«Об утверждении профессионального стандарта „Специалист по проектированию вакуумного технологического оборудования для электровакуумного и полупроводникового производства“»
от 28 сентября 2020 г. № 661н
| Обобщенные трудовые функции | Трудовые функции |
| код | наименование | уровень квалификации | наименование | код | уровень (подуровень) квалификации |
| A | Техническое обеспечение проектирования вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | 4 | Проектирование элементов конструкции вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | A/01.4 | 4 |
| Выполнение измерений технологических параметров при производственных испытаниях вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | A/02.4 | 4 |
| Ведение учетной документации по вакуумному технологическому оборудованию электровакуумного и полупроводникового производства | A/03.4 | 4 |
| B | Проектирование несложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | 5 | Проектирование несложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | B/01.5 | 5 |
| Разработка технических заданий на проектирование оснастки и вспомогательного оборудования для электровакуумного и полупроводникового производства | B/02.5 | 5 |
| Разработка технических заданий на проектирование средств контроля и управления для несложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | B/03.5 | 5 |
| Проведение испытаний несложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | B/04.5 | 5 |
| C | Проектирование сложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | 6 | Проектирование сложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | C/01.6 | 6 |
| Разработка технических заданий на проектирование процессорных средств контроля и управления для сложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | C/02.6 | 6 |
| Проведение испытаний сложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | C/03.6 | 6 |
| D | Проектирование кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы электровакуумного и полупроводникового производства | 7 | Проектирование кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы электровакуумного и полупроводникового производства | D/01.7 | 7 |
| Разработка технических заданий на проектирование систем автоматизированного управления для кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы электровакуумного и полупроводникового производства | D/02.7 | 7 |
| Разработка методик проектирования вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства | D/03.7 | 7 |
| Трудовые действия | Подготовка средств измерения к проведению измерений для определения действительных значений контролируемых параметров вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Измерение температуры в вакуумной камере, на внутрикамерных элементах и в подколпачном пространстве (в случае внешнего нагрева) |
| Измерение остаточного и рабочего давления в вакуумной камере вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Контроль времени нагрева, выдержки и охлаждения |
| Контроль времени достижения остаточного давления в вакуумной камере и времени ее разгерметизации |
| Контроль газонатекания в вакуумную камеру вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Измерение расхода технологических газов |
| Контроль состава остаточной атмосферы в вакуумной камере вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Регистрация результатов выполненных измерений технологических параметров в производственной документации |
| Необходимые умения | Настраивать и подключать средства измерения технологических параметров вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Использовать средства измерения для контроля параметров вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Оформлять производственную документацию по результатам несложных измерений параметров вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Использовать текстовые редакторы (процессоры) и электронные таблицы для создания производственной документации |
| Применять средства индивидуальной защиты и вакуумной гигиены |
| Необходимые знания | Основные технические характеристики, конструктивные особенности, назначение и принципы применения средств измерения параметров вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Методика проверки работоспособности средств измерения, применяемых в вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства |
| Типовые параметры вакуумных технологических процессов вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Нормативно-технические документы по применению средств измерения параметров вакуумных технологических процессов, реализуемых на вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства |
| Методы измерений параметров вакуумных технологических процессов, реализуемых на вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства |
| Виды, конструкции, назначение, погрешность цифровых датчиков вакуума, манометров, мановакуумметров, расходомеров, термопар, применяемых в вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы в них |
| Прикладные программы для работы с электронными таблицами: наименования, возможности и порядок работы в них |
| Требования вакуумной гигиены |
| Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности |
| Другие характеристики | - |
| Трудовые действия | Определение требуемых типа откачных средств, запорной арматуры, технологических источников, нагревательного и охладительного устройств, внутрикамерных элементов, конфигурации камеры и габаритов |
| Выявление аналогичного несложного вакуумного технологического оборудования и его элементов |
| Оценка капитальных вложений на изготовление несложного вакуумного технологического оборудования и расходов на его эксплуатацию |
| Определение и согласование экономически обоснованного варианта несложного вакуумного технологического оборудования |
| Расчет эффективной скорости откачки несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование вакуумной системы несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование нагревательной системы несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование вакуумной камеры и внутрикамерных элементов несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование газовой системы несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование системы охлаждения несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование системы пневмопитания несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование рам несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование приводов и механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование систем заземления, блокировочных устройств, защитных кожухов и ограждений несложного вакуумного технологического оборудования |
| Отработка спроектированных деталей и сборочных единиц несложного вакуумного технологического оборудования на технологичность с учетом производственных возможностей организации-изготовителя |
| Ведение авторского надзора при изготовлении деталей и сборочных единиц несложного вакуумного технологического оборудования |
| Согласование конструкции несложного вакуумного технологического оборудования с руководством подразделения и экономической службой организации |
