«Об утверждении профессионального стандарта „Специалист по технологии производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем“»
(Зарегистрировано в Минюсте России 26.03.2026 № 85744)
Примечание
Срок действия документа ограничен 1 сентября 2032 года.
Начало действия документа - 01.09.2026.
Зарегистрировано в Минюсте России 26 марта 2026 г. № 85744
МИНИСТЕРСТВО ТРУДА И СОЦИАЛЬНОЙ ЗАЩИТЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ПРИКАЗ
от 16 февраля 2026 г. № 73н
ОБ УТВЕРЖДЕНИИ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО СТАНДАРТА
«СПЕЦИАЛИСТ ПО ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ»
В соответствии с пунктом 20 Правил разработки и утверждения профессиональных стандартов, утвержденных постановлением Правительства Российской Федерации от 10 апреля 2023 г. № 580, приказываю:
1. Утвердить прилагаемый профессиональный стандарт «Специалист по технологии производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем».
2. Признать утратившими силу:
приказ Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации от 3 февраля 2014 г. № 71н «Об утверждении профессионального стандарта „Инженер-технолог в области производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем“ (зарегистрирован Министерством юстиции Российской Федерации 20 марта 2014 г., регистрационный № 31668);»
пункт 12 Изменений, вносимых в некоторые профессиональные стандарты, утвержденные приказами Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации, утвержденных приказом Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации от 12 декабря 2016 г. № 727н (зарегистрирован Министерством юстиции Российской Федерации 13 января 2017 г., регистрационный № 45230).
3. Установить, что настоящий приказ вступает в силу с 1 сентября 2026 г. и действует до 1 сентября 2032 г.
Министр
А. О. Котяков
Утвержден
приказом Министерства труда
и социальной защиты
Российской Федерации
от 16 февраля 2026 г. № 73н
ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ
СПЕЦИАЛИСТ
ПО ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
24
Регистрационный номер
I. Общие сведения
| Разработка, сопровождение и интеграция технологических процессов производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем |
|
40.006 |
| (наименование вида профессиональной деятельности) |
|
код |
Краткое описание вида профессиональной деятельности
| Обеспечение полного технологического цикла производства наноразмерных приборов и интегральных схем, применяемых для различных областей техники гражданского и военного назначения, включая разработку и освоение новых технологических процессов производства |
Группа занятий
| 2141 |
Инженеры в промышленности и на производстве |
- |
- |
| (код ОКЗ <1>) |
(наименование) |
(код ОКЗ) |
(наименование) |
Отнесение к области профессиональной деятельности
| 40 |
Сквозные виды профессиональной деятельности в промышленности |
| (код ОПД <2>) |
(наименование области профессиональной деятельности) |
Отнесение к видам экономической деятельности
| 26.11.3 |
Производство интегральных электронных схем |
| (код ОКВЭД <3>) |
(наименование вида экономической деятельности) |
II. Описание трудовых функций, входящих в профессиональный стандарт (функциональная карта вида профессиональной деятельности)
| Обобщенные трудовые функции | Трудовые функции |
| код | наименование | уровень квалификации | возможные наименования должностей, профессий рабочих | наименование | код | уровень (подуровень) квалификации |
| A | Контроль и обеспечение соответствия оснащения и процедур использования рабочих мест требованиям маршрутных и операционных технологических карт при производстве наноразмерных интегральных схем | 6 | Инженер-технолог
Линейный инженер-технолог
Технолог производства наноразмерных интегральных схем
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем | Контроль подготовки рабочих мест и оснащения их оборудованием для технологических процессов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий | A/01.6 | 6 |
| Контроль соблюдения технологической дисциплины (технологических процессов) в цехах и правильной эксплуатации технологического оборудования в производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий | A/02.6 | 6 |
| Аттестация технологического и измерительного оборудования и выполнение необходимых действий при отклонении аппаратных характеристик от допустимых значений при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий | A/03.6 | 6 |
| B | Поддержка и оптимизация существующих технологических процессов и необходимых режимов производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем | 6 | Инженер-технолог III категории
Технолог по производству наноразмерных интегральных схем III категории
Специалист по производству наноразмерных интегральных
схем III категории | Разработка микромаршрутов и сопровождение типового маршрута изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем | B/01.6 | 6 |
| Контроль результатов проведения технологических операций производства интегральных схем с использованием нанотехнологий | B/02.6 | 6 |
| Поддержка и оптимизация существующих технологических процессов и необходимых режимов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий | B/03.6 | 6 |
| Выявление причин брака при выполнении технологических процессов и разработка комплекса мероприятий по их устранению в производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий | B/04.6 | 6 |
| C | Обеспечение функционирования производства интегральных схем с использованием нанотехнологий в соответствии с технологической документацией | 6 | Инженер-технолог II категории
Технолог по производству наноразмерных интегральных схем II категории
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем II категории | Решение технологических проблем, возникающих при проведении рабочих процессов изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами | C/01.6 | 6 |
| Подготовка операторов, участвующих в проведении технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, к аттестации на повышение разряда | C/02.6 | 6 |
| Сбор и статистическая обработка значений производственных параметров для подготовки технических заключений о причинах появления брака при проведении технологического процесса изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами | C/03.6 | 6 |
| D | Инженерно-технологическое обеспечение процессов производства наноразмерных приборов и интегральных схем | 6 | Инженер-технолог I категории
Ведущий специалист по технологии производства изделий наноэлектроники | Проведение работ по устранению и предупреждению причин брака при изготовлении наноразмерных приборов и интегральных схем | D/01.6 | 6 |
| Разработка новых технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем | D/02.6 | 6 |
| Разработка планировок размещения оборудования и рабочих мест для проведения технологических процессов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий | D/03.6 | 6 |
| E | Интеграция технологических процессов и технологический контроль производства наноразмерных приборов и интегральных схем по всему маршруту изготовления | 6 | Инженер — интегратор процессов производства изделий наноэлектроники
Инженер по продукции
Специалист по интеграции процессов производства изделий наноэлектроники
Инженер-технолог | Разработка и апробация типовых технологических маршрутов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем | E/01.6 | 6 |
| Подготовка технических заключений по выпуску партий с отклонением при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий | E/02.6 | 6 |
| Решение стандартных технологических проблем, связанных с прохождением изделия по всему маршруту при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий | E/03.6 | 6 |
| Контроль маршрута прохождения партии изделий в производстве наноразмерного прибора или интегральной схемы | E/04.6 | 6 |
| F | Организационно-технологическое сопровождение производства наноразмерных приборов и интегральных схем | 7 | Главный специалист по технологии производства изделий наноэлектроники
Ведущий инженер-технолог производства наноразмерных интегральных схем
Начальник группы технологических процессов в наноэлектронике
Начальник лаборатории технологических процессов в наноэлектронике
Руководитель отдела разработки технологических процессов | Выбор перспективных технологических процессов и оборудования по направлению деятельности для производства наноразмерных приборов и интегральных схем | F/01.7 | 7 |
| Составление плана и проведение экспериментальных работ по отработке и внедрению новых материалов, технологических процессов и оборудования для производства наноразмерных приборов и интегральных схем | F/02.7 | 7 |
| Решение нестандартных технологических проблем по направлению деятельности при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий | F/03.7 | 7 |
III. Характеристика обобщенных трудовых функций
3.1. Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Контроль и обеспечение соответствия оснащения и процедур использования рабочих мест требованиям маршрутных и операционных технологических карт при производстве наноразмерных интегральных схем |
Код |
A |
Уровень квалификации |
6 |
| Возможные наименования должностей, профессий рабочих |
Инженер-технолог
Линейный инженер-технолог
Технолог производства наноразмерных интегральных схем
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем |
Пути достижения квалификации
| Образование и обучение |
Высшее образование — бакалавриат |
| Опыт практической работы |
- |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров <4>
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда <5> |
| Другие характеристики |
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование — программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет |
Справочная информация
| Наименование документа |
Код |
Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки |
| ОКЗ |
2141 |
Инженеры в промышленности и на производстве |
| ЕКС <6> |
