«Об утверждении профессионального стандарта „Оператор прецизионной фотолитографии изделий микроэлектроники“»
(Зарегистрировано в Минюсте России 11.04.2022 № 68161)
Примечание
Срок действия документа ограничен 1 сентября 2028 года.
Начало действия документа - 01.09.2022.
Зарегистрировано в Минюсте России 11 апреля 2022 г. № 68161
МИНИСТЕРСТВО ТРУДА И СОЦИАЛЬНОЙ ЗАЩИТЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ПРИКАЗ
от 21 марта 2022 г. № 147н
ОБ УТВЕРЖДЕНИИ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО СТАНДАРТА
«ОПЕРАТОР ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ
ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ»
В соответствии с пунктом 16 Правил разработки и утверждения профессиональных стандартов, утвержденных постановлением Правительства Российской Федерации от 22 января 2013 г. № 23 (Собрание законодательства Российской Федерации, 2013, № 4, ст. 293; 2014, № 39, ст. 5266), приказываю:
1. Утвердить прилагаемый профессиональный стандарт «Оператор прецизионной фотолитографии изделий микроэлектроники».
2. Установить, что настоящий приказ вступает в силу с 1 сентября 2022 г. и действует до 1 сентября 2028 г.
Министр
А. О. Котяков
Утвержден
приказом Министерства труда
и социальной защиты
Российской Федерации
от 21 марта 2022 г. № 147н
ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ
ОПЕРАТОР
ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
|
1526 |
|
Регистрационный номер |
I. Общие сведения
| Выполнение процессов фотолитографии при производстве изделий микроэлектроники |
|
40.236 |
| (наименование вида профессиональной деятельности) |
|
Код |
Основная цель вида профессиональной деятельности:
| Формирование на поверхности пластин фоторезистивной маски для создания локальных областей в изделиях микроэлектроники |
| 7549 |
Квалифицированные рабочие промышленности и рабочие родственных занятий, не входящие в другие группы |
8189 |
Операторы промышленных установок и машин, не входящие в другие группы |
| (код ОКЗ <1>) |
(наименование) |
(код ОКЗ) |
(наименование) |
Отнесение к видам экономической деятельности:
| 26.11 |
Производство элементов электронной аппаратуры |
| (код ОКВЭД <2>) |
(наименование вида экономической деятельности) |
II. Описание трудовых функций, входящих в профессиональный стандарт (функциональная карта вида профессиональной деятельности)
| Обобщенные трудовые функции | Трудовые функции |
| код | наименование | уровень квалификации | наименование | код | уровень (подуровень) квалификации |
| A | Проведение технологических процессов формирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на неавтоматизированном оборудовании | 4 | Проведение технологического процесса нанесения слоя фоторезиста на поверхность пластин при изготовлении изделий микроэлектроники на неавтоматизированном оборудовании | A/01.4 | 4 |
| Совмещение и экспонирование фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на неавтоматизированном оборудовании | A/02.4 | 4 |
| Проявление фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на неавтоматизированном оборудовании | A/03.4 | 4 |
| B | Проведение технологических процессов формирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на автоматизированных установках | 4 | Проведение технологического процесса нанесения слоя фоторезиста, антиотражающего покрытия при изготовлении изделий микроэлектроники на автоматизированных установках | B/01.4 | 4 |
| Совмещение и экспонирование фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на автоматизированных установках | B/02.4 | 4 |
| Проведение технологического процесса проявления фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на автоматизированных установках | B/03.4 | 4 |
| C | Контроль технологических процессов прецизионной фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники и регулировка параметров при выявлении несоответствий | 4 | Контроль параметров фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники | C/01.4 | 4 |
| Выполнение действий при выявлении технологических несоответствий, возникающих при проведении процессов фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники | C/02.4 | 4 |
III. Характеристика обобщенных трудовых функций
3.1 Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Проведение технологических процессов формирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на неавтоматизированном оборудовании |
Код |
A |
Уровень квалификации |
4 |
| Происхождение обобщенной трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Возможные наименования должностей, профессий |
Оператор прецизионной фотолитографии 3-го разряда
Оператор прецизионной фотолитографии 4-го разряда |
| Требования к образованию и обучению |
Среднее профессиональное образование — программы подготовки квалифицированных рабочих, служащих |
| Требования к опыту практической работы |
Не менее шести месяцев по профессии с более низким (предыдущим) разрядом для оператора прецизионной фотолитографии 4-го разряда |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров <3>
Прохождение обучения по охране труда и проверка знаний требований охраны труда <4> |
| Другие характеристики |
- |
Дополнительные характеристики
| Наименование документа | Код | Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
| ОКЗ | 7549 | Квалифицированные рабочие промышленности и рабочие родственных занятий, не входящие в другие группы |
| ЕТКС <5> | § 83 | Оператор прецизионной фотолитографии 3-го разряда |
| § 84 | Оператор прецизионной фотолитографии 4-го разряда |
| ОКПДТР <6> | 15916 | Оператор прецизионной фотолитографии |
| ОКСО <7> | 2.11.01.09 | Оператор микроэлектронного производства |
3.1.1 Трудовая функция
| Наименование |
Проведение технологического процесса нанесения слоя фоторезиста на поверхность пластин при изготовлении изделий микроэлектроники на неавтоматизированном оборудовании |
Код |
A/01.4 |
Уровень (подуровень) квалификации |
4 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Проверка готовности оборудования к проведению процесса нанесения слоя фоторезиста на поверхность пластин в соответствии с требованиями нормативно-технической документации производства изделий микроэлектроники |
| Подготовка поверхности пластