Библиотека
Скачать PDF

Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии · № 3189Действующий акт

(утв. Приказом Росстандарта от 15.12.2022 № 3189)

Примечание

Текст документа приведен в соответствии с публикацией на сайте https://www.rst.gov.ru/portal/gost по состоянию на 24.03.2023. В соответствии с Приказом Росстандарта от 15.12.2022 № 3189 данный документ введен в действие с 20.12.2022.

ИСТОРИЯ ИЗМЕНЕНИЙ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИХ АКТОВ

flowchart LR
  n0["ГОСТ 8.661-2018"]:::rst
  click n0 "https://bukva.ai/docs/standart-gost-8-661-2018" "ГОСТ 8.661-2018. Межгосударственный стандарт. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения о"
  n1["Государственная поверочная схема... (от 25.11.2019 N 2819)"]:::rst
  click n1 "https://bukva.ai/docs/shema-2819" "Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей (утв. Приказом Росстандарта от 25.11.2019 N 2819)"
  n2["Государственная поверочная схема... (от 15.12.2022 N 3189)"]:::doc
  click n2 "https://bukva.ai/docs/shema-3189" "Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей (утв. Приказом Росстандарта от 15.12.2022 N 3189"
  n0 --> n2
  n1 --> n2
classDef rst fill:#FFEBEB,stroke:#8B0000,color:#000;
classDef doc fill:#EBFFEB,stroke:#006400,color:#000;
classDef notEnt fill:#FFFFEB,stroke:#FF8C00,color:#000;

Утверждена Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2022 г. № 3189

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА

ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПЛОСКОСТНОСТИ И СФЕРИЧНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

1. Область применения

1.1. Настоящая государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей от государственного первичного специального эталона (далее — ГПСЭ) единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности (ГЭТ 183-2022) средствам измерений при помощи рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи.

1.2. Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей представлена в Приложении А.

1.3. Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

2. Обозначения и сокращения

2.1 В настоящей государственной поверочной схеме применены следующие обозначения и сокращения:

PV — параметр отклонения от плоскостности (максимальный размах);

PVS — параметр отклонения от сферичности (максимальный размах);

PVH — отклонение от прямолинейности.

3. Государственный первичный специальный эталон

3.1. ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности PV оптических поверхностей размером от 50 до 280 мм и параметров отклонений от сферичности PVS оптических поверхностей размером от 25 до 250 мм и передачи единицы при помощи рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

3.2 ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

автоматизированная установка на базе интерферометра Физо с реализованным методом фазовых шагов для измерений отклонений формы плоских оптических поверхностей «ФИЗО» (далее — «ФИЗО»);

эталонная интерференционная установка на базе Физо-интерферометрии для измерений параметров отклонений формы выпуклых и вогнутых сферических поверхностей «ФТИ» (далее — «ФТИ»);

эталонная интерференционная установка с ортогональным ходом лучей для измерений отклонений формы выпуклых сферических поверхностей «УИП» (далее — «УИП»).

Вспомогательное оборудование:

меры отклонений от плоскостности диаметрами 100, 200 и 280 мм;

комплект мер отклонений от сферичности для выпуклых и вогнутых поверхностей с разными номинальными радиусами кривизны поверхности R (R = 124,74 мм, R = 195,88 мм, R = 265,5 мм, R = 453,9 мм, R = 561,0 мм и R = 799,8 мм);

мера отклонения от сферичности с номинальным радиусом кривизны поверхности R = 12,7 мм.

3.3. ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности PV оптических поверхностей размером от 50 до 280 мм в диапазоне от 0,002 до 2,0 мкм с метрологическими характеристиками, указанными в таблице 1, и параметров отклонений от сферичности PVS оптических поверхностей размером от 25 до 250 мм в диапазоне от 0,002 до 2,0 мкм с метрологическими характеристиками, указанными в таблицах 2 - 3.

Таблица 1

Метрологические характеристики эталонной установки «ФИЗО», входящей в состав ГПСЭ

Наименование характеристикиДиапазон размеров оптических поверхностей, ммЗначение, нм
Среднее квадратическое отклонение результата измерений при 30 независимых измерениях, Sот 50 до 1000,8
св. 100 до 2001,4
св. 200 до 2801,5
Неисключенная систематическая погрешность, \Thetaот 50 до 1001,7
св. 100 до 2002,4
св. 200 до 2805,2
Стандартная неопределенность, оцененная по типу A, uAот 50 до 1000,8
св. 100 до 2001,4
св. 200 до 2801,5
Стандартная неопределенность, оцененная по типу B, uBот 50 до 1000,9
св. 100 до 2001,3
св. 200 до 2802,7
Суммарная стандартная неопределенность, uCот 50 до 1001,2
св. 100 до 2001,9
св. 200 до 2803,1
Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k = 2, Uот 50 до 1002,4
св. 100 до 2003,8
св. 200 до 2806,2

Таблица 2

Метрологические характеристики эталонной установки «ФТИ», входящей в состав ГПСЭ

Наименование характеристикиДиапазон размеров оптических поверхностей, ммЗначение, нм
Среднее квадратическое отклонение результата измерений при 30 независимых измерениях, Sвогнутые от 25 до 25010,0
выпуклые 25 до 8010,0
Неисключенная систематическая погрешность, \Thetaвогнутые от 25 до 25035,0
выпуклые от 25 до 8035,0
Стандартная неопределенность, оцененная по типу A, uAвогнутые от 25 до 2503,0
выпуклые от 25 до 803,0
Стандартная неопределенность, оцененная по типу B, uBвогнутые от 25 до 2509,5
выпуклые от 25 до 809,5
Суммарная стандартная неопределенность, uCвогнутые от 25 до 25010,0
выпуклые от 25 до 8010,0
Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k = 2, Uвогнутые от 25 до 25020,0
выпуклые от 25 до 8020,0

Таблица 3

Метрологические характеристики эталонной установки «УИП», входящей в состав ГПСЭ

Наименование характеристики Диапазон размеров оптических поверхностей, мм Значение, нм
Среднее квадратическое отклонение результата измерений при 30 независимых измерениях, S выпуклые св. 80 до 250 10,0
Неисключенная систематическая погрешность, \Theta выпуклые св. 80 до 250 72,0
Стандартная неопределенность, оцененная по типу A, uA выпуклые св. 80 до 250 5,0
Стандартная неопределенность, оцененная по типу B, uB выпуклые св. 80 до 250 28,0
Суммарная стандартная неопределенность, uC выпуклые св. 80 до 250 30,0
Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k = 2, U выпуклые св. 80 до 250 60,0

3.4. Для обеспечения воспроизведения и передачи единицы длины с указанной погрешностью должны соблюдаться правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

3.5. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

3.6. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от сферичности оптических поверхностей рабочим эталонам методом прямых измерений.

4. Рабочие эталоны

4.1 Рабочие эталоны 1-й части

4.1.1 Рабочие эталоны 1-го разряда

4.1.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют меры отклонения от плоскостности размером до 280 мм в диапазоне параметра PV до 0,08 мкм.

4.1.1.2. Доверительная граница абсолютной погрешности \delta (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 1-го разряда составляет 0,01 мкм.

4.1.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го, 4-го разрядов и средств измерений методом прямых измерений.

4.1.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

4.1.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 120 мм в диапазоне измерений PV от 0,002 до 2,00 мкм.

4.1.2.2. Предел допускаемой абсолютной погрешности рабочих эталонов 2-го разряда составляет 0,02 мкм.

4.1.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда методом прямых измерений.

4.1.3 Рабочие эталоны 3-го разряда

4.1.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют пластины плоские стеклянные размером от 60 до 120 мм в диапазоне параметра PV до 0,06 мкм.

4.1.3.2. Доверительная граница абсолютной погрешности 5 (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 3-го разряда составляет 0,04 мкм.

4.1.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда и средств измерений методами непосредственного сличения и прямых измерений.

4.1.4 Рабочие эталоны 4-го разряда

4.1.4.1. В качестве рабочих эталонов 4-го разряда применяют интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 120 мм и интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 280 мм в диапазоне измерений PV от 0,002 до 2,00 мкм и бруски контрольные длиной от 150 до 500 мм в диапазоне измерений PVH до 1,00 мкм.

4.1.4.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности рабочих эталонов 4-го разряда составляют от 0,08 до 0,09 мкм, доверительная граница абсолютной погрешности \delta (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 4-го разряда составляет 0,12 мкм.

4.1.4.3. Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки средств измерений методами непосредственного сличения и прямых измерений.

4.2 Рабочие эталоны 2-й части

4.2.1. В качестве рабочих эталонов применяют меры отклонений от сферичности для выпуклых и вогнутых поверхностей размером от 25 до 250 мм в диапазоне измерений PVS до 0,06 мкм.

4.2.2. Доверительная граница абсолютной погрешности \delta (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов составляет от 0,03 до 0,06 мкм.

4.2.3. Рабочие эталоны применяют для поверки средств измерений методом прямых измерений.

5. Средства измерений

5.1 Средства измерений 1-й части

5.1.1. В качестве средств измерений применяют пластины плоскопараллельные стеклянные размером от 15 до 91 мм, пластины плоские стеклянные размером до 120 мм, приборы для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических размером до 120 мм, меры отклонений от плоскостности размером до 280 мм и приборы для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 280 мм в диапазоне измерений параметра PV от 0,002 до 2,0 мкм и линейки лекальные длиной от 50 до 500 мм, бруски контрольные длиной от 100 до 1000 мм в диапазоне измерений параметра PVH до 4,0 мкм.

5.1.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности средств измерений составляют от 0,08 до 0,3 мкм.

5.2 Средства измерений 2-й части

5.2.1. В качестве средств измерений применяют приборы для измерений параметров отклонений формы сферических поверхностей размером от 25 до 1000 мм в диапазоне измерений PVS от 0,002 до 2,0 мкм.

5.2.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности средств измерений составляют от 0,06 до 0,24 мкм.

Приложение А

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПЛОСКОСТНОСТИ И СФЕРИЧНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Часть 1. Средства измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей

Часть 1. Средства измерений параметров отклонений от плоскостности оптических по

PV — параметр отклонении от плоскостности (максимальный размах)

PVH — отклонение от прямолинейности

Часть 2. Средства измерений параметров отклонений от сферичности оптических поверхностей

Часть 2. Средства измерений параметров отклонений от сферичности оптических пове

PVS — параметр отклонения от сферичности (максимальный размах)