- |
Инженер-технолог (технолог) |
| ОКПДТР <7> |
201562 |
Инженер-технолог |
| Перечни ВО <8> |
25.01.6.0 |
Электроника |
3.1.1. Трудовая функция
| Наименование |
Контроль подготовки рабочих мест и оснащения их оборудованием для технологических процессов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий |
Код |
A/01.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Проверка технического оснащения рабочих мест на производстве наноразмерных приборов и интегральных схем на соответствие нормам технической документации |
| Разработка технических требований к оснащению и дооснащению рабочих мест расходными материалами, инструментом и оснасткой для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Формирование технического задания для оснащения и дооснащения рабочих мест расходными материалами, инструментом и оснасткой для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Определять соответствие технической оснащенности рабочих мест для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами технической документации |
| Устранять несоответствия в технической оснащенности рабочих мест на производстве наноразмерных интегральных схем |
| Определять потребность в технологическом, контрольно-измерительном и вспомогательном оборудовании на рабочих местах для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами |
| Подбирать необходимое оборудование, расходные материалы, инструменты и оснастку для оснащения и дооснащения рабочих мест для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Методика организации технологических процессов и подготовки рабочих мест на производстве наноразмерных интегральных схем |
| Устройство и принцип работы технологического, контрольно-измерительного и вспомогательного оборудования для производства наноразмерных интегральных схем |
| Основы организации и планирования производства наноразмерных интегральных схем в области оснащения рабочих мест |
| Опасные и вредные факторы при выполнении работ при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами |
| Правила производственной санитарии при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами |
| Виды и правила применения средств индивидуальной и коллективной защиты при выполнении работ при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами |
| Требования охраны труда, пожарной, промышленной, экологической безопасности и электробезопасности при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами |
| Параметры чистых помещений для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.1.2. Трудовая функция
| Наименование |
Контроль соблюдения технологической дисциплины (технологических процессов) в цехах и правильной эксплуатации технологического оборудования в производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий |
Код |
A/02.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Контроль соблюдения правил эксплуатации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль соблюдения правил эксплуатации технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль соблюдения типовых маршрутов при реализации технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выявление причин брака в производстве наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Расчет статистических показателей пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных приборов и интегральных микросхем |
| Предложение решений по изменению технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем с целью обеспечения воспроизводимости, предупреждения и ликвидации брака |
| Согласование изменений, внесенных в технологическую документацию, с работниками на участках производства наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Контроль соблюдения электровакуумной гигиены при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль соблюдения правил работы с продукцией при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Оперативно решать технологические проблемы в процессе производства наноразмерных интегральных схем |
| Заполнять и оформлять карты сбора информации и контрольные карты при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выявлять причины выхода за контрольные границы параметров технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Производить межоперационный контроль параметров интегральных структур изделий на каждом технологическом этапе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Использовать контрольно-измерительное оборудование для контроля работоспособности оборудования для производства наноразмерных интегральных схем |
| Измерять параметры формируемых слоев и конструктивных элементов при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Использовать стандартные компьютерные программы для обработки статистических данных производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Использовать утвержденную процедуру внесения изменений в технологическую документацию для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Анализировать технологический процесс производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами (в соответствии с зоной ответственности), включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса |
| Анализировать лог-файлы оборудования для определения точного расхода материалов, затрачиваемых на пластину в процессе обработки или на продувку (прокачку) линий |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные параметрические зависимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Эксплуатационные характеристики технологического оборудования в производстве наноразмерных интегральных схем |
| Эксплуатационные характеристики технологической оснастки для производства наноразмерных интегральных схем |
| Виды дефектов при изготовлении наноразмерных интегральных схем |
| Технологические факторы, вызывающие погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем |
| Методы уменьшения влияния технологических факторов, вызывающих погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем |
| Методы оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Последовательность внесения изменений в технологическую документацию для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки, чтения и внесения изменений в технологическую документацию по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Процедуры согласования предложений по изменению технологической документации производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Эксплуатационные характеристики контрольно-измерительного оборудования при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации) |
| Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Процедуры контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.1.3. Трудовая функция
| Наименование |
Аттестация технологического и измерительного оборудования и выполнение необходимых действий при отклонении аппаратных характеристик от допустимых значений при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий |
Код |
A/03.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Контроль подготовки и проведения плановой аттестации и решение о проведении внеплановой аттестации оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль привнесенной дефектности с использованием лазерных анализаторов поверхности и определения ионных загрязнений с использованием рентгенофлюоресцентного анализа для аттестации технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль внесения полученных результатов аттестационных процессов в карты статистического управления с применением системы автоматизированного управления производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка рекомендаций при отклонении результатов аттестаций от контрольных границ значений параметров для технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль подготовки пластин в соответствии с технологической инструкцией для аттестации технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль проведения реставрации вспомогательных пластин на технологическом оборудовании при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий |
| Взаимодействие с инженерами по обслуживанию оборудования с целью выявления причин брака и разработки плана мероприятий по их устранению |
| Разработка методик аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Производить сортировку пластин при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выбирать тесты в соответствии с планом-графиком аттестации вверенного технологического оборудования и указаниями системы автоматизированного управления производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Запускать маршрут аттестации технологического оборудования в системе автоматизированного управления производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Отбирать необходимые пластины для аттестации технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Производить тестовые измерения параметров структур и слоев на пластинах для аттестаций технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать на технологическом оборудовании производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Анализировать технологический процесс в зоне ответственности, включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные параметрические зависимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Режим работы в чистом производственном помещении для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| План контроля единицы оборудования, находящегося в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Типы вспомогательных пластин (источники, мониторные, накопители, реставрируемые, балластные, квалификационные), используемые в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Операционные карты универсальные на технологическое и измерительное оборудование, рабочие технологические инструкции по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Характеристики сред, влияющих на достижение значений параметров процесса внутри контрольных границ, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Опасные и вредные свойства используемых агрессивных сред для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Принципы обращения с опасными и агрессивными технологическими средами в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| План действий при отклонении параметров процессов в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации) |
| Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Процедуры контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Критерии годности для повторного использования реставрационных пластин |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.2. Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Поддержка и оптимизация существующих технологических процессов и необходимых режимов производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем |
Код |
B |
Уровень квалификации |
6 |
| Возможные наименования должностей, профессий рабочих |
Инженер-технолог III категории
Технолог по производству наноразмерных интегральных схем III категории
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем III категории |
Пути достижения квалификации
| Образование и обучение |
Высшее образование — бакалавриат
или
Высшее образование — магистратура |
| Опыт практической работы |
Не менее одного года на инженерных должностях в области технологии производства наноразмерных интегральных схем при наличии высшего образования — бакалавриат |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда |
| Другие характеристики |
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование — программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет |
Справочная информация
| Наименование документа | Код | Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки |
| ОКЗ | 2141 | Инженеры в промышленности и на производстве |
| ЕКС | - | Инженер-технолог (технолог) |
| ОКПДТР | 201562 | Инженер-технолог |
| Перечни ВО | 25.01.6.0 | Электроника |
| 25.01.7.1 | Электроника |
3.2.1. Трудовая функция
| Наименование |
Разработка микромаршрутов и сопровождение типового маршрута изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
Код |
B/01.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Контроль параметров структур и слоев интегральных схем после проведения технологических операций |
| Отслеживание соблюдения операторами правила выбора рабочих партий для проведения технологических операций в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Определение операций, приведших к отклонению параметров готового изделия, браку или уменьшению выхода годных изделий в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Измерять электрофизические параметры формируемых наноразмерных слоев и изделий |
| Контролировать временной график прохождения партий пластин по технологическому маршруту в циклах производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с программным обеспечением для анализа результатов измерений параметров процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с контрольно-измерительным оборудованием при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать на технологическом оборудовании по своему профилю при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Анализировать технологический процесс в зоне ответственности, включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Технологический регламент обработки партий рабочих пластин при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Регламенты, стандарты организации по технике безопасности, вакуумной гигиене и чистым зонам для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Процедуры контроля партий рабочих пластин, проходящих по маршруту изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Требования операционных, маршрутных и контрольных карт производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Эксплуатационные характеристики контрольно-измерительного оборудования при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации) |
| Параметры разработки технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Процедуры контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.2.2. Трудовая функция
| Наименование |
Контроль результатов проведения технологических операций производства интегральных схем с использованием нанотехнологий |
Код |
B/02.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Управление технологическими параметрами операций производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль деятельности операторов и соблюдения ими правил проведения технологических и контрольных операций, транспортировки партий изделий при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Определение и устранение причин отклонения параметров технологических операций от заданных при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка предложений по корректировке планов действий при отклонениях, возникающих при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выполнение тестов аттестации технологического оборудования, находящегося в зоне ответственности, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка предложений о внедрении мер по оптимизации, улучшению работы и снижению эксплуатационных затрат технологического оборудования на основе анализа процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Взаимодействие с сотрудниками технологического отдела и отдела по обслуживанию технологического оборудования по вопросам обработки рабочих партий интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, выполнения экспериментов, разработки новых рецептов технологических процессов, выяснения причин сбоя при проведении технологической операции или работе оборудования |
| Исследование возможных отклонений в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами от заданных технических параметров и характеристик, и формирование письменных отчетов о выявленных ошибках |
| Подготовка предложений о краткосрочных и долгосрочных корректирующих действиях при выявлении расхождений в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Осуществление технологического надзора за выполнением технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Измерять электрофизические параметры формируемых наноразмерных слоев и изделий |
| Производить анализ и определять причины отклонения параметров технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с документацией для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с контрольно-измерительным оборудованием, используемым в наноэлектронике |
| Работать в качестве оператора на технологическом оборудовании, находящемся в зоне ответственности, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Анализировать технологический процесс в зоне ответственности, включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Технологические режимы работы оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Регламенты и стандарты организации по технике безопасности, вакуумной гигиене и чистым производственным помещениям для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Параметры контроля партий рабочих пластин после проведения технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Программное обеспечение для анализа результатов измерений параметров при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Требования операционных, маршрутных и контрольных карт на изделие для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Типичные причины появления несоответствий при обработке продукции на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами в зоне ответственности |
| Эксплуатационные характеристики контрольно-измерительного оборудования при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации) |
| Параметры разработки технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Процедуры контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.2.3. Трудовая функция
| Наименование |
Поддержка и оптимизация существующих технологических процессов и необходимых режимов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий |
Код |
B/03.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Сбор материалов и подготовка исходной информации для технических заключений по проблемам производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проверка правильности заполнения контрольных листков и контрольных карт операторами при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Подготовка отчетов по статистическому анализу параметров работы технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проверка ошибок, регистрируемых программным обеспечением технологического оборудования при выполнении рабочего цикла |
| Проверка правильности заполнения сопроводительных листов при выявлении причин отклонения параметров технологической операции при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Внесение предложений по изменению технологической документации |
| Внесение предложений по изменению планов действий при отклонениях, возникающих в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выявление причин брака, разработка рекомендаций по их устранению и предупреждению при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работа с продукцией: выполнение планов действий при отклонении от заданных технических параметров при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, способных повлиять на качество продукции, выполнение разрешенных реставрационных мероприятий и операций, подготовка заключения о причине отклонения от заданных параметров |
| Необходимые умения | Планировать процессы организации, сбора и обобщения статистических данных для подготовки отчета по аттестациям технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Анализировать воспроизводимость технологических процессов на оборудовании, находящемся в зоне ответственности специалистов, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выявлять причины выхода за контрольные границы параметров технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать в стандартных компьютерных программах для обработки статистических данных технологических процессов производства изделий наноэлектроники |
