.
4.8 Защиту деталей с просветляющими покрытиями от разрушающего воздействия влаги воздуха и биологических повреждений для тропического исполнения следует осуществлять нанесением защитного покрытия из раствора 70P.t или 82P.t толщиной от 3 до 5 нм.
4.9 Защитные слои в условном обозначении просветляющих покрытий не указывают.
5 Требования к производственным помещениям
Требования к производственным помещениям — по ГОСТ Р 71279-2024 (раздел 5).
6 Требования к оборудованию, приборам и материалам
Требования к оборудованию, приборам и материалам — по ГОСТ Р 71279-2024 (раздел 6).
7 Типовые технологические процессы
7.1 Общие положения
7.1.1 Типовые технологические процессы (ТТП) нанесения покрытий на детали должны состоять из следующих операций:
- подготовка посуды и протирочных материалов;
- осушка и перегонка растворителей;
- перегонка и очистка (при необходимости) реактивов для приготовления пленкообразующих растворов (перегонка тетраэтоксисилана, тетраэтоксититана, перекристаллизация хлорокисей гафния и циркония) и их контроль;
- приготовление пленкообразующих растворов и смесей из растворов и их хранение;
- контроль годности пленкообразующих растворов и их смесей к нанесению просветляющих покрытий (см. 7.1.7);
- подбор условий нанесения просветляющих покрытий;
- подготовка поверхности детали к просветлению;
- подбор режима просветления деталей;
- нанесение просветляющих покрытий;
- контроль характеристик просветляющих покрытий.
7.1.2 Технологические операции выполняют в соответствии с 7.1.3 - 7.5 и разделом 8.
7.1.3 Подготовку посуды и протирочных материалов для нанесения просветляющих покрытий проводят в соответствии с ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 7.3).
7.1.4 Осушку и перегонку растворителей проводят в соответствии с ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 7.4).
7.1.5 Перегонку и очистку (при необходимости) реактивов для приготовления пленкообразующих растворов и их контроль проводят в соответствии с ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 7.5).
7.1.6 Приготовление пленкообразующих растворов и смесей и их хранение осуществляют по ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 7.6).
7.1.7 Контроль годности пленкообразующих растворов и их смесей к нанесению просветляющих покрытий осуществляют по ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 7.7).
7.1.8 Подбор условий нанесения просветляющих покрытий осуществляют по ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 7.8).
7.1.9 Подбор режима просветления деталей осуществляют по ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 7.10).
7.1.10 Подготовка поверхности детали к просветлению
7.1.10.1 Перед нанесением покрытий детали контролируют на отсутствие царапин, серости, налетов, на соответствие класса чистоты по ГОСТ 11141 и требованиям рабочих чертежей на оптическую деталь согласно ГОСТ 2.412.
При обнаружении налетов поверхность детали осторожно освежают, протирая салфеткой, смоченной спиртовой суспензией полирита, затем два-три раза промывают перегнанным этиловым спиртом и вытирают насухо салфеткой. Если после освежения полированием на поверхности детали обнаруживают дефекты в виде налета или серых пятен, детали отправляют на переполирование.
7.1.10.2 После полирования осуществляют межоперационную защиту поверхностей детали с помощью слоя лака толщиной 0,2 мм.
Защитный слой лака удаляют с помощью лезвия путем его осторожного отрыва от поверхности детали. Применение растворителей для снятия лака с полированной поверхности недопустимо. Для окончательного удаления остатков лака со шлифованных поверхностей допускается протирка тампоном ваты, слегка смоченным ацетоном.
7.1.10.3 Время хранения деталей с полированными поверхностями, не защищенными по 7.1.10.2, до предварительной термообработки (сушки) или до нанесения просветляющего покрытия (при отсутствии термообработки) не должно превышать указанного в таблице 1.
7.1.10.4 Многократное (более трех раз) нанесение и удаление покрытий без полирования поверхностей деталей не допускаются.
7.1.10.5 Окончательно отполированные детали подвергают предварительной термообработке (сушке) в электропечах.
Детали диаметром более 200 мм подвергают предварительной термообработке (сушке) в электропечах, обеспечивающих требуемый режим нагревания и охлаждения и определенный градиент температур поверхности детали.
7.1.10.6 Просветление без предварительной термообработки (сушки) допускается, если срок хранения полированных деталей не превышает срока, указанного в 7.3.6.
7.1.10.7 Режим предварительной термообработки (сушки) крупногабаритных деталей диаметром более 200 мм зависит от марки стекла, диаметра, толщины и массы детали.
7.1.10.8 Предельные температуры прогревания деталей до и после просветления в зависимости от марки стекла, из которого они изготовлены, приведены в таблице 2.
7.1.10.9 При предварительной термообработке (сушке) детали нагревают до температуры, указанной в 7.3.7, и без выдержки при этой температуре охлаждают.
7.1.10.10 Окончательную очистку осуществляют два-три раза после закрепления детали в патроне станка для просветления, при вращении с небольшой скоростью, ведя батистовой салфеткой, смоченной этиловым спиртом массовой долей 94%, от центра поверхности к краю.
Крупногабаритные детали перед нанесением просветляющего покрытия дополнительно чистят абсолютированным этиловым спиртом и прогревают от 1 до 2 мин под инфракрасными лампами на станке для просветления.
Лампы устанавливают на расстоянии от 50 до 70 см от поверхности линзы. Для обеспечения равномерного прогревания поверхности деталей диаметром от 600 до 700 мм необходимо пять — семь ламп. Нагревание поверхности осуществляют при медленном вращении детали.
7.1.10.11 Перед нанесением покрытий поверхности деталей из стекол марок: СТК9, СТК12, СТК15, СТК16, СТК19; ОК1; типа ТБФ промывают спиртовым раствором щелочи в массовых долях от 1,0% до 1,5%. Раствор щелочи готовят на этиловом спирте с массовой долей от 80% до 85%.
Затем для удаления остатков щелочи поверхность тщательно промывают этиловым спиртом и насухо вытирают салфеткой.
7.2 Общие требования к нанесению просветляющих покрытий
7.2.1 При нанесении просветляющих покрытий следует руководствоваться основными указаниями эксплуатационной документации используемого оборудования и требованиями инструкции по технике безопасности.
7.2.2 При невозможности нанесения просветляющего покрытия на деталь с двух сторон покрытие наносят сначала на одну сторону и нагревают до температуры от 300 °C до 350 °C. После охлаждения контролируют в отраженном свете другую непросветленную сторону детали по 7.1.10.1. При отсутствии дефектов ее просветляют. В случае появления налета поверхность освежают при помощи салфетки, смоченной спиртовой суспензией полирита. Если налет не удаляется, то поверхность переполировывают. На время полирования другой поверхности просветленную сторону защищают по 7.1.10.2.
7.2.3 В зависимости от марки стекла, из которого изготовлена оптическая деталь, применяют просветляющие покрытия, приведенные в таблице 3.
7.3 Нанесение однослойного просветляющего покрытия 43P.300-350
7.3.1 Однослойное просветляющее покрытие 43P.300-350 наносят на детали, изготовленные из стекол марок, указанных в таблице 3.
7.3.2 Получение минимального отражения в заданном участке спектра достигают путем подбора соответствующей оптической толщины покрытия nh. Оптические толщины должны составлять четверть той длины волны, для которой отражение должно быть минимальным.
7.3.3 Однослойное просветляющее покрытие получают из спиртовых растворов тетраэтоксисилана.
7.3.4 Деталь с просветляющим покрытием помещают в электропечь и нагревают до температуры от 300 °C до 350 °C, выдерживают в течение 2 ч, затем электропечь охлаждают до температуры от 20 °C до 25 °C и детали вынимают из электропечи.
Скорость нагрева до температуры от 300 °C до 350 °C зависит от размера детали.
7.3.4.1 Кривые спектральных коэффициентов отражения \rho(\lambda) от поверхности деталей из стекол типов СТК, ОФ, СТФ и ТБФ с однослойным просветлением 43P.350 приведены на рисунках А.1 - А.5.
