Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонений формы и расположения поверхностей вращения

(утв. Приказом Росстандарта от 30.05.2024 № 1321)

Утверждена Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30 мая 2024 г. № 1321

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА

ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ОТКЛОНЕНИЙ ФОРМЫ И РАСПОЛОЖЕНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯ

1. Область применения

1.1 Настоящая государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений формы и расположения поверхностей вращения от государственного первичного специального эталона единицы длины в области измерений параметров отклонений формы и расположения поверхностей вращения (ГЭТ 136-2024) (далее по тексту — ГПСЭ) средствам измерений при помощи рабочих эталонов с указанием показателей точности и основных методов передачи единицы длины.

1.2 Государственная поверочная схема состоит из двух частей:

часть 1. Средства измерений параметров отклонений от круглости;

часть 2. Средства измерений параметров отклонений от прямолинейности.

Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений формы и расположения поверхностей вращения представлена в Приложении А (в части измерений отклонений от круглости) и в Приложении Б (в части измерений отклонений от прямолинейности).

1.3 Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров отклонений формы и расположения поверхностей вращения с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

2. Обозначения и сокращения

2.1 В настоящей государственной поверочной схеме применены следующие обозначения и сокращения:

FRONt — параметр отклонений от круглости (максимальный размах);

FSTR — параметр отклонений от прямолинейности (максимальный размах).

3. Государственный первичный специальный эталон

3.1 ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения и передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений формы и расположения поверхностей вращения в диапазоне от 0,8·10-2 до 3·103 мкм рабочим эталонам и средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

3.2 ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

установка, реализующая метод измерений радиус-векторов в цилиндрической системе координат на базе прибора для измерений отклонений от круглости Talyrond 73;

установка, реализующая метод измерений радиус-векторов в полярной системе координат на базе прибора для измерений отклонений от круглости Talyrond 365;

установка для измерений отклонений формы и расположения поверхностей вращения на базе установки Talyrond 595 UHPR.

3.3 ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров отклонений формы и расположения поверхностей вращения при 10 независимых измерениях:

при измерениях параметров отклонений от круглости со средним квадратическим отклонением результата измерений S = 0,2·10-2 мкм и неисключенной систематической погрешности \Theta , равной (0,8·10-2 + 0,008·FRONt) мкм;

при измерениях параметров отклонений от прямолинейности со средним квадратическим отклонением результата измерений S = 5,0·10-2 мкм и неисключенной систематической погрешности \Theta , равной 0,12 мкм.

При этом стандартная неопределенность, оцененная по типу A, uA составляет:

0,7·10-3 мкм при измерениях отклонений от круглости;

1,6·10-2 мкм при измерениях отклонений от прямолинейности.

Стандартная неопределенность, оцененная по типу B, uB составляет:

(0,35·10-2 + 0,004·FRONt) мкм при измерениях параметров отклонений от круглости;

0,05 мкм при измерениях параметров отклонений от прямолинейности.

Суммарная стандартная неопределенность, uC составляет:

(0,4·10-2 + 0,004·FRONt) мкм при измерениях параметров отклонений от круглости;

0,06 мкм при измерениях параметров отклонений от прямолинейности.

Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k = 2, U составляет:

(0,8·10-2 + 0,008·FRONt) мкм при измерениях параметров отклонений от круглости;

0,12 мкм при измерениях параметров отклонений от прямолинейности.

3.4 Для обеспечения воспроизведения и передачи единицы длины с указанной погрешностью и неопределенностью должны соблюдаться правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

3.5 ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от круглости (FRONt) рабочим эталонам 1-го и 2-го разряда методом прямых измерений.

3.6 ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений прямолинейности (FSTR) рабочим эталонам методом прямых измерений.

4. Рабочие эталоны

4.1 Рабочие эталоны 1-й части

4.1.1 Рабочие эталоны 1-го разряда

4.1.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют набор эталонных мер отклонений формы: эталонные полусферы с параметром отклонений от круглости FRONt, не превышающим 1,5·10-2 мкм, и эталонные меры с лыской с параметром отклонений от круглости FRONt в диапазоне от 1,5·10-2 мкм до 3·103 мкм.

4.1.1.2 Доверительные границы абсолютной погрешности \delta (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 1-го разряда составляют +/- (0,8·10-2 + 0,015·FRONt) мкм.

4.1.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единицы длины средствам измерений методом прямых измерений.

4.1.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

4.1.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют набор эталонных мер отклонений формы: эталонные полусферы с параметром отклонений от круглости FRONt, не превышающим 5·10-2 мкм, и эталонные меры с лыской с параметром отклонений от круглости FRONt в диапазоне от 5·10-2 мкм до 3·10-3 мкм.

4.1.2.2 Доверительные границы абсолютной погрешности \delta (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 2-го разряда составляют +/- (0,8·10-2 + 0,020·FRONt) мкм.

4.1.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для передачи единицы длины средствам измерений методом прямых измерений.

4.2 Рабочие эталоны 2-й части

4.2.1 В качестве рабочих эталонов применяют эталонные цилиндры высотой до 500 мм и с параметром отклонений от прямолинейности FSTR в диапазоне от 2·10-2 мкм до 3 мкм.

4.2.2 Доверительные границы абсолютной погрешности \delta (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов составляют от +/- 0,24 до +/- 0,3 мкм.

4.2.3 Рабочие эталоны применяют для передачи единицы длины средствам измерений методом прямых измерений.

5. Средства измерений

5.1 Средства измерений 1-й части

5.1.1 В качестве средств измерений применяют приборы для измерений отклонений формы и расположения поверхностей вращения параметров отклонений от круглости FRONt в диапазоне от 5·10-2 до 3·103 мкм.

5.1.2 Пределы допускаемой абсолютной погрешности \Delta средств измерений составляет от +/- (0,02 + 0,03·FRONt) до +/- (0,1 + 0,05·FRONt) мкм.

5.2 Средства измерений 2-й части

5.2.1 В качестве средств измерений применяют приборы для измерений отклонений формы и расположения поверхностей вращения параметров отклонений от прямолинейности FSTR в диапазоне от 2·10-2 до 3·103 мкм.

5.2.2 Пределы допускаемой абсолютной погрешности \Delta средств измерений составляют от +/- 0,6 до +/- 3 мкм.

Приложение А

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ОТКЛОНЕНИЙ ФОРМЫ И РАСПОЛОЖЕНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯ ЧАСТЬ 1. СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ КРУГЛОСТИ

FRONt — параметр отклонения от круглости (максимальный размах)

Приложение Б

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ОТКЛОНЕНИЙ ФОРМЫ И РАСПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ ЧАСТЬ 2. СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ

FSTR — параметр отклонения от прямолинейности (максимальный размах)

---