| Патентный поиск аналогичных объектов интеллектуальной собственности в области несложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Подготовка технической документации во взаимодействии с правовым подразделением для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности в федеральный орган исполнительной власти, осуществляющий регулирование в сфере авторского права и смежных прав |
| Подготовка технической документации во взаимодействии с правовым подразделением для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности |
| Необходимые умения | Анализировать техническое задание на проектирование несложного вакуумного технологического оборудования |
| Использовать СУБД и базы знаний для поиска схожего несложного вакуумного технологического оборудования, его узлов и деталей |
| Выполнять экономические расчеты затрат на изготовление несложного вакуумного технологического оборудования и его эксплуатацию с использованием текстовых редакторов и систем компьютерной алгебры |
| Выбирать типоразмер несложного вакуумного технологического оборудования в зависимости от заданной производительности и условий эксплуатации |
| Выполнять вакуумные расчеты несложного вакуумного технологического оборудования с использованием систем компьютерной алгебры и прикладных программ расчета вакуумных систем |
| Выполнять тепловые расчеты несложного вакуумного технологического оборудования с использованием систем компьютерной алгебры и системы автоматизации инженерных расчетов (далее — CAE-систем) |
| Производить разработку вакуумных камер и внутрикамерных элементов несложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Производить разработку вакуумных, газовых систем, систем охлаждения и пневмопитания несложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Производить разработку рам несложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Производить разработку приводов и механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Производить разработку систем заземления, блокировочных устройств, защитных кожухов и ограждений несложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Разрабатывать техническую документацию на несложное вакуумное технологическое оборудование с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов |
| Разрабатывать во взаимодействии с правовым подразделением техническую документацию для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности в федеральный орган исполнительной власти, осуществляющий регулирование в сфере авторского права и смежных прав |
| Осуществлять патентный поиск |
| Необходимые знания | Состав технических заданий на проектирование несложного вакуумного технологического оборудования |
| Правила эксплуатации вакуумного технологического оборудования |
| Конструктивные особенности типового вакуумного технологического оборудования полупроводникового и электровакуумного производства |
| Основные методы расчета экономической эффективности |
| Единая система конструкторской документации |
| Единая система допусков и посадок |
| Этапы проектирования вакуумного технологического оборудования полупроводникового и электровакуумного производства |
| Методы вакуумного расчета |
| Методы теплового расчета |
| Типовые схемы и элементы вакуумных систем |
| Типовые схемы и элементы газовых систем |
| Типовые схемы и элементы систем охлаждения и пневмопитания |
| Типовые конструкции вакуумных камер и внутрикамерных устройств |
| Типовые конструкции вводов движения и электрических вводов |
| Типовые конструкции элементов вакуумной и атмосферной теплоизоляции |
| Материалы вакуумной техники, их свойства и области применения |
| Виды, конструкции и назначение устройств для обеспечения промышленной безопасности в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Правила оформления технической документации на несложное вакуумное технологическое оборудование |
| СУБД: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Системы компьютерной алгебры: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Прикладные программы расчета вакуумных систем: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Требования вакуумной гигиены |
| Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности |
| Условия патентоспособности изобретения, полезной модели и промышленного образца |
| Состав комплекта документов и порядок подачи заявки для регистрации изобретения, полезной модели и промышленного образца |
| Методика патентного поиска |
| Другие характеристики | - |
| Трудовые действия | Выявление потребностей разрабатываемого вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства в оснастке и вспомогательном оборудовании |
| Изучение особенностей представленных на рынке аналогичных оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Технико-экономическое обоснование разработки оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Разработка технического задания на оснастку и вспомогательное оборудование электровакуумного и полупроводникового производства |
| Согласование технического задания на разработку оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства с руководством подразделения и экономической службой организации |
| Разработка съемных систем установки приборов и подложек |
| Разработка вакуумных контейнеров для хранения и транспортирования приборов и подложек |
| Разработка защитных шумоизолирующих кожухов |
| Разработка мобильных систем межоперационного перемещения изделий |
| Отработка спроектированных деталей и сборочных единиц оснастки и вспомогательного оборудования на технологичность с учетом производственных возможностей организации-изготовителя |
| Ведение авторского надзора при изготовлении деталей и сборочных единиц оснастки и вспомогательного оборудования |
| Необходимые умения | Анализировать вакуумное технологическое оборудование электровакуумного и полупроводникового производства с целью выявления потребности в оснастке и вспомогательном оборудовании |
| Определять необходимость разработки оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Производить разработку технических заданий на оснастку и вспомогательное оборудование электровакуумного и полупроводникового производства с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов |
| Производить разработку оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Прогнозировать расходы на создание новой оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Оценивать экономический эффект от использования оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Необходимые знания | Нормативно-технические документы по разработке оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Назначение, принцип работы и особенности применения моечных машин, травильных и ультразвуковых ванн, пескоструйных аппаратов в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Назначение, возможности и особенности применения оборудования для получения контролируемой атмосферы в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Назначение, возможности и особенности применения систем замкнутого охлаждения в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Единая система конструкторской документации |