| Анализировать параметрические зависимости входных и выходных характеристик технологического процесса, проведение которого выполняется при его модернизации или разработке нового процесса |
| Оперативно выявлять технологические проблемы, возникающие на технологическом оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Формулировать предложения по улучшению технологических процессов, предупреждению и ликвидации брака в производстве наноразмерных интегральных схем |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные параметрические зависимости технологических процессов |
| Эксплуатационные характеристики технологического оборудования и необходимой оснастки, находящихся в зоне ответственности специалиста, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Виды дефектов, возникающих после проведения технологической операции на технологическом оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Возможные причины отклонений параметров технологических процессов, проводимых на оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Методы аттестации и оценки воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Программы статистического анализа технологических процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.2.4. Трудовая функция
| Наименование |
Выявление причин брака при выполнении технологических процессов и разработка комплекса мероприятий по их устранению в производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий |
Код |
B/04.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Сбор материалов и подготовка исходной информации для технических заключений по проблемам производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проверка правильности заполнения контрольных листков и контрольных карт операторами при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Подготовка еженедельных отчетов по статистическому анализу параметров работы технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проверка ошибок, регистрируемых программным обеспечением технологического оборудования при выполнении рабочего цикла, правильности заполнения сопроводительных листов при выявлении причин отклонения параметров технологической операции при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Внесение предложений по изменению в технологическую документацию и в планы действий при отклонениях, возникающих в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проведение экспериментальных процессов в соответствии с планом экспериментов по выявлению и анализу причин брака для разработки рекомендаций по их устранению и предупреждению при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка рекомендаций по устранению брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работа с несоответствующей продукцией: выполнение планов действий при отклонении, выполнение разрешенных переделок, подготовка заключения по причине отклонения, возникшего при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Планировать процессы организации, сбора и обобщения статистических данных для подготовки отчета по аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Анализировать пригодность и воспроизводимость технологических процессов на оборудовании, находящемся в зоне ответственности специалистов, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выявлять причины потери точности технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать в стандартных компьютерных программах для обработки статистических данных технологических процессов производства изделий наноэлектроники |
| Анализировать основные технологические параметры процессов, реализуемых на оборудовании, находящемся в зоне ответственности специалиста, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Анализировать влияние режимов работы технологического оборудования и используемой оснастки на качество проведения технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оперативно выявлять технологические проблемы, возникающие на технологическом оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Формулировать предложения по улучшению технологических процессов, предупреждению и ликвидации брака в производстве наноразмерных интегральных схем |
| Необходимые знания | Параметры технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем на вверенном технологическом оборудовании |
| Эксплуатационные характеристики технологического оборудования и необходимой оснастки, находящихся в зоне ответственности специалиста, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Виды дефектов, возникающих на технологическом оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Технологические факторы, влияющие на отклонения в технологических процессах на оборудовании в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Методы управления технологическими факторами для снижения количества отклонений, возникающих при проведении технологических процессов на оборудовании в зоне ответственности специалиста, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Методы анализа технического уровня объектов техники и технологии |
| Методы оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Программы статистического анализа технологических процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Планы действий при выявлении отклонений от установленных параметров технологических процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Другие характеристики | - |
3.3. Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Обеспечение функционирования производства интегральных схем с использованием нанотехнологий в соответствии с технологической документацией |
Код |
C |
Уровень квалификации |
6 |
| Возможные наименования должностей, профессий рабочих |
Инженер-технолог II категории
Технолог по производству наноразмерных интегральных схем II категории
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем II категории |
Пути достижения квалификации
| Образование и обучение |
Высшее образование — бакалавриат и дополнительное профессиональное образование — программы повышения квалификации
или
Высшее образование — магистратура, специалитет |
| Опыт практической работы |
Не менее двух лет на инженерных должностях III категории в области технологии производства наноразмерных интегральных схем |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда |
| Другие характеристики |
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование — программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет |
Справочная информация
| Наименование документа | Код | Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки |
| ОКЗ | 2141 | Инженеры в промышленности и на производстве |
| ЕКС | - | Инженер-технолог (технолог) |
| ОКПДТР | 201562 | Инженер-технолог |
| Перечни ВО | 25.01.6.0 | Электроника |
| 25.01.7.1 | Электроника |
| 25.09.7.2 | Радиоэлектронные системы и комплексы |
3.3.1. Трудовая функция
| Наименование |
Решение технологических проблем, возникающих при проведении рабочих процессов изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
Код |
C/01.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Обращения с несоответствующей продукцией согласно технологической инструкции при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выполнение плана действий при отклонении параметров рабочего процесса при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выполнение плана действий при отклонении параметров аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Организация и (или) проведение разрешенной реставрации пластин, описанной в технологической документации, на партии с неприемлемой дефектностью при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Взаимодействие со специалистами технических подразделений по обслуживанию оборудования для поиска причин отклонения параметров в работе оборудования |
| Необходимые умения | Регистрировать несоответствие, выявленное в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Организовывать переделку продукции в соответствии с технологической инструкцией |
| Выявлять причины отклонения параметров технологического оборудования |
| Определять на картах дефектности характерные следы оборудования в зоне ответственности |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Средства контроля технологических операций, применяемые в технологическом процессе производства наноразмерных интегральных схем |
| Локальные нормативные акты организации по оформлению технологической документации для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Физико-химические основы технологических операций при изготовлении наноразмерных интегральных схем |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Основные причины возникновения привносимой в результате проведения технологической операции дефектности на картах дефектности при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Типы дефектов и источники, включая процессы их появления (недотрав (перетрав), надополировка (переполировка), дефокусировка фоторезиста, кометообразные дефекты) |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.3.2. Трудовая функция
| Наименование |
Подготовка операторов, участвующих в проведении технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, к аттестации на повышение разряда |
Код |
C/02.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Определение порядка и вида аттестационного процесса на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка программ повышения квалификации операторов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Планирование и организация проведения теоретических и практических занятий по обучению операторов на повышение разряда, контроль качества знаний, полученных операторами производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Обучение операторов работе на новом технологическом оборудовании, выполнению нестандартных технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Обучение операторов проведению аттестационных процессов на технологическом оборудовании |