7.3.5 Режимы нанесения однослойного просветляющего покрытия 43P.300-350 на детали, изготовленные из стекол типа СТК, ОФ, СТФ, ТБФ и ФК, приведены в таблице 4.
| Тип стекла | Длина волны, соответствующая минимальному отражению \lambda(\rho_{min}) , нм | Диаметр детали, мм | Предварительная подготовка | Частота вращения детали, об/мин | Масса тетраэтоксисилана, г, в 100 см3 пленкообразующего раствора | Термообработка | |
| °C | Время выдержки, ч | ||||||
| СТК ОФ СТФ ТБФ ФК | 420 | 10 — 20 | См. 7.1.10 | 8000 — 6000 | 14 — 12 | 300 — 350 | 2 |
| 25 — 45 | 5200 | 8 | |||||
| 50 — 80 | 3800 | 7 | |||||
| 100 — 200 | 1600 | 6 | |||||
| 500 | 40 — 60 | 3500 | 10 | ||||
| 540 | 100 — 200 | 2500 | 10 | ||||
| 550 | 10 — 20 | 8000 — 6000 | 20 — 16 | ||||
| 25 — 40 | 4900 | 12 | |||||
| 40 — 60 | 4000 | 10 | |||||
| 60 — 80 | 3000 | 10 | |||||
| 600 | 40 — 60 | 3500 | 12 | ||||
| 620 | 40 — 60 | 3200 | 12 | ||||
| 640 | 60 — 80 | 3000 | 14 | ||||
| 200 — 250 | 1100 | 7 | |||||
| 740 | 40 — 60 | 4000 | 16 | ||||
7.3.6 Значения минимального коэффициента отражения \rho_{min} стекол типов СТК, ОФ, ТБФ при нанесении однослойного просветляющего покрытия 43P.300-350 для \lambda = (550 \pm 30)\text{нм} приведены в таблице 5.
7.3.7 Режимы нанесения однослойного просветляющего покрытия 43P.300-350 на детали, изготовленные из стекла марки ТБФ8, приведены в таблице 6.
| Центральная длина волны \lambda_{0} , нм | Минимальный коэффициент отражения \rho_{min} , % | Длина волны, соответствующая минимальному отражению \lambda(\rho_{min}) , нм | Диаметр детали, мм | Предварительная подготовка | Масса тетраэтоксисилана, г, в 100 см3 пленкообразующего раствора | Частота вращения, об/мин | Время термообработки при температуре 350 °C, ч |
| 480 | 1,1 — 1,2 | 400 — 580 | 10 — 30 | См. 7.1.10 | 12 | 5000 | 2 |
| 480 | 1,1 — 1,2 | 400 — 580 | 80 — 100 | 8 | 2600 | ||
| 510 | 0,8 | 430 — 620 | 40 — 60 | 12 | 4400 | ||
| 530 | 0,7 — 0,8 | 450 — 650 | 40 — 60 | 12 | 4000 | ||
| 560 | 0,6 | 480 — 680 | 40 — 60 | 12 | 3800 | ||
| 570 | 0,7 | 500 — 700 | 60 — 80 | 12 | 3600 | ||
| 580 | 0,7 | 500 — 710 | 20 — 30 | 14 | 5000 | ||
| 590 | 0,7 | 500 — 720 | 60 — 80 | 12 | 3400 | ||
| 640 | 1,1 | 540 — 760 | 80 — 100 | 12 | 2600 | ||
| 660 | 1,1 | 550 — 790 | 40 — 60 | 14 | 4000 | ||
| 850 | 4,7 | 720 — 1030 | 40 — 60 | 16 | 4600 | ||
| Примечание — В случае пологого экстремума коэффициента отражения под \lambda(\rho_{min}) понимается спектральный диапазон просветления, в котором коэффициент отражения удовлетворяет указанным условиям просветления. | |||||||
7.4 Нанесение двухслойных просветляющих покрытий (51Px0,44).(43Px1,24).350 и (44Px0,44).(43Px1,24).300-350
7.4.1 Двухслойные просветляющие покрытия (51Px0,26).(43x1,24).350 и (44Px0,44).(43Px1,24).300-350 наносят на детали, изготовленные из стекол марок, указанных в таблице 3.