| Единая система допусков и посадок |
| Порядок разработки технических заданий на оснастку и вспомогательное оборудование |
| Порядок испытаний разработанной оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Порядок применения оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Требования вакуумной гигиены |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности |
| Другие характеристики | - |
| Трудовые действия | Выявление потребности в средствах контроля и управления для несложного вакуумного технологического оборудования |
| Изучение существующих средств, предназначенных для контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Оценка экономических характеристик средств, предназначенных для контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Разработка технического задания на проектирование средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Согласование технического задания на разработку средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием с руководством подразделения, метрологической службой и экономической службой организации |
| Необходимые умения | Анализировать несложное вакуумное технологическое оборудование с целью выявления потребности в средствах контроля и управления |
| Выбирать методы и средства измерений физических величин при вакуумных технологических процессах |
| Производить анализ методов регулирования и исполнительных механизмов, управляющих технологическими параметрами несложного вакуумного технологического оборудования |
| Определять необходимость разработки конкретных средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Производить разработку технических заданий на средства контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов |
| Прогнозировать расходы на создание новых средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Оценивать экономический эффект от использования специальных средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Интегрировать средства контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием в единую систему обмена информацией электровакуумного и полупроводникового производства |
| Необходимые знания | Нормативно-технические документы по разработке средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Нормативно-технические документы по управлению температурой и составом технологической атмосферы при проведении вакуумных технологических процессов |
| Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения остаточного и рабочего давления в камере, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения температуры, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения расхода технологических газов, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Принципы реализации автоматизированного управления вакуумным технологическим оборудованием |
| Способы регулирования технологических параметров, применяемые в вакуумном технологическом оборудовании |
| Виды элементов и схем, регулирующих расход технологических газов в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Единая система конструкторской документации |
| Единая система допусков и посадок |
| Порядок разработки технических заданий на средства контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Порядок применения средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием, подключенных к сети обмена данными |
| Виды средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием, включенных в сеть обмена данными |
| Практические и теоретические основы реализации этапов проектирования средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Требования вакуумной гигиены |
| Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности |
| Другие характеристики | - |
| Трудовые действия | Контроль соответствия смонтированного несложного вакуумного технологического оборудования требованиям конструкторской документации |
| Испытания систем несложного вакуумного технологического оборудования при атмосферном давлении |
| Подготовка несложного вакуумного технологического оборудования к вакуумной откачке и нагреву (при необходимости) |
| Контроль функционирования несложного вакуумного технологического оборудования при рабочем давлении и температуре |
| Проверка системы управления и контроля несложного вакуумного технологического оборудования |
| Разработка предложений по изменению конструкции несложного вакуумного технологического оборудования при установленном отклонении от технического задания |
| Разработка и согласование инструкции по эксплуатации на несложное вакуумное технологическое оборудование |
| Необходимые умения | Проверять соответствие конструкции несложной вакуумной системы конструкторской документации |
| Проверять соответствие конструкции несложной газовой системы конструкторской документации |
| Проверять соответствие конструкции несложных систем охлаждения и пневмопитания конструкторской документации |
| Проверять соответствие конструкции несложного нагревательного устройства конструкторской документации |
| Проверять состояние и крепление внутренних и внешних нагревательных элементов несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять состояние и крепление внутрикамерных элементов несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять исправность исполнительных механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять герметичность вакуумных и газовых вводов и линий, систем охлаждения и пневмопитания несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять состояние температурных швов несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять правильность установки термопар несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять работу несложного вакуумного технологического оборудования при атмосферном давлении в ручном режиме |
| Проверять герметичность несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять правильность монтажа защитных устройств, кожухов и ограждений несложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять заземление, изоляцию, электрическое сопротивление технологических источников, нагревателей и между технологическими источниками, нагревателями и каркасом несложного вакуумного технологического оборудования |
| Разрабатывать предложения по устранению отклонений несложного вакуумного технологического оборудования от утвержденной конструкции |
| Производить контрольные измерения технологических параметров несложного вакуумного технологического оборудования более точными приборами, чем штатные |
| Производить проверку исполнительных органов системы управления несложного вакуумного технологического оборудования |
| Производить проверку функционирования интегрированных в сеть обмена данными средств контроля и исполнительных механизмов несложного вакуумного технологического оборудования |
| Производить корректировку технической документации несложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей при выявленном отклонении его характеристик от технического задания с использованием текстовых редакторов, CAD-систем, CAE-систем и графических редакторов |