| Обучение операторов соблюдению требований охраны труда и экологической безопасности при проведении аттестационных процессов на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проверка знаний операторами комплекса мер электровакуумной гигиены в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оценка правильности действий операторов при выполнении аттестационных процессов на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Показывать выполнение аттестационных процессов, приемов использования измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Формулировать задачи при подготовке операторов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами к аттестации на повышение разряда |
| Оказывать помощь операторам в изучении технологических схем и документации для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проверять уровень безопасности выполнения работ при аттестации технологических процессов на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Принимать решения о прекращении аттестационных работ при возникновении условий, представляющих непосредственную угрозу жизни и здоровью работников, во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Производить работы по аттестации оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами с соблюдением норм безопасности, предписанных для данных работ |
| Работать на технологическом оборудовании и измерительном оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проводить проверку знания операторами комплекса мер электровакуумной гигиены в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Определять порядок и вид необходимой аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с программными средствами статистического контроля аттестационных процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Принципы безопасного выполнения работ и технологических операций на технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.3.3. Трудовая функция
| Наименование |
Сбор и статистическая обработка значений производственных параметров для подготовки технических заключений о причинах появления брака при проведении технологического процесса изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
Код |
C/03.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Проверка условий прохождения партии с отклонением при обработке на вверенном технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проверка измеренных параметров после обработки партии с отклонением во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Сбор информации об условиях прохождения партии через установку сортировки пластин во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Подготовка информации по аттестации технологического оборудования, попадающего под подозрение, для выявления возможности возникновения отклонения при обработке продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Производить анализ условий прохождения партий при обработке на технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проверять условия измерения параметров рабочих пластин после проведения технологической операции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Возможности оборудования по анализу ошибок, регистрируемых программным обеспечением технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Последовательность заполнения сопроводительных листов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Параметры и характеристики изделия в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.4. Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Инженерно-технологическое обеспечение процессов производства наноразмерных приборов и интегральных схем |
Код |
D |
Уровень квалификации |
6 |
| Возможные наименования должностей, профессий рабочих |
Инженер-технолог I категории
Ведущий специалист по технологии производства изделий наноэлектроники |
Пути достижения квалификации
| Образование и обучение |
Высшее образование — магистратура, специалитет |
| Опыт практической работы |
Не менее трех лет на инженерных должностях II категории в области технологии производства наноразмерных интегральных схем |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда |
| Другие характеристики |
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование — программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет |
Справочная информация
| Наименование документа | Код | Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки |
| ОКЗ | 2141 | Инженеры в промышленности и на производстве |
| ЕКС | - | Инженер-технолог (технолог) |
| ОКПДТР | 201562 | Инженер-технолог |
| Перечни ВО | 25.01.7.1 | Электроника |
| 25.09.7.2 | Радиоэлектронные системы и комплексы |
3.4.1. Трудовая функция
| Наименование |
Проведение работ по устранению и предупреждению причин брака при изготовлении наноразмерных приборов и интегральных схем |
Код |
D/01.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Составление и контроль выполнения плана-графика аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка форм карт сбора информации по измерительным операциям в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проведение статистического анализа параметров технологических операций для определения эффективности и управляемости процессов изготовления продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Определение причин возникновения брака рабочих партий, сбор информации для дальнейшего анализа причин возникновения брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Обобщение собранной информации для подготовки технического заключения, выполнение плана временных сдерживающих действий для предупреждения причин брака интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выявление и устранение причин брака при проведении технологической операции, отклонений от заданных в документации параметров интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Внесение изменений в технологическую документацию по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Согласование предложений по изменению технологических процессов производства наноразмерных интегральных микросхем |
| Разработка решений по обеспечению и (или) повышению воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Формулирование предложений по предупреждению возможных рисков, связанных с использованием новых материалов, оборудования, процессов, при подготовке отчета по анализу видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Планировать процессы организации, сбора и обобщения статистических данных для оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Анализировать пригодность и воспроизводимость технологических процессов производства изделий наноразмерных интегральных схем |
| Использовать стандартные программы для обработки статистических данных процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Анализировать основные параметры реализуемых технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оперативно определять пути решения технологических проблем, возникающих в производстве наноразмерных интегральных схем |
| Анализировать предложения по изменениям в технологических процессах, предупреждению и ликвидации брака в производстве наноразмерных интегральных схем |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Параметры и режимы технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Физико-химические основы технологических операций при изготовлении наноразмерных интегральных схем |
| Эксплуатационные характеристики технологического оборудования и оснастки для производства наноразмерных интегральных схем |
| Виды дефектов при изготовлении наноразмерных интегральных схем |
| Технологические факторы, вызывающие погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем |
| Методы уменьшения влияния технологических факторов, вызывающих погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем |
| Методы анализа технического уровня объектов техники и технологии |
| Методы оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Программы статистического анализа процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Процедуры согласования предложений по изменению технологических процессов, находящихся в зоне ответственности, в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Процедуры согласования предложений по изменению технологической документации, касающейся технологических процессов в зоне ответственности, в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.4.2. Трудовая функция
| Наименование |
Разработка новых технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
Код |
D/02.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Разработка технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами в соответствии с техническим заданием |
| Оценка возможностей технологического оборудования для реализации нового технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка технических заданий на нестандартные технологическую оснастку, оборудование, средства автоматизации процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, их модернизацию |
| Разработка технических заданий на обвязку (подключение к инженерным системам) нового оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, контроль его размещения, монтажа и обвязки |
| Создание программы обработки нового технологического процесса на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Анализ рисков при разработке нового технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами и оценка влияния на последующие операции |
| Отработка нового технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами на вспомогательных пластинах |