7.4.2 Минимальный коэффициент отражения \rho_{min} деталей с двухслойными просветляющими покрытиями для заданной области спектра должен быть не более 0,5%.
7.4.3 Нанесение двухслойного просветляющего покрытия (51Px0,26).(43Px1,24).350 на детали из стекол марок СТК9, СТК15, СТК16, СТК19 и СТК119
7.4.3.1 При нанесении покрытия с промежуточной термообработкой (сушкой) слоев детали подвергают термообработке после нанесения каждого слоя. Детали после нанесения слоя 51P помещают в электропечь, предварительно нагретую до температуры 60 °C, затем температуру постепенно повышают до 350 °C и выдерживают в течение 1 ч.
Детали с первым слоем диоксида гафния после термообработки промывают предварительно профильтрованным спиртовым раствором щелочи с массовыми долями от 1,0% до 1,5%. Затем детали вытирают насухо салфеткой, промывают перегнанным этиловым спиртом и протирают батистовой салфеткой. После этого наносят второй слой 43P и прогревают детали при температуре 350 °C в течение 2 ч.
7.4.3.2 Режимы нанесения двухслойного просветляющего покрытия (51Px0,26).(43Px1,24).350 на детали, изготовленные из стекол марок СТК9, СТК15, СТК16, СТК19 и СТК119, с промежуточной термообработкой (сушкой) слоев приведены в таблице 7.
| Длина волны, соответствующая минимальному отражению, \lambda(\rho_{min}) , нм | Диаметр детали, мм | Частота вращения детали, об/мин | Предварительная подготовка | 1-й слой 51P | Предварительная подготовка | 2-й слой 43P | ||
| Масса хлорокиси гафния, г, в 100 см3 пленкообразующего раствора | Время термообработки при температуре 350 °C, ч | Масса тетраэтоксисилана, г, в 100 см3 пленкообразующего раствора | Время термообработки при температуре 350 °C, ч | |||||
| 400 — 420 | 10 — 45 | 5200 | См. 7.1.10 | 5 | 1 | Промывка спиртовым раствором щелочи в массовых долях (1,0 — 1,5)%. Окончательная промывка этиловым спиртом | 8 | 2 |
| 100 — 200 | 1500 | 3 | 6 | |||||
| 480 — 500 | 15 — 45 | 4200 | 4 | 10 | ||||
| 50 — 80 | 3800 | 3 | 9 | |||||
| 100 — 200 | 1600 | 3 | 8 | |||||
| 560 | 20 — 45 | 4600 | 6 | 10 | ||||
| 50 — 80 | 3800 | 3 | 8 | |||||
| 100 — 200 | 2250 — 1500 | 3 | 10 | |||||
| 640 — 660 | 20 — 45 | 4200 | 4 | 12 | ||||
| 50 — 80 | 3300 | 5 | 10 | |||||
| 100 — 200 | 2250 — 1500 | 4 | 10 | |||||
| 680 | 15 — 45 | 4600 | 6 | 17 | ||||
| 50 — 80 | 3800 | 5 | 12 | |||||
| 100 — 200 | 2000 — 1500 | 2 | 10 | |||||
| 720 | 25 — 45 | 4200 | 6 | 18 | ||||
| 50 — 80 | 3800 | 5 | 12 | |||||
| 100 — 200 | 1500 | 4 | 10 | |||||
| Примечание — В случае пологого экстремума коэффициента отражения под \lambda(\rho_{min}) понимается спектральный диапазон просветления, в котором коэффициент отражения удовлетворяет указанным условиям просветления. | ||||||||
7.4.3.3 Двухслойное просветляющее покрытие (51Px0,26).(43Px1,24).350 может быть нанесено без промежуточной термообработки (сушки) слоев. В этом случае раствор тетраэтоксисилана наносят через 1 — 1,5 мин после образования первого слоя 51P, не выключая шпинделя станка для просветления. После нанесения второго слоя 43P деталь подвергают термообработке при температуре 350 °C в течение 2 ч.