| Производить разработку инструкций по эксплуатации несложного вакуумного технологического оборудования с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов |
| Необходимые знания | Государственные и локальные стандарты, технические условия, технологические инструкции в области вакуумных технологических процессов и оборудования |
| Требования охраны труда, производственной безопасности, защиты окружающей среды |
| Требования вакуумной гигиены |
| Типовые режимы вакуумных технологических процессов |
| Основы эксплуатации дополнительного и вспомогательного оборудования, используемого в электровакуумном и полупроводниковом производствах |
| Принципы управления вакуумными технологическими процессами |
| Основные подходы к интеграции вакуумных технологических процессов и оборудования в единую информационную среду организации |
| Конструкция несложных нагревательных и охладительных устройств, внутрикамерных элементов, дополнительного и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Порядок внесения предложений по устранению отклонений конструкции несложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей от утвержденного проекта |
| Порядок внесения и согласования предложений по доработке конструкции несложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей при отклонении их характеристик от технического задания |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Порядок функционирования интегрированных в сеть обмена данными средств контроля и исполнительных механизмов несложного вакуумного технологического оборудования |
| Единая система конструкторской документации |
| Единая система допусков и посадок |
| Единая система технологической документации |
| Единая система технологической подготовки производства |
| Порядок разработки и содержание инструкции по эксплуатации несложного вакуумного технологического оборудования |
| Порядок оформления производственно-технической документации |
| Другие характеристики | - |
| Трудовые действия | Определение типа откачных средств, запорной арматуры, технологических источников, нагревательного и охладительного устройств, внутрикамерных элементов, шлюзовых устройств, конфигурации камеры, габаритов и принципа сложного вакуумного технологического оборудования |
| Выявление аналогичного сложного вакуумного технологического оборудования и его элементов |
| Оценка капитальных вложений на изготовление сложного вакуумного технологического оборудования и расходов на его эксплуатацию |
| Определение и согласование экономически обоснованного варианта сложного вакуумного технологического оборудования |
| Расчет требуемой скорости откачки сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование вакуумной системы сложного вакуумного технологического оборудования |
| Расчет тепловых параметров систем нагрева и охлаждения сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование нагревательной системы сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование вакуумной камеры, шлюзовой камеры и внутрикамерных элементов сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование газовой системы сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование системы охлаждения сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование системы пневмопитания сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование рам сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование приводов и механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проектирование систем заземления, блокировочных устройств, защитных кожухов и ограждений сложного вакуумного технологического оборудования |
| Отработка спроектированных деталей и сборочных единиц сложного вакуумного технологического оборудования на технологичность с учетом производственных возможностей организации-изготовителя |
| Ведение авторского надзора при изготовлении деталей и сборочных единиц сложного вакуумного технологического оборудования |
| Согласование конструкции сложного вакуумного технологического оборудования с руководством подразделения и экономической службой организации |
| Уведомление в письменной форме руководителя подразделения о создании в связи с выполнением своих трудовых обязанностей или конкретного задания объекта, в отношении которого возможна правовая охрана |
| Патентный поиск аналогичных объектов интеллектуальной собственности в области сложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Подготовка технической документации во взаимодействии с правовым подразделением для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности в федеральный орган исполнительной власти, осуществляющий регулирование в сфере авторского права и смежных прав |
| Необходимые умения | Анализировать техническое задание на проектирование сложного вакуумного технологического оборудования |
| Использовать СУБД и базы знаний для поиска близкого к проектируемому сложного вакуумного технологического оборудования, его узлов и деталей |
| Выполнять экономические расчеты затрат на изготовление сложного вакуумного технологического оборудования и его эксплуатацию с использованием текстовых редакторов и систем компьютерной алгебры |
| Выбирать типоразмер сложного вакуумного технологического оборудования в зависимости от заданной производительности и условий эксплуатации |
| Выполнять вакуумные расчеты сложного вакуумного технологического оборудования с использованием систем компьютерной алгебры и прикладных программ расчета вакуумных систем |
| Выполнять тепловые расчеты сложного вакуумного технологического оборудования с использованием систем компьютерной алгебры и CAE-систем |
| Производить разработку вакуумных камер и внутрикамерных элементов сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Производить разработку вакуумных, газовых систем, систем охлаждения и пневмопитания сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Производить разработку рам сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Производить разработку приводов и механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Производить разработку систем заземления, блокировочных устройств, защитных кожухов и ограждений сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем |
| Производить разработку технической документации на сложное вакуумное технологическое оборудование с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов |
| Разрабатывать во взаимодействии с правовым подразделением техническую документацию для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности в федеральный орган исполнительной власти, осуществляющий регулирование в сфере авторского права и смежных прав |
| Осуществлять патентный поиск |
| Необходимые знания | Порядок оформления технических заданий на проектирование сложного вакуумного технологического оборудования |
| Правила эксплуатации вакуумного технологического оборудования |
| Конструктивные особенности проходного и шлюзового вакуумного технологического оборудования |
| Методы расчета экономической эффективности |
| Единая система конструкторской документации |
| Единая система допусков и посадок |
| Этапы проектирования вакуумного технологического оборудования для вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Методы вакуумного расчета |