| Отработка микромаршрута с новым технологическим процессом производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль данных, полученных при прохождении пластин по микромаршруту, и корректировка процесса (при необходимости) производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Открытие разрешения на временное отклонение с использованием нового технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль обработки партий в соответствии с разрешением на временное отклонение и принятие решения о дальнейших действиях с новым процессом производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Открытие технологической пробы с использованием разработанного технологического процесса (при положительных результатах его предварительного использования) производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка спецификации на технологический процесс производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, определение контрольно-измерительных параметров и контрольных границ для статистического контроля процесса |
| Разработка плана работ по предупреждению рисков при разработке нового технологического процесса и оценка влияния на последующие операции |
| Необходимые умения | Выявлять основные технологические задачи, решаемые при разработке единичного технологического процесса производства наноразмерных интегральных схем |
| Анализировать возможности использования имеющегося технологического оборудования для реализации новых процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выбирать технические режимы операций единичного технологического процесса производства наноразмерных интегральных схем |
| Анализировать риски при разработке нового технологического процесса и оценивать влияние на последующие операции |
| Анализировать возможности средств контроля технических характеристик наноразмерных интегральных схем |
| Работать на технологическом и измерительном оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с программами статистического контроля процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выполнять аттестацию технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Типовые технологические процессы производства наноразмерных интегральных схем |
| Стандарты и локальные нормативные акты по оформлению технологической документации в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Методика выбора технологических режимов проведения технологических операций в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Методы разработки технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оборудование для реализации технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Средства контроля технологических операций, применяемые в технологическом процессе производства наноразмерных интегральных схем |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Физико-химические основы технологических операций при изготовлении наноразмерных интегральных схем |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Характеристики оборудования для реализации технологических процессов при изготовлении наноразмерных интегральных схем |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.4.3. Трудовая функция
| Наименование |
Разработка планировок размещения оборудования и рабочих мест для проведения технологических процессов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий |
Код |
D/03.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Разработка технических заданий на подключение технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами к газовым и химическим магистралям, вытяжкам, системе сливов, вакуумным линиям, электричеству (составление матрицы потребления энергоносителей) |
| Разработка технических заданий на обвязку (подключение к инженерным системам) нового оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, контроль его размещения, монтажа и обвязки |
| Разработка планировок размещения оборудования и рабочих мест в чистом производственном помещении для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Контроль проведения механических тестов проверки подключенного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка планировок размещения вспомогательного технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка логистических схем движения продукции для корректного размещения технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Читать и анализировать чертежи и схемы технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Анализировать различные схемы расстановки и компоновки технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выбирать модели расстановки оборудования с учетом логистики пластин в производственном цикле |
| Анализировать различные схемы расстановки метрологического оборудования для общего пользования |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Оценивать габариты размещаемого технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами в зоне размещения |
| Анализировать техническое задание на разработку планировочных решений для размещения оборудования, используемого в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Типовые маршруты производства наноразмерных интегральных схем |
| Процедура расчета потребления энергоносителей для каждой размещаемой единицы оборудования |
| Методы определения необходимого качества энергоносителей, подаваемых на подключаемое оборудование |
| Оборудование для реализации технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Предельно допустимые уровни вибрации пола, чистоты процессных и сервисных газов, жидких химических реактивов, деионизованной и охлаждающей воды, применяемые при производстве интегральных схем |
| Параметры эксплуатации вспомогательного оборудования, обеспечивающего работоспособность технологической установки (насосы, чиллеры, теплообменники, газовые и химические кабинеты) |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.5. Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Интеграция технологических процессов и технологический контроль производства наноразмерных приборов и интегральных схем по всему маршруту изготовления |
Код |
E |
Уровень квалификации |
6 |
| Возможные наименования должностей, профессий рабочих |
Инженер — интегратор процессов производства изделий наноэлектроники
Инженер по продукции
Специалист по интеграции процессов производства изделий наноэлектроники
Инженер-технолог |
Пути достижения квалификации
| Образование и обучение |
Высшее образование — магистратура, специалитет |
| Опыт практической работы |
Не менее одного года на инженерных должностях в области технологии производства наноразмерных интегральных схем |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда |
| Другие характеристики |
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование — программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет |
Справочная информация
| Наименование документа | Код | Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки |
| ОКЗ | 2141 | Инженер-технолог |
| ЕКС | - | Инженер-технолог (технолог) |
| ОКПДТР | 201562 | Инженер-технолог |
| Перечни ВО | 25.01.7.1 | Электроника |
| 25.09.7.2 | Радиоэлектронные системы и комплексы |
3.5.1. Трудовая функция
| Наименование |
Разработка и апробация типовых технологических маршрутов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем |
Код |
E/01.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Разработка типовых технологических маршрутов для изготовления наноразмерного прибора или интегральной схемы на основе базовых технологий |
| Составление тестовых маршрутов для проверки корректности составления общего технологического маршрута изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Коррекция и доработка типовых технологических маршрутов изготовления наноразмерных интегральных схем |
| Разработка схем контроля технологических параметров в процессе изготовления наноразмерных интегральных схем |
| Составление и оформление технологической документации на разработанный маршрут изготовления наноразмерных интегральных схем |
| Необходимые умения | Изучать данные новых технологических разработок и мировые тенденции в производстве интегральных схем с наноразмерными нормами |
| Производить анализ результатов измерений электрофизических параметров формируемых функциональных и вспомогательных наноразмерных слоев и изделий |
| Производить анализ отклонений и определять причины отклонения параметров процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с документацией по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с контрольно-измерительным оборудованием для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Система менеджмента качества конкретной организации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Технологические режимы оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Параметры безопасности, вакуумной гигиены, чистых зон для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Процедуры контроля интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Операционные, маршрутные и контрольные карты производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Основные свойства газов, жидких химических реактивов, фоторезистивных материалов, используемых в производстве наноразмерных интегральных схем |
| Основы дизайна изделий и тестовых структур, принцип работы изделий наноэлектроники и их характеристики |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.5.2. Трудовая функция
| Наименование |
Подготовка технических заключений по выпуску партий с отклонением при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий |
Код |
E/02.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Разработка технических решений по представленным данным о несоответствии технологического процесса и принятие решения о размещении несоответствующей партии при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка технических решений по результатам анализа несоответствий при контроле вольтамперных характеристик наноразмерных приборов или дефектности на пластинах |
| Подготовка рекомендаций по устранению причин отклонения параметров готовых наноразмерных интегральных схем от проектных и внесение изменений в маршрут изготовления (при необходимости) |