7.4.3.4 Режимы нанесения двухслойного просветляющего покрытия (51Px0,26).(43Px1,24).350 на детали, изготовленные из стекол марок СТК9 и СТК19, без промежуточной термообработки (сушки) слоев приведены в таблице 8.
7.4.3.5 Кривые спектральных коэффициентов отражения \rho(\lambda) от поверхности стекол марок СТК9, СТК19 с двухслойными просветляющими покрытиями (51Px0,26).(43Px1,24).350 приведены на рисунке А.6.
7.4.4 Нанесение двухслойного просветляющего покрытия (44Px0,44).(43Px1,24).350 на детали из стекол типов ОФ, ФК, ОК, СТК
7.4.4.1 Термообработку деталей со свеженанесенным покрытием осуществляют при температуре от 300 °C до 350 °C с выдержкой при максимальной температуре 2 ч.
Для деталей диаметром не более 150 мм подъем температуры осуществляют от 1,5 до 2,0 ч; для деталей диаметром более 150 мм скорость нагревания и охлаждения следует подбирать в зависимости от размера и толщины детали.
7.4.4.2 При нанесении двухслойного покрытия (44Px0,44).(43Px1,24) термообработку осуществляют после нанесения второго слоя.
7.4.4.3 Кривые спектральных коэффициентов отражения \rho(\lambda) от поверхности стекол типов ОФ, ОК, СТК, ФК с двухслойными просветляющими покрытиями (44Px0,44).(43Px1,24).300-350 приведены на рисунках А.7 - А.12.
7.4.4.4 Режимы нанесения двухслойного просветляющего покрытия (44Px0,44).(43Px1,24).300-350 на детали, изготовленные из стекол марок: ОФ4, ОФ7; ФК11, ФК13, ФК24; СТК3, СТК8, СТК12, без промежуточной термообработки (сушки) слоев приведены в таблице 9.
| Длина волны, соответствующая минимальному отражению, \lambda(\rho_{min}) , нм | Диаметр детали, мм | Предварительная подготовка | 1-й слой (44Px0,44) | 2-й слой (43Px1,24) | Частота вращения детали, об/мин | Время термообработки при температуре 300 — 350 °C, ч |
| Масса тетраэтоксититана, г, в 100 см3 пленкообразующего раствора | Масса тетраэтоксисилана, г, в 100 см3 пленкообразующего раствора | |||||
| 470 — 540 | 30 — 40 | См. 7.1.10 | 3 | 14 | 4000 | 2 |
| 480 — 560 | 3600 | |||||
| 500 — 540 | 100 — 120 | 10 | 2500 | |||
| 680 — 720 | 260 | 2 | 6 | 500 | ||
| Примечание — В случае пологого экстремума коэффициента отражения под \lambda(\rho_{min}) понимается спектральный диапазон просветления, в котором коэффициент отражения удовлетворяет указанным условиям просветления. | ||||||
7.4.4.5 Режимы нанесения двухслойного просветляющего покрытия (44Px0,44).(43Px1,24).300-350 на детали, изготовленные из стекол типов СТК, ОФ, ОК и ФК без промежуточной термообработки (сушки) слоев для области спектра (550 +/- 30) нм приведены в таблице 10.
7.4.4.6 Режимы термообработки деталей из стекол типов ОФ, СТК, ФК и ОК приведены в таблице 11.
7.4.4.7 Детали из стекла марки ОК1 следует хранить в закрытых ящиках во избежание резкого охлаждения. Все металлические приспособления для крепления деталей, контроля, транспортирования должны иметь такую же температуру, как детали из стекла марки ОК1. На поверхности детали из стекла марки ОК1 не допускаются мельчайшие заколы и грубые царапины.