| Методы теплового расчета |
| Схемы и элементы вакуумных систем |
| Схемы и элементы газовых систем |
| Схемы и элементы систем охлаждения и пневмопитания |
| Конструкции вакуумных камер и внутрикамерных устройств |
| Конструкции систем шлюзования и перегрузки изделий |
| Конструкции вводов движения и электрических вводов |
| Конструкции элементов вакуумной и атмосферной теплоизоляции |
| Материалы вакуумной техники, их свойства и области применения |
| Виды, конструкции и назначение устройств для обеспечения промышленной безопасности в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Правила оформления технической документации на сложное вакуумное технологическое оборудование |
| СУБД: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Системы компьютерной алгебры: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Прикладные программы расчета вакуумных систем: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Требования вакуумной гигиены |
| Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности |
| Условия патентоспособности изобретения, полезной модели и промышленного образца |
| Состав комплекта документов и порядок подачи заявки для регистрации изобретения, полезной модели и промышленного образца |
| Методика патентного поиска |
| Другие характеристики | - |
| Трудовые действия | Определение требуемого уровня автоматизации сложного вакуумного технологического оборудования |
| Изучение существующих средств, предназначенных для процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Оценка экономических характеристик средств, предназначенных для процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Определение потребности в конкретных средствах, предназначенных для процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Разработка технического задания на проектирование средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Согласование технического задания на разработку средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием с руководством подразделения, метрологической службой, информационно-технической службой и экономической службой организации |
| Необходимые умения | Анализировать сложное вакуумное технологическое оборудование с целью определения требуемого уровня автоматизации |
| Выбирать методики и средства измерений физических величин вакуумных технологических процессов |
| Производить анализ методов процессорного управления технологическими параметрами сложного вакуумного технологического оборудования |
| Определять необходимость разработки конкретных средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Производить разработку технических заданий на средства процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов |
| Прогнозировать расходы на создание новых средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Оценивать экономический эффект от использования средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Интегрировать средства процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием в единую систему обмена информацией электровакуумного и полупроводникового производства |
| Необходимые знания | Нормативно-технические документы по разработке средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Нормативно-технические документы по автоматизированному и автоматическому управлению режимами вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения остаточного и рабочего давления в камере, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения температуры, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения расхода технологических газов, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Принципы реализации автоматического управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Принципы управления технологическими параметрами, применяемые в сложном вакуумном технологическом оборудовании |
| Виды элементов и схем, регулирующих расход технологических газов в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Единая система конструкторской документации |
| Единая система допусков и посадок |
| Порядок разработки технических заданий на средства контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Порядок применения процессорных средств контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием, подключенных к сети обмена данными |
| Состав, назначение и возможности программного обеспечения, применяемого в процессорных средствах контроля и управления вакуумными технологическими процессами электровакуумного и полупроводникового производства |
| Виды процессорных средств контроля и управления вакуумным технологическим оборудованием, включенных в сеть обмена данными |
| Практические и теоретические основы реализации этапов проектирования процессорных средств контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием |
| Требования вакуумной гигиены |
| Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности |
| Другие характеристики | - |
| Трудовые действия | Контроль соответствия смонтированного сложного вакуумного технологического оборудования требованиям конструкторской документации |
| Выявление скрытых дефектов сложного вакуумного технологического оборудования при атмосферном давлении |
| Испытания систем сложного вакуумного технологического оборудования при атмосферном давлении |
| Подготовка сложного вакуумного технологического оборудования к вакуумной откачке, нагреву (при необходимости) |
| Контроль функционирования сложного вакуумного технологического оборудования при рабочем давлении и температуре |
| Проверка системы управления и контроля сложного вакуумного технологического оборудования |
| Разработка предложений по изменению конструкции сложного вакуумного технологического оборудования при установленном отклонении от технического задания |
| Разработка и согласование инструкции по эксплуатации на сложное вакуумное технологическое оборудование |
| Необходимые умения | Проверять соответствие конструкции сложной вакуумной системы конструкторской документации |
| Проверять соответствие конструкции сложной газовой системы конструкторской документации |
| Проверять соответствие конструкции сложных систем охлаждения и пневмопитания конструкторской документации |
| Проверять соответствие конструкции сложной нагревательной системы конструкторской документации |
| Проверять состояние и крепление внутренних и внешних нагревательных элементов сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять состояние и крепление внутрикамерных элементов сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять исправность исполнительных механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять герметичность вакуумных и газовых вводов и линий, систем охлаждения и пневмопитания сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять состояние температурных швов сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять правильность установки термопар сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять работу сложного вакуумного технологического оборудования при атмосферном давлении в ручном режиме |
| Проверять герметичность сложного вакуумного технологического оборудования масс-спектрометрическим методом |