| Подготовка технического заключения по поступившей рекламации на выпущенное наноразмерное изделие электроники |
| Необходимые умения | Измерять электрофизические параметры формируемых функциональных и вспомогательных наноразмерных слоев и изделий |
| Производить анализ результатов измерений электрофизических параметров формируемых функциональных и вспомогательных наноразмерных слоев и изделий |
| Производить анализ отклонений и определять причины отклонения параметров интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с документацией для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с контрольно-измерительным оборудованием, используемым в наноэлектронике |
| Разрабатывать микромаршруты для проверки гипотез при выявлении причин возникновения отклонений параметров от границы спецификаций на изделие в партии при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Система менеджмента качества конкретной организации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Технологические режимы оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Параметры безопасности, вакуумной гигиены, чистых зон для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Процедуры контроля интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Операционные, маршрутные и контрольные карты для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Программы статистического анализа процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Основные свойства газов, жидких химических реактивов, фоторезистивных материалов, используемых в производстве наноразмерных интегральных схем |
| Основы дизайна изделий и тестовых структур, принцип работы изделий наноэлектроники и их характеристики |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.5.3. Трудовая функция
| Наименование |
Решение стандартных технологических проблем, связанных с прохождением изделия по всему маршруту при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий |
Код |
E/03.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Определение соответствия партии готовых интегральных схем с наноразмерными проектными нормами границам спецификации на изделие по результатам финишного контроля вольтамперных характеристик |
| Разработка схем проведения дополнительных замеров параметров при отклонении от норм какого-либо параметра во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Выявление узлов, где возникли технологические проблемы, повлиявшие на параметры изделия в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, по результатам анализа маршрута изготовления кристалла |
| Контроль параметров, способных влиять на работоспособность выпускаемых приборов, разработка плана действий в случае выхода показателей за границы спецификации на изделие при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Производить анализ результатов финишного контроля вольтамперных характеристик и принимать решения по партии изделий в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Организовывать проведение дополнительных замеров параметров при отклонении от норм технологического параметра в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оптимизировать параметры технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Производить работы по сопровождению прохождения по маршруту партий интегральных схем с наноразмерными проектными нормами с соблюдением предписанных для данного вида работ норм безопасности |
| Планировать и проводить технологические эксперименты в рамках производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Осуществлять технологический надзор за производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разрабатывать маршрутные карты (технологические маршруты) производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Измерять электрофизические параметры технологических слоев интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать на оборудовании для контроля дефектности со сформированным рисунком, выполнять метрологический контроль дефектности при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Операционные карты универсальные на измерительное оборудование для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основы цифровой и аналоговой схемотехники наноразмерных ультрабольших интегральных схем |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Основные свойства газов, жидких химических реактивов, фоторезистивных материалов, используемых в производстве наноразмерных интегральных схем |
| Основы дизайна изделий и тестовых структур, принцип работы изделий наноэлектроники и их характеристики |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.5.4. Трудовая функция
| Наименование |
Контроль маршрута прохождения партии изделий в производстве наноразмерного прибора или интегральной схемы |
Код |
E/04.6 |
Уровень (подуровень) квалификации |
6 |
| Трудовые действия | Контроль порядка, вида и параметров технологических операций производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Отслеживание прохождения партии изделия наноэлектроники в соответствии с маршрутным (сопроводительным) листом |
| Организация разбора ситуации при выходе параметров процессов за границы спецификации на изделие наноэлектроники |
| Организация работ по поиску решений проблем, возникающих при прохождении партии по маршруту, в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Определять порядок, вид и технологические параметры операций в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Заполнять стандартные формы маршрутных листов в соответствии с установленным регламентом производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать в составе проектной группы производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разрабатывать и экспериментально проверять технологические процессные блоки (микромаршруты) при отработке гипотез о причинах несоответствия параметров изделия наноэлектроники границам спецификации |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Последовательность согласования маршрутного листа производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Методы математического моделирования процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Иностранный язык не ниже первого среднего уровня владения языком |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.6. Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Организационно-технологическое сопровождение производства наноразмерных приборов и интегральных схем |
Код |
F |
Уровень квалификации |
7 |
| Возможные наименования должностей, профессий рабочих |
Главный специалист по технологии производства изделий наноэлектроники
Ведущий инженер-технолог производства наноразмерных интегральных схем
Начальник группы технологических процессов в наноэлектронике
Начальник лаборатории технологических процессов в наноэлектронике
Руководитель отдела разработки технологических процессов |
Пути достижения квалификации
| Образование и обучение |
Высшее образование — магистратура, специалитет |
| Опыт практической работы |
Не менее трех лет на инженерных должностях I категории в области технологии производства наноразмерных интегральных схем |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда |
| Другие характеристики |
Рекомендуется дополнительное профессиональное образование — программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже чем один раз в пять лет |
Справочная информация
| Наименование документа | Код | Наименование начальной группы, должности, профессии или специальности, направления подготовки |
| ОКЗ | 1223 | Руководители подразделений по научным исследованиям и разработкам |
| ЕКС | - | Инженер-технолог (технолог) |
| - | Начальник производственной лаборатории (по контролю производства) |
| ОКПДТР | 203383 | Руководитель отдела разработки технологических процессов |
| 202434 | Начальник лаборатории (в обрабатывающей промышленности) |
| Перечни ВО | 25.01.7.1 | Электроника |
| 25.09.7.2 | Радиоэлектронные системы и комплексы |
3.6.1. Трудовая функция
| Наименование |
Выбор перспективных технологических процессов и оборудования по направлению деятельности для производства наноразмерных приборов и интегральных схем |
Код |
F/01.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Трудовые действия | Разработка единичных технологических процессов, освоение и внедрение их в производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка маршрутных технологических процессов, освоение и внедрение их в производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка групповых технологических процессов и внедрение их в производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оптимизация параметров технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Освоение и внедрение технологических процессов и необходимых режимов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами на выпускаемую продукцию |
| Определение экономической эффективности разрабатываемых технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка маршрутного технологического процесса изготовления наноэлектронных изделий в составе проектной группы |
| Исследование видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Подготовка отчета по результатам анализа видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Измерять электрофизические параметры формируемых наноразмерных слоев и изделий |
| Проводить оптимизацию параметров технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с документацией, подготавливать технологическую документацию для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с контрольно-измерительным оборудованием для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Производить анализ отклонений и определять причины отклонения параметров интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Производить расчеты режимов технологических операций для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Изучать данные новых технологических разработок и мировые тенденции в производстве интегральных схем с наноразмерными нормами |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Иностранный язык не ниже порогового уровня |