7.4.5 Нанесение двухслойного ахроматического просветляющего покрытия (44Px2).43P.300-350.ахромат. на оптические детали из стекол марок ТБФ8, ТБФ9, ТБФ10, ТБФ11, ТБФ25, СТК3, СТК9, СТК12, СТК15, СТК16, СТК19, ОФ9
7.4.5.1 Для двухслойного просветляющего покрытия (44Px2).43P оптическую толщину первого слоя n1h1 и оптическую толщину второго слоя n2h2 вычисляют по следующим формулам:
n_{1}h_{1} = \lambda_{0}/2; (1)
n_{2}h_{2} = \lambda_{0}/4. (2)
7.4.5.2 Режимы нанесения двухслойного ахроматического просветляющего покрытия (44Px2).43P.350 на детали диаметром от 40 до 150 мм, изготовленные из стекол типов СТК и ТБФ, приведены в таблице 12.
7.4.5.3 Кривые спектральных коэффициентов отражения \rho(\lambda) от поверхности стекол марок СТК19; ТБФ8, ТБФ10 с двухслойными ахроматическими просветляющими покрытиями приведены на рисунках А.13 - А.15.
7.5 Нанесение трехслойных ахроматических просветляющих покрытий
7.5.1 Детали из стекла марок, приведенных в таблице 3, просветляют следующими видами покрытий: 45P.(44Px2).43P.300-350, 43/46P.(46Px2).43P.350, 43/51P.(51Px2).43P.350.
7.5.2 Спектральный коэффициент отражения деталей с трехслойными ахроматическими просветляющими покрытиями для заданной области спектра не должен превышать 0,8%.
7.5.3 Нанесение трехслойного просветляющего ахроматического покрытия 45P.(44Px2).43P.300-350 на детали из стекол типов СТК, ОФ, ФК и ОК
7.5.3.1 Соотношение пленкообразующих растворов равных концентраций для смеси подбирают таким образом, чтобы обеспечить значение показателя преломления первого слоя в зависимости от показателя преломления стекла.
7.5.3.2 Показатель преломления первого слоя и соотношение пленкообразующих растворов в смеси в зависимости от показателя преломления стекла приведены в таблице 13.
7.5.3.3 Режимы нанесения трехслойного ахроматического просветляющего покрытия 45P.(44Px2).43P.300-350 на детали, изготовленные из стекол типов СТК, ОФ, ФК и ОК, с промежуточным прогреванием слоев приведены в таблице 14.
7.5.3.4 Режимы нанесения трехслойного ахроматического просветляющего покрытия 45P.(44Px2).43P.350 на детали, изготовленные из стекол марок ФК11, ФК24; СТК3, СТК7 без промежуточного прогревания слоев, приведены в таблице 15.
При нанесении трехслойных ахроматических просветляющих покрытий без промежуточного прогревания слоев после нанесения второго слоя 44P детали, не снимая со станка, при медленном вращении прогревают под инфракрасными лампами, затем наносят третий слой 43P и прогревают при температуре от 300 °C до 350 °C в течение 2 ч.
7.5.3.5 Термообработку просветленных крупногабаритных деталей осуществляют по 7.1.10.8 и в соответствии с данными, приведенными в таблице 2. Необходимые скорости нагревания и охлаждения рассчитывают в зависимости от марок стекла, диаметра и толщины детали.
7.5.3.6 Кривые спектральных коэффициентов отражения \rho(\lambda) от поверхности стекол марок: ОФ4, ОФ5, ОФ6, ОФ8; ОК1; ФК11; СТК3, СТК9, СТК12, СТК19, с трехслойными ахроматическими просветляющими покрытиями приведены на рисунках А.16 - А.24.
7.5.4 Нанесение трехслойного просветляющего покрытия (45Px2).(44Px2).43P.350 на детали из стекол марок ТБФ3, ТБФ8, ТБФ9, ТБФ10, ТБ11, ТБФ25
7.5.4.1 Для просветления деталей из стекол с показателем преломления выше 1,75 может быть использовано трехслойное ахроматическое просветляющее покрытие (45Px2).(44Px2).43P.350.
7.5.4.2 Кривая спектрального коэффициента отражения \rho(\lambda) от поверхности стекла марки ТБФ11 с трехслойным просветляющим покрытием (45Px2).(44Px2).43P.350 приведена на рисунке А.25.