| Проверять правильность монтажа защитных устройств, кожухов и ограждений сложного вакуумного технологического оборудования |
| Проверять заземление, изоляцию, электрическое сопротивление технологических источников, нагревателей и между технологическими источниками, нагревателями, камерой, шлюзом и рамой сложного вакуумного технологического оборудования |
| Разрабатывать предложения по устранению отклонений сложного вакуумного технологического оборудования от согласованного и утвержденного проекта |
| Производить контрольные измерения технологических параметров во всех технологических зонах сложного вакуумного технологического оборудования специальными высокоточными приборами для проверки показаний штатных датчиков |
| Производить проверку функционирования процессорной системы управления сложного вакуумного технологического оборудования |
| Производить проверку работы прикладных программ, обеспечивающих управление сложным вакуумным технологическим оборудованием, при работе в штатном режиме |
| Производить проверку работы прикладных программ, обеспечивающих управление сложным вакуумным технологическим оборудованием, при моделировании отклонений от штатного режима работы |
| Производить проверку функционирования интегрированных в сеть обмена данными процессорных средств контроля и управления сложного вакуумного технологического оборудования |
| Корректировать техническую документацию сложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей при выявленном отклонении его характеристик от технического задания с использованием текстовых редакторов, CAD-систем, CAE-систем и графических редакторов |
| Производить разработку инструкций по эксплуатации сложного вакуумного технологического оборудования с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов |
| Необходимые знания | Государственные и локальные стандарты, технические условия, технологические инструкции в области вакуумных технологических процессов и оборудования |
| Требования охраны труда, производственной безопасности, защиты окружающей среды |
| Требования вакуумной гигиены |
| Специальные режимы вакуумных технологических процессов |
| Принципы эксплуатации дополнительного и вспомогательного оборудования, используемого в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Принципы процессорного управления вакуумными технологическими процессами |
| Принципы применения вычислительной техники и прикладных программ для управления вакуумными технологическими процессами |
| Принципы интеграции вакуумных технологических процессов и оборудования в единую информационную среду организации |
| Конструкции сложных нагревательных и охладительных устройств, внутрикамерных элементов, дополнительного и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Порядок внесения предложений по устранению отклонений конструкции сложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей от утвержденного проекта |
| Порядок внесения и согласования предложений по доработке конструкции сложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей при отклонении его характеристик от технического задания |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Порядок функционирования интегрированных в сеть обмена данными средств процессорного контроля сложного вакуумного технологического оборудования |
| Состав, назначение и возможность программного обеспечения, применяемого в процессорных средствах контроля и управления вакуумных технологических процессов |
| Единая система конструкторской документации |
| Единая система допусков и посадок |
| Единая система технологической документации |
| Единая система технологической подготовки производства |
| Порядок разработки и содержание инструкции по эксплуатации сложного вакуумного технологического оборудования |
| Порядок оформления производственно-технической документации |
| Другие характеристики | - |
| Трудовые действия | Определение необходимых технологических возможностей кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы, и затрат на их разработку |
| Выявление потребности в проектировании комплексных решений в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Оптимизация материальных и информационных производственных потоков при проектировании комплексных решений в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Разработка структуры кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы, соответствующей оптимальным материальным и информационным потокам в технологических комплексах |
| Выбор количества и состава модулей, реализующих вакуумные технологические процессы, встраиваемых в производственные линии, обеспечивающих наилучшие соотношения цены и качества готовой продукции |
| Разработка технического задания на проектирование новых модулей кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы |
| Разработка технического задания на системы автоматического управления кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы |
| Разработка технического задания на дополнительное и вспомогательное оборудование для электровакуумного и полупроводникового производства |
| Согласование технического задания на разработку новых модулей кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы, с руководством подразделения и экономической службой организации |
| Организация разработки кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы |
| Проектное руководство группой инженеров и техников при разработке кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы |
| Организация взаимодействия и координации инженеров и техников, вовлеченных в разработку кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы |
| Необходимые умения | Анализировать действующие производственные линии электровакуумного и полупроводникового производства для определения потребности в интегрированных в производственные линии кластерных и проходных системах, реализующих вакуумные технологические процессы |
| Определять оптимальную схему материальных и информационных потоков в разрабатываемых кластерных и проходных системах, реализующих вакуумные технологические процессы, с использованием текстовых редакторов, систем компьютерной алгебры и графических редакторов |
| Выполнять экономические расчеты с использованием текстовых редакторов и систем компьютерной алгебры |
| Осуществлять формирование структуры кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы, с использованием текстовых редакторов, систем компьютерной алгебры, CAD-систем и графических редакторов |
| Осуществлять интеграцию модулей, реализующих вакуумные технологические процессы, в кластерные и проходные системы |
| Определять номенклатуру модулей, реализующих вакуумные технологические процессы, кластерных и проходных систем из соображений требуемого качества готовой продукции, затрат и промышленной безопасности |
| Производить разработку технических заданий для комплексных решений в области электровакуумного и полупроводникового производства с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов |
| Прогнозировать расходы на комплексные решения в области электровакуумного и полупроводникового производства |