| Типы оборудования и технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Операционные, маршрутные и контрольные карты для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Последовательность операций, режимы технологических процессов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Параметры и характеристики чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред, обеспечивающих производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Процедуры контроля интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Неорганическая и органическая химия, физическая химия |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.6.2. Трудовая функция
| Наименование |
Составление плана и проведение экспериментальных работ по отработке и внедрению новых материалов, технологических процессов и оборудования для производства наноразмерных приборов и интегральных схем |
Код |
F/02.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Трудовые действия | Составление плана проведения экспериментальных работ по отработке новых материалов, процессов, оборудования с распределением зон ответственности |
| Выбор и внедрение новых материалов, освоение новых технологических процессов, новых видов оборудования и технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оценка экономической целесообразности внедрения новых материалов, технологических процессов, оборудования и оснастки в существующее производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка и экспериментальная проверка технологических процессных блоков (микромаршрутов), объединение их в общий маршрут изготовления наноэлектронного изделия |
| Разработка технологической документации для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Подготовка отчетов по результатам проведения экспериментальных работ, включая анализ видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Необходимые умения | Производить анализ технических и технологических параметров оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами на соответствие их паспортным характеристикам |
| Разрабатывать рекомендации по выбору оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать на технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Проводить оптимизацию технологических операций для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разрабатывать рекомендации по устранению причин брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Применять методы сбора данных для изучения научно-технической информации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Работать с научно-технической литературой, анализировать и обобщать научно-техническую информацию по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Рассчитывать экономический эффект от внедрения новых материалов, технологических процессов и оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Измерять электрофизические параметры формируемых слоев и изделий в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Составлять закупочные спецификации на оборудование для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Иностранный язык не ниже порогового уровня |
| Возможности, характеристики оборудования организации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Типы оборудования и технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Типы, характеристики оборудования, выпускаемого ведущими организациями мира, для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Физико-химические основы и ограничения базовых технологических процессов наноэлектроники |
| Физика твердого тела |
| Физика полупроводниковых наноразмерных приборов |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.6.3. Трудовая функция
| Наименование |
Решение нестандартных технологических проблем по направлению деятельности при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий |
Код |
F/03.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
| Трудовые действия | Разработка предложений при необходимости модернизации технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка рекомендаций при необходимости модернизации технологического оборудования и технологической оснастки на выпускаемую продукцию в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Согласование графиков планового технического обслуживания оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разработка плана временных сдерживающих действий, выявление корневых причин брака выпускаемой продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами и разработка плана корректирующих действий |
| Необходимые умения | Производить анализ отклонений и определять причины отклонения параметров технологического процесса от заданных в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Разрабатывать рекомендации по устранению причин сбоя оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Рассчитывать потребление материалов для обеспечения технологического участка необходимыми материалами и реагентами для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Заполнять соответствующие формы документов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Производить анализ и определять причины брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Параметры оборудования, используемого в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Параметры операционных карт на процессы, маршрутных карт на изделия наноэлектроники |
| Параметры и характеристики изделия в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Показатели расходования материалов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Материально-техническое обеспечение рабочего места в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Критерии качества выпускаемой продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами |
| Основные принципы разработки технологической документации и внесения изменений в нее |
| Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами |
| Конструкция полупроводниковых приборов и физические основы их работы |
| Основы схемотехники интегральных схем |
| Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро- и наноэлектроники |
| Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники |
| Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике |
| Иностранный язык не ниже порогового уровня |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
IV. Сведения об организациях — разработчиках профессионального стандарта
4.1. Ответственная организация-разработчик
| Фонд инфраструктурных и образовательных программ, город Москва |
| Генеральный директор | Тихонов Алексей Никитович |
4.2. Наименования организаций-разработчиков
| 1 |
АО «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники», город Москва, город Зеленоград |
| 2 |
НП «Межотраслевое объединение наноиндустрии», город Москва |
| 3 |
Совет по профессиональным квалификациям в сфере нанотехнологий и микроэлектроники, город Москва |
| 4 |
ФГБОУ ВО «Российская академия народного хозяйства и государственной службы при Президенте Российской Федерации», город Москва |
<1> Общероссийский классификатор занятий.
<2> Приказ Минтруда России от 29 сентября 2014 г. № 667н «О реестре профессиональных стандартов (перечне видов профессиональной деятельности)» (зарегистрирован Минюстом России 19 ноября 2014 г., регистрационный № 34779) с изменением, внесенным приказом Минтруда России от 9 марта 2017 г. № 254н (зарегистрирован Минюстом России 29 марта 2017 г., регистрационный № 46168).
<3> Общероссийский классификатор видов экономической деятельности.
<4> Приказ Минтруда России, Минздрава России от 31 декабря 2020 г. № 988н/1420н «Об утверждении перечня вредных и (или) опасных производственных факторов и работ, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные медицинские осмотры при поступлении на работу и периодические медицинские осмотры» (зарегистрирован Минюстом России 29 января 2021 г., регистрационный № 62278), действует до 1 апреля 2027 г.; приказ Минздрава России от 28 января 2021 г. № 29н «Об утверждении Порядка проведения обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров работников, предусмотренных частью четвертой статьи 213 Трудового кодекса Российской Федерации, перечня медицинских противопоказаний к осуществлению работ с вредными и (или) опасными производственными факторами, а также работам, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные и периодические медицинские осмотры» (зарегистрирован Минюстом России 29 января 2021 г., регистрационный № 62277) с изменениями, внесенными приказами Минздрава России от 1 февраля 2022 г. № 44н (зарегистрирован Минюстом России 9 февраля 2022 г., регистрационный № 67206), от 2 октября 2024 г. № 509н (зарегистрирован Минюстом России 1 ноября 2024 г., регистрационный № 79994), действует до 1 апреля 2027 г.
<5> Порядок обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда, устанавливаемый Правительством Российской Федерации в соответствии со статьей 219 Трудового кодекса Российской Федерации.
<6> Единый квалификационный справочник должностей руководителей, специалистов и служащих.
<7> Общероссийский классификатор профессий рабочих, должностей служащих и тарифных разрядов.
<8> Приказ Минобрнауки России от 1 февраля 2022 г. № 89 «Об утверждении перечня специальностей и направлений подготовки высшего образования по программам бакалавриата, программам специалитета, программам магистратуры, программам ординатуры и программам ассистентуры-стажировки» (зарегистрирован Минюстом России 3 марта 2022 г., регистрационный № 67610) с изменениями, внесенными приказами Минобрнауки России от 29 августа 2022 г. № 822 (зарегистрирован Минюстом России 15 ноября 2022 г., регистрационный № 70948), от 2 августа 2024 г. № 514 (зарегистрирован Минюстом России 16 августа 2024 г., регистрационный № 79187).