7.5.4.3 Соотношение показателей преломления стекла и слоев трехслойного покрытия должно быть следующим:
7.5.4.4 Значения показателя преломления первого слоя в зависимости от показателя преломления стекла приведены в таблице 16.
| Показатель преломления стекла | Показатель преломления 1-го слоя |
|---|---|
| 1,76 — 1,82 | 1,71 — 1,76 |
| 1,83 — 1,875 | 1,77 — 1,80 |
| 1,88 — 1,90 | 1,80 — 1,83 |
| 1,91 — 1,95 | 1,84 — 1,88 |
7.5.4.5 Значения показателей преломления второго и третьего слоев не зависят от показателя преломления стекла и, соответственно, должны быть равны: для слоя 44P — n2 от 2,12 до 2,15; для слоя 43P — n3 от 1,44 до 1,45.
7.5.4.6 Режимы нанесения трехслойного просветляющего покрытия (45Px2).(44Px2).43P.350 на детали диаметром от 40 до 80 мм, изготовленные из стекла марки ТБФ11, для области от 420 до 760 нм приведены в таблице 17.
7.5.5 Нанесение трехслойных просветляющих покрытий 43/46P.(46Px2).43P.350 и 43/51P.(51Px2).43P.350 на детали из стекол марок СТК9, СТК15, СТК16 и СТК19
7.5.5.1 Режимы нанесения трехслойного просветляющего покрытия 43/46P.(46Px2).43P.350 на детали, изготовленные из стекол марок СТК9, СТК15, СТК16, СТК19, приведены в таблице 18.
7.5.5.2 Режимы нанесения трехслойного просветляющего покрытия 43/51P.(51Px2).43P.350 на детали, изготовленные из стекол марок СТК9, СТК15, СТК16, СТК19, приведены в таблице 19.
8 Контроль характеристик просветляющих покрытий
Контроль характеристик просветляющих покрытий проводят по ГОСТ Р 71279-2024 (раздел 8).
9 Требования безопасности
9.1 Организация и проведение работ по нанесению одно-, двух- и трехслойных просветляющих покрытий на оптические детали — по ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 9.1).
9.2 Предельно допустимые концентрации вредных веществ при нанесении одно-, двух- и трехслойных просветляющих покрытий — по ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 9.2).
9.3 Требования к помещениям и технологическому оборудованию — по ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 9.3).
9.4 Требования к персоналу — по ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 9.4).
9.5 Требования к хранению и транспортированию химических веществ — по ГОСТ Р 71279-2024 (подраздел 9.5).
КРИВЫЕ СПЕКТРАЛЬНЫХ КОЭФФИЦИЕНТОВ ОТРАЖЕНИЯ ОТ ПОВЕРХНОСТИ ХИМИЧЕСКИ НЕУСТОЙЧИВЫХ НЕСИЛИКАТНЫХ СТЕКОЛ С ОДНО-, ДВУХ- И ТРЕХСЛОЙНЫМИ ПРОСВЕТЛЯЮЩИМИ ПОКРЫТИЯМИ ДЛЯ РАЗЛИЧНЫХ ОБЛАСТЕЙ СПЕКТРА
На рисунках А.1 - А.25 приведены кривые спектральных коэффициентов отражения от поверхности химически неустойчивых несиликатных стекол.