| Оценивать экономический эффект от внедрения комплексных решений в области электровакуумного и полупроводникового производства |
| Устанавливать основные требования к комплексным решениям в области электровакуумного и полупроводникового производства |
| Анализировать базы данных, базы знаний и внешние информационные ресурсы о комплексных решениях в области электровакуумного и полупроводникового производства |
| Разрабатывать комплексные решения в области электровакуумного и полупроводникового производства с использованием текстовых редакторов, систем компьютерной алгебры, CAD-систем и графических редакторов |
| Прогнозировать расходы на проектирование комплексных решений в области электровакуумного и полупроводникового производства |
| Оформлять конструкторскую и технологическую документацию в соответствии с использованием текстовых редакторов, систем компьютерной алгебры, CAD-систем и графических редакторов |
| Организовывать взаимодействие и информационные потоки между инженерами и техниками, участвующими в разработке комплексных решений в области электровакуумного и полупроводникового производства |
| Осуществлять оперативное проектное руководство группой инженеров и техников, участвующих в разработке комплексных решений в области электровакуумного и полупроводникового производства |
| Необходимые знания | Государственные стандарты и локальные акты, определяющие требования к вакуумному технологическому оборудованию |
| Требования вакуумной гигиены |
| Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности |
| Виды, назначение, технологические возможности и порядок использования комплексных решений в области электровакуумного и полупроводникового производства |
| Методика моделирования материальных и информационных потоков в кластерных и проходных системах и производственных линиях |
| Принципы функционирования материальных и информационных потоков в кластерных и проходных системах и производственных линиях |
| Методика разработки структур кластерных и проходных систем и производственных линий |
| Требования, предъявляемые к модулям, реализующим вакуумные технологические процессы, встраиваемым в кластерные и проходные системы |
| Конструктивные особенности модулей, реализующих вакуумные технологические процессы, встраиваемых в кластерные и проходные системы |
| Методики расчета экономической эффективности с использованием прикладных программ |
| Единая система конструкторской документации |
| Единая система допусков и посадок |
| Виды, назначение, эффективность комплексных решений в области электровакуумного и полупроводникового производства |
| Требования охраны труда, промышленной безопасности и экологичности в области электровакуумного и полупроводникового производства |
| Особенности применения кластерных и проходных систем, интегрированных в производственные линии |
| Структура, возможности и аппаратная реализация систем автоматического управления производственными линиями, в которые интегрированы кластерные и проходные системы |
| Принципы компьютерной безопасности при работе на автоматизированных рабочих местах, включенных в локальную и внешнюю сеть |
| Единая система технологической документации |
| Единая система технологической подготовки производства |
| Основы управления персоналом |
| Основы руководства проектом |
| Принципы стандартизации и унификации в области промышленной цифровизации |
| Основы надежности и устойчивости цифровых технологий |
| Принципы автоматизированного управления гибкими производствами |
| Методика управления информационными потоками |
| Основы интеллектуальных подсистем автоматического принятия и реализации решений |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Системы компьютерной алгебры: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Правила оформления технической документации на кластерные и проходные системы, реализующие вакуумные технологические процессы электровакуумного и полупроводникового производства |
| Информационные технологии, обеспечивающие передачу, автоматизированную обработку и визуализацию собираемых данных |
| Основы экономики |
| Основы организации производства |
| Другие характеристики | - |
| Трудовые действия | Выявление потребности в применении системы автоматизированного управления для кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы, и интегрированных производственных линий |
| Изучение и анализ существующих систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Оценка экономических характеристик систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Определение потребности в конкретных системах автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Разработка технического задания на проектирование системы автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Согласование технического задания на разработку системы автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства с руководством подразделения, метрологической службой, информационно-технической службой и экономической службой организации |
| Необходимые умения | Анализировать кластерные и проходные системы, реализующие вакуумные технологические процессы, и интегрированные производственные линии с целью выявления потребности в применении системы автоматизированного управления |
| Разрабатывать предложения по использованию актуальных методик и средств измерений физических величин вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства, интегрированных в комплексные системы и производственные линии |
| Производить анализ структуры, возможностей и аппаратной реализации систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Определять необходимость разработки конкретных систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Производить разработку технических заданий на системы автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов |
| Прогнозировать расходы на создание систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Оценивать экономический эффект от внедрения систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Интегрировать системы автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов в единую систему обмена информацией электровакуумного и полупроводникового производства |
| Необходимые знания | Нормативно-технические документы по разработке систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Нормативно-технические документы по автоматизированному и автоматическому управлению параметрами вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения параметров вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Структура, возможности и принципы программной и аппаратной реализации систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Принципы управления технологическими параметрами, применяемые в вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства |
| Единая система конструкторской документации |
| Единая система допусков и посадок |
| Единая система технологической документации |
| Единая система технологической подготовки производства |
| Порядок оформления производственно-технической документации |
| Порядок разработки технических заданий на системы автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Порядок применения автоматизированных рабочих мест системы управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства, подключенных к сети обмена данными |
