---
title: "\"ГОСТ Р 71024-2023. Национальный стандарт Российской Федерации. Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения\""
number: "ГОСТ Р 71024-2023"
issuer: "Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии"
status: действует
canonical: "https://bukva.ai/docs/standart-gost-r-71024-2023"
---

## "ГОСТ Р 71024-2023. Национальный стандарт Российской Федерации. Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения"

# "ГОСТ Р 71024-2023. Национальный стандарт Российской Федерации. Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения"

(утв. и введен в действие Приказом Росстандарта от 19.10.2023 N 1205-ст)

> [!IMPORTANT]
> Документ [введен](#p100008) в действие с 01.03.2024.


<a id="p100001"></a>Утвержден и введен в действие

<div align="right">

Приказом Федерального агентства<br>
по техническому регулированию<br>
и метрологии<br>
от 19 октября 2023 г. N 1205-ст

<a id="p100002"></a>НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

</div>


<a id="p100003"></a>ПЛАСТИНЫ МАСКИРОВАННЫЕ ДЛЯ ФОТОШАБЛОНОВ

<div align="center">

<a id="p100004"></a>**ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ**

<a id="p100005"></a>**Masked plates for photomasks. Terms and definitions**

<a id="p100006"></a>**ГОСТ Р 71024-2023**

<a id="p100007"></a>**ОКС 31.180**

<a id="p100008"></a>**Дата введения**

</div>

1 марта 2024 года


### <a id="p100009"></a>Предисловие


<a id="p100010"></a>1 РАЗРАБОТАН Акционерным обществом "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт" (АО "РНИИ "Электронстандарт")
<a id="p100011"></a>2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 "Электронная компонентная база, материалы и оборудование"
<a id="p100012"></a>3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 19 октября 2023 г. N 1205-ст

<div align="right">

<a id="p100013"></a>4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

</div>


<a id="p100014"></a>Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. N 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации". Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)


### <a id="p100015"></a>Введение


<a id="p100016"></a>Установленные в настоящем стандарте термины расположены в систематизированном порядке, отражающем систему понятий в области стеклянных заготовок, маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов.
<a id="p100017"></a>Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин.
<a id="p100018"></a>Заключенная в круглые скобки часть термина может быть опущена при использовании термина в документах по стандартизации, при этом не входящая в круглые скобки часть термина образует его краткую форму.
<a id="p100019"></a>Наличие квадратных скобок в терминологической статье означает, что в нее включены два (три, четыре и т.п.) термина, имеющие общие терминоэлементы.
<a id="p100020"></a>В алфавитном [указателе](#p100091) данные термины приведены отдельно с указанием номера статьи.
<a id="p100021"></a>Приведенные определения допускается, при необходимости, изменять введением в них производных признаков, раскрывая значения используемых в них терминов с указанием объектов, входящих в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в настоящем стандарте.
<a id="p100022"></a>Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы - светлым.
<a id="p100023"></a>В стандарте приведен алфавитный [указатель](#p100091) терминов на русском языке.


### <a id="p100024"></a>1 Область применения


<a id="p100025"></a>Настоящий стандарт распространяется на стеклянные заготовки, маскированные и резистовые пластины для фотошаблонов, применяемые в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем в радиоэлектронной аппаратуре, и устанавливает термины и определения понятий в области маскированных пластин для фотошаблонов.
<a id="p100026"></a>Термины, установленные настоящим стандартом, предназначены для применения во всех видах документации и литературы в области маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов и контроля их качества, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ.
<a id="p100027"></a>Настоящий стандарт предназначен для применения предприятиями, организациями и другими субъектами научной и производственной деятельности независимо от форм собственности и подчинения, а также федеральными органами исполнительной власти Российской Федерации, участвующими в разработке, производстве, эксплуатации маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов в соответствии с действующим законодательством.