1 — \lambda_{0} = 550\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 820\text{нм} ; 3 — без покрытия
Рисунок А.1 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ОФ6 с покрытием 43P.350
1 — \lambda_{0} = 550\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 680\text{нм} ; 3 — \lambda_{0} = 900\text{нм} ; 4 — \lambda_{0} = 1150\text{нм} ; 5 — без покрытия
Рисунок А.2 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ОФ4 с покрытием 43P.350
1 — \lambda_{0} = 510\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 630\text{нм}
Рисунок А.3 — Коэффициент отражения от поверхности стекол марок СТК9, СТК19 с покрытием 43P.350
1 — \lambda_{0} = 470\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 530\text{нм} ; 3 — \lambda_{0} = 590\text{нм} ; 4 — \lambda_{0} = 650\text{нм} ; 5 — \lambda_{0} = 860\text{нм} ; 6 — без покрытия
Рисунок А.4 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ТБФ8 с покрытием 43P.350
1 — \lambda_{0} = 510\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 630\text{нм}
Рисунок А.5 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки СТФ3 с однослойным покрытием 43P.350
1 — \lambda_{0} = 460\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 500\text{нм} ; 3 — \lambda_{0} = 540\text{нм} ; 4 — \lambda_{0} = 640\text{нм}
Рисунок А.6 — Коэффициент отражения от поверхности стекол марок СТК9, СТК19 с двухслойным покрытием (51Px0,26).(43Px1,24).350
1 — \lambda_{0} = 510\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 580\text{нм}
Рисунок А.7 — Коэффициент отражения от поверхности стекол марок ОФ8, ОФ9 с двухслойным покрытием (44Px0,44).(43Px1,24).350
Рисунок А.8 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ОФ4 с двухслойным покрытием (44Px0,44).(43Px1,24).350
1 — \lambda_{0} = 440\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 540\text{нм} ; 3 — \lambda_{0} = 670\text{нм}
Рисунок А.9 — Коэффициент отражения от поверхности стекол марок ФК14, ФК13, ФК24, ФК11 с двухслойным покрытием (44Px0,44).(43Px1,24).350
1 — \lambda_{0} = 610\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 660\text{нм}
Рисунок А.10 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ОК1 с двухслойным покрытием (44Px0,44).(43Px1,24).350
1 — \lambda_{0} = 480\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 550\text{нм}
Рисунок А.11 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки СТК12 с двухслойным покрытием (44Px0,44).(43Px1,24).350
1 — \lambda_{0} = 480\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 510\text{нм} ; 3 — \lambda_{0} = 590\text{нм}
Рисунок А.12 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки СТК3 с двухслойным покрытием (44Px0,44).(43Px1,24).350
Рисунок А.13 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки СТК19 с двухслойным ахроматическим покрытием (51/44Px2).43P.350
1 — \lambda_{0} = 550\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 640\text{нм}
Рисунок А.14 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ТБФ10 с двухслойным ахроматическим покрытием (44Px2).43P.350
1 — 43P.350; 2 — (44Px2).43P.350
Рисунок А.15 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ТБФ8 с однослойным покрытием 43P.350 и двухслойным покрытием (44Px2).43P.350
1 — без покрытия; 2 — 45P.(44Px2).43P.350
Рисунок А.16 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ОФ4 с трехслойным покрытием 45P.(44Px2).43P.350
Рисунок А.17 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ОФ8 с трехслойным покрытием 45P.(44Px2).43P.350
Рисунок А.18 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ОФ6 с трехслойным покрытием 45P.(44Px2).43P.350
Рисунок А.19 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ОК1 с трехслойным покрытием 45P.(44Px2).43P.300
1 — в центре детали; 2 — в 80 мм от центра; 3 — в 120 мм от центра детали
Рисунок А.20 — Коэффициент отражения от поверхности детали диаметром 270 мм из стекла марки ФК11 с трехслойным покрытием 45P.(44Px2).43P.350
Рисунок А.21 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки СТК19 с трехслойным покрытием 43/51P.(44Px2).43P.350
Рисунок А.22 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки СТК19 с трехслойным покрытием 45P.(44Px2).43P.350
1 — \lambda_{0} = 520\text{нм} ; 2 — \lambda_{0} = 680\text{нм}
Рисунок А.23 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки СТК3 с трехслойным покрытием 45P.(44Px2).43P.350
Рисунок А.24 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки СТК12 с трехслойным покрытием 45P.(44Px2).43P.350
Рисунок А.25 — Коэффициент отражения от поверхности стекла марки ТБФ11 с трехслойным покрытием (45Px2).(44Px2).43P.350
| УДК 681.7.026.6:006.354 | ОКС 37.020 |
| Ключевые слова: оптика и фотоника, просветляющие покрытия, технология тонких пленок, оптические покрытия | |