| Состав, назначение и возможности программного обеспечения, применяемого в системах автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Практические и теоретические основы реализации этапов проектирования систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства |
| Требования вакуумной гигиены |
| Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности |
| Другие характеристики | - |
| Трудовые действия | Определение потребности в разработке методики проектирования вакуумного технологического оборудования |
| Определение последовательности этапов проектирования вакуумного технологического оборудования |
| Разработка методики проектирования вакуумной системы вакуумного технологического оборудования |
| Разработка методики проектирования нагревательной системы вакуумного технологического оборудования |
| Разработка методики проектирования газовой системы вакуумного технологического оборудования |
| Разработка методики проектирования вакуумной камеры, шлюзовой камеры и внутрикамерных элементов вакуумного технологического оборудования |
| Разработка методики проектирования системы охлаждения вакуумного технологического оборудования |
| Разработка методики проектирования системы пневмопитания вакуумного технологического оборудования |
| Разработка методики проектирования рам вакуумного технологического оборудования |
| Разработка методики проектирования оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Разработка методики составления технических заданий на оснастку и вспомогательное оборудование электровакуумного и полупроводникового производства |
| Разработка методики составления технических заданий на системы контроля и управления для вакуумного технологического оборудования |
| Оформление документации на методику проектирования вакуумного технологического оборудования |
| Согласование методик проектирования вакуумного технологического оборудования с подразделениями организации |
| Анализ данных об актуальных подходах к проектированию вакуумного технологического оборудования на основе периодической научной печати и возможностей информационно-телекоммуникационной сети «Интернет» |
| Необходимые умения | Анализировать конструкторскую и технологическую документацию на вакуумное технологическое оборудование |
| Анализировать возможности вакуумного технологического оборудования |
| Анализировать данные об актуальных методах проектирования вакуумного технологического оборудования на основе периодической научной печати и возможностей информационно-телекоммуникационной сети «Интернет» |
| Определять последовательность и методику расчетов и выбора принципиальной схемы и элементов вакуумной системы вакуумного технологического оборудования |
| Определять последовательность и методику расчетов и выбора принципиальной схемы и элементов газовой системы вакуумного технологического оборудования |
| Определять последовательность и методику расчетов и выбора принципиальной схемы и элементов нагревательной системы вакуумного технологического оборудования |
| Определять последовательность и методику расчетов и выбора принципиальной схемы и элементов системы охлаждения вакуумного технологического оборудования |
| Определять последовательность и методику расчетов и выбора принципиальной схемы и элементов системы пневмопитания вакуумного технологического оборудования |
| Обосновывать последовательность и методику выбора конструкций и расчетов вакуумной камеры, шлюзовой камеры и внутрикамерных элементов вакуумного технологического оборудования |
| Обосновывать последовательность и методику выбора конструкций и расчетов рам вакуумного технологического оборудования |
| Обосновывать последовательность и методику выбора конструкций и расчетов оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства |
| Разрабатывать типовые формы технических заданий на системы контроля и управления для вакуумного технологического оборудования и рекомендации по их заполнению |
| Разрабатывать типовые формы технических заданий на оснастку и вспомогательное оборудование электровакуумного и полупроводникового производства и рекомендации по их заполнению |
| Определять специальные требования к вакуумному технологическому оборудованию |
| Разрабатывать последовательность проектирования вакуумного технологического оборудования |
| Определять требования к условиям проведения производственных испытаний вакуумного технологического оборудования |
| Разрабатывать алгоритм обработки результатов производственных испытаний вакуумного технологического оборудования с использованием текстовых редакторов, электронных таблиц, систем компьютерной алгебры и графических редакторов |
| Оформлять производственно-техническую документацию в бумажном и электронном виде с использованием текстовых редакторов, систем компьютерной алгебры, CAD-систем и графических редакторов |
| Необходимые знания | Технические требования, предъявляемые к вакуумному технологическому оборудованию |
| Государственные стандарты и локальные акты, определяющие требования к вакуумному технологическому оборудованию |
| Требования вакуумной гигиены |
| Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности |
| Применяемые в организации методики проектирования вакуумного технологического оборудования |
| Порядок оформления технических заданий на проектирование вакуумного технологического оборудования |
| Правила эксплуатации вакуумного технологического оборудования |
| Конструктивные особенности вакуумного технологического оборудования |
| Методики расчета экономической эффективности |
| Единая система конструкторской документации |
| Единая система допусков и посадок |
| Этапы проектирования вакуумного технологического оборудования |
| Методы вакуумного расчета |
| Методы теплового расчета |
| Особенности схем и конструкций элементов вакуумных систем |
| Особенности схем и конструкций элементов газовых систем |
| Особенности схем и конструкций элементов систем нагрева |
| Материалы вакуумной техники, их свойства и области применения |
| Схемы и элементы систем охлаждения и пневмопитания |
| Конструкции вакуумных камер и внутрикамерных устройств |
| Конструкции систем шлюзования и перегрузки изделий |
| Конструкции вводов движения и электрических вводов |
| Конструкции элементов вакуумной и атмосферной теплоизоляции |
| Виды, конструкции и назначение устройств для обеспечения промышленной безопасности в электровакуумном и полупроводниковом производстве |
| Правила оформления проектной и конструкторской документации на вакуумное технологическое оборудование |
| Порядок согласования и утверждения методик проектирования вакуумного технологического оборудования |
| Государственные стандарты и локальные акты, регламентирующие вопросы электронного и бумажного делопроизводства |
| Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Системы компьютерной алгебры: наименования, возможности и порядок работы с ними |
| Прикладные программы для работы с электронными таблицами: наименования, возможности и порядок работы в них |
| Другие характеристики | - |