### <a id="p100028"></a>2 Термины и определения


<a id="p100029"></a>1 стеклянная заготовка: Заготовка из стекла определенных размеров и формы.
<a id="p100030"></a>2 торцевание: Процесс обработки торцов стеклянной заготовки.
<a id="p100031"></a>3 шлифование: Процесс обработки поверхности стеклянной заготовки с целью удаления поверхностных дефектов и улучшения плоскопараллельности.
<a id="p100032"></a>4 полирование: Процесс обработки стеклянной заготовки с целью получения высокого класса чистоты обработки поверхности.
<a id="p100033"></a>**5 стеклянная пластина: Полированная стеклянная заготовка.**
<a id="p100034"></a>6

| <a id="p100035"></a><a id="p100036"></a>трещина: Нарушение целостности стекла, проходящее через всю толщину.<br>ГОСТ 32361-2013, [статья 33] |
| --- |

<a id="p100037"></a>7

| <a id="p100038"></a><a id="p100039"></a>скол: Углубление на кромке изделия из стекла, вызванное откалыванием части стекла.<br>ГОСТ 32361-2013, [статья 28] |
| --- |

<a id="p100040"></a>8

| <a id="p100041"></a><a id="p100042"></a>выколка: Углубление на поверхности изделия из стекла, вызванное откалыванием части стекла.<br>ГОСТ 32361-2013, [статья 29] |
| --- |

<a id="p100043"></a>9 неплоскостность: Искривление поверхности стеклянной пластины (заготовки) от идеальной (эталонной) плоскости.
<a id="p100044"></a>10

| <a id="p100045"></a><a id="p100046"></a>пузырь: Полость в стекле различных размеров и формы.<br>ГОСТ 32361-2013, [статья 8] |
| --- |

<a id="p100047"></a>11

| <a id="p100048"></a><a id="p100049"></a>открытый пузырь: Пузырь, полость которого выходит на поверхность стекла и сообщается с внешней средой.<br>ГОСТ 32361-2013, [статья 10] |
| --- |

<a id="p100050"></a>12 раковина: Дефект в виде углубления на полированной поверхности стеклянной заготовки (пластины), образовавшийся в результате вскрытия пузыря или повреждения поверхности при механической обработке.
<a id="p100051"></a>13

| <a id="p100052"></a><a id="p100053"></a>царапина: Острое механическое повреждение поверхности изделия в виде черты.<br>ГОСТ 32361-2013, [статья 35] |
| --- |

<a id="p100054"></a>14 ласина: Дефект поверхности стеклянной пластины в виде гладкого протяженного углубления, полученного при обработке стекла скольжением абразивного зерна и не имеющего острых режущих кромок.
<a id="p100055"></a>15 фон: Дефект в виде однородного тонкого налета на поверхности стеклянной пластины механического или химического происхождения.
<a id="p100056"></a>16 присушка: Дефект в виде сорбированных поверхностью стеклянных пластин мельчайших частиц абразива.
<a id="p100057"></a>17 маскирующий слой: Пленка, нанесенная на стеклянную пластину, поглощающая актиничное (или другое) излучение и предназначенная для формирования рисунка технологического слоя.
<a id="p100058"></a>18 рабочая поверхность: Поверхность стеклянной пластины с маскирующим слоем.
<a id="p100059"></a>19 рабочая зона: Площадь определенного размера и формы на поверхности стеклянной (маскированной) пластины.
<a id="p100060"></a>20 нерабочая поверхность: Поверхность, противоположная рабочей поверхности стеклянной (маскированной) пластины.
<a id="p100061"></a>21 нерабочая зона: Часть рабочей поверхности вне рабочей зоны.
<a id="p100062"></a>22 резист: Материал, изменяющий свои физико-химические свойства при воздействии определенного вида излучения и предназначенный для формирования рельефного изображения в процессе литографии.
<a id="p100063"></a>23 фоторезист: Резист, чувствительный к видимым или ультрафиолетовым лучам.
<a id="p100064"></a>24 электронорезист: Резист, чувствительный к воздействию ускоренных электронов.
<a id="p100065"></a>25 рентгенорезист: Резист, чувствительный к рентгеновскому излучению.
<a id="p100066"></a>26 маскированная пластина: Стеклянная пластина с маскирующим слоем.
<a id="p100067"></a>27 резистовая пластина: Маскированная пластина со слоем резиста на рабочей поверхности.
<a id="p100068"></a>28 прокол: Дефект в виде сквозного отверстия в маскирующем слое.
<a id="p100069"></a>29 точка: Дефект стеклянной пластины, маскирующего слоя или пленки резиста, наблюдаемый в отраженном или проходящем свете в виде темной или светящейся точке.
<a id="p100070"></a>30 резистовая маска: Рельефное изображение, образованное пленкой резиста и обеспечивающее избирательную обработку низлежащего слоя.
<a id="p100071"></a>31 подтрав под пленку резиста: Растравливание маскирующего слоя под защитной резистовой маской.
<a id="p100072"></a>32 локальный подтрав: Локальное растравливание края элементов под защитной резистовой маской.
<a id="p100073"></a>33 элемент: Часть топологической схемы, выполняющая определенные функции.
<a id="p100074"></a>34 край элемента: Граница светопропускающих и светомаскирующих участков микроизображения, соответствующая контуру элементов.
<a id="p100075"></a>35 критичные размеры: Заданные конструкторской документацией контролируемые размеры определенных элементов, отступления от которых недопустимы.
<a id="p100076"></a>36 размытость: Дефект края изображения элемента, величина которого измеряется перпендикулярно краю элемента и соответствует переходу от минимальной к максимальной оптической плотности.
<a id="p100077"></a>37 неровность края: Расстояние между двумя воображаемыми параллельными линиями, проходящими по крайним точкам систематически повторяющихся выступов и впадин.
<a id="p100078"></a>38 модуль: Единичное изображение совокупности элементов технологического слоя микросхемы или полупроводникового прибора.
<a id="p100079"></a>39 дефектный модуль: Модуль, в котором вид и количество допустимых дефектов при определенных условиях контроля не соответствуют установленным конструкторской и технологической документацией.
<a id="p100080"></a>40 комета: Дефект пленки резиста овальной формы.
<a id="p100081"></a>41 цветные пятна [разводы]: Дефект, обусловленный разнотолщинностью пленки резиста, наблюдаемый визуально при контроле внешнего вида в отраженном свете.
<a id="p100082"></a>42 радиальные полосы: Дефект, обусловленный неоднородностью пленки резиста, наблюдаемый визуально в виде расходящихся лучей от центра к периферии.
<a id="p100083"></a>43 (фото-, электроно-, рентгено-) литография: Процесс формирования защитной резистовой маски с изображением схемы и перенос его на подложку.
<a id="p100084"></a>44 экспонирование: Воздействие актиничным излучением на пленку резиста, сформированную на стеклянной пластине (маскированной) через шаблон или с помощью управляемого луча.
<a id="p100085"></a>45 проявление: Обработка экспонированной пленки резиста с целью создания резистовой маски.
<a id="p100086"></a>46 (химическое, ионное и т.д.) травление: Удаление материала маскирующего слоя с участков, не защищенных резистовой маской.
<a id="p100087"></a>47 резистовый слой: Тонкая пленка резиста, нанесенная на стеклянную или маскированную пластину.
<a id="p100088"></a>48 технологическая партия: Совокупность пластин одного технологического процесса.
<a id="p100089"></a>49 партия маскированных пластин: Совокупность маскированных пластин нескольких технологических партий, объединенных по параметрам группы.
<a id="p100090"></a>50 партия резистовых пластин: Совокупность резистовых пластин, объединенных по параметрам одной группы.






## <a id="p100091"></a>Алфавитный указатель терминов на русском языке



| <a id="p100092"></a>выколка | <a id="p100093"></a>[8](#p100040) |
| --- | --- |
| <a id="p100094"></a>заготовка стеклянная | <a id="p100095"></a>[1](#p100029) |
| <a id="p100096"></a>зона нерабочая | <a id="p100097"></a>[21](#p100061) |
| <a id="p100098"></a>зона рабочая | <a id="p100099"></a>[19](#p100059) |
| <a id="p100100"></a>комета | <a id="p100101"></a>[40](#p100080) |
| <a id="p100102"></a>край элемента | <a id="p100103"></a>[34](#p100074) |
| <a id="p100104"></a>ласина | <a id="p100105"></a>[14](#p100054) |
| <a id="p100106"></a>литография | <a id="p100107"></a>[43](#p100083) |
| <a id="p100108"></a>маска резистовая | <a id="p100109"></a>[30](#p100070) |
| <a id="p100110"></a>модуль | <a id="p100111"></a>[38](#p100078) |
| <a id="p100112"></a>модуль дефектный | <a id="p100113"></a>[39](#p100079) |
| <a id="p100114"></a>неплоскостность | <a id="p100115"></a>[9](#p100043) |
| <a id="p100116"></a>неровность края | <a id="p100117"></a>[37](#p100077) |
| <a id="p100118"></a>партия маскированных пластин | <a id="p100119"></a>[49](#p100089) |
| <a id="p100120"></a>партия резистовых пластин | <a id="p100121"></a>[50](#p100090) |
| <a id="p100122"></a>партия технологическая | <a id="p100123"></a>[48](#p100088) |
| <a id="p100124"></a>пластина маскированная | <a id="p100125"></a>[26](#p100066) |
| <a id="p100126"></a>пластина резистовая | <a id="p100127"></a>[27](#p100067) |
| <a id="p100128"></a>пластина стеклянная | <a id="p100129"></a>[5](#p100033) |
| <a id="p100130"></a>поверхность нерабочая | <a id="p100131"></a>[20](#p100060) |
| <a id="p100132"></a>поверхность рабочая | <a id="p100133"></a>[18](#p100058) |
| <a id="p100134"></a>подтрав локальный | <a id="p100135"></a>[32](#p100072) |
| <a id="p100136"></a>подтрав под пленку резиста | <a id="p100137"></a>[31](#p100071) |
| <a id="p100138"></a>полирование | <a id="p100139"></a>[4](#p100032) |
| <a id="p100140"></a>полосы радиальные | <a id="p100141"></a>[42](#p100082) |
| <a id="p100142"></a>присушка | <a id="p100143"></a>[16](#p100056) |
| <a id="p100144"></a>прокол | <a id="p100145"></a>[28](#p100068) |
| <a id="p100146"></a>проявление | <a id="p100147"></a>[45](#p100085) |
| <a id="p100148"></a>пузырь | <a id="p100149"></a>[10](#p100044) |
| <a id="p100150"></a>пузырь открытый | <a id="p100151"></a>[11](#p100047) |
| <a id="p100152"></a>пятна цветные | <a id="p100153"></a>[41](#p100081) |
| <a id="p100154"></a>разводы цветные | <a id="p100155"></a>[41](#p100081) |
| <a id="p100156"></a>размеры критичные | <a id="p100157"></a>[35](#p100075) |
| <a id="p100158"></a>размытость | <a id="p100159"></a>[36](#p100076) |
| <a id="p100160"></a>раковина | <a id="p100161"></a>[12](#p100050) |
| <a id="p100162"></a>резист | <a id="p100163"></a>[22](#p100062) |
| <a id="p100164"></a>рентгенолитография | <a id="p100165"></a>[43](#p100083) |
| <a id="p100166"></a>рентгенорезист | <a id="p100167"></a>[25](#p100065) |
| <a id="p100168"></a>скол | <a id="p100169"></a>[7](#p100037) |
| <a id="p100170"></a>слой маскирующий | <a id="p100171"></a>[17](#p100057) |
| <a id="p100172"></a>слой резистовый | <a id="p100173"></a>[47](#p100087) |
| <a id="p100174"></a>торцевание | <a id="p100175"></a>[2](#p100030) |
| <a id="p100176"></a>точка | <a id="p100177"></a>[29](#p100069) |
| <a id="p100178"></a>травление | <a id="p100179"></a>[46](#p100086) |
| <a id="p100180"></a>травление химическое, ионное и т.д. | <a id="p100181"></a>[46](#p100086) |
| <a id="p100182"></a>трещина | <a id="p100183"></a>[6](#p100034) |
| <a id="p100184"></a>фон | <a id="p100185"></a>[15](#p100055) |
| <a id="p100186"></a>фотолитография | <a id="p100187"></a>[43](#p100083) |
| <a id="p100188"></a>фоторезист | <a id="p100189"></a>[23](#p100063) |
| <a id="p100190"></a>царапина | <a id="p100191"></a>[13](#p100051) |
| <a id="p100192"></a>шлифование | <a id="p100193"></a>[3](#p100031) |
| <a id="p100194"></a>экспонирование | <a id="p100195"></a>[44](#p100084) |
| <a id="p100196"></a>электронолитография | <a id="p100197"></a>[43](#p100083) |
| <a id="p100198"></a>электронорезист | <a id="p100199"></a>[24](#p100064) |
| <a id="p100200"></a>элемент | <a id="p100201"></a>[33](#p100073) |







<table>
<colgroup><col width="50%"><col width="50%"></colgroup>
<tr><td><a id="p100202"></a>УДК 666.223.1:006.354</td><td><a id="p100203"></a>ОКС 31.180</td></tr>
<tr><td colspan="2"><a id="p100204"></a>Ключевые слова: маскированные пластины, резистовые пластины, стеклянные заготовки, фотошаблоны, термины, определения</td></tr>
</table>




<a id="p100205"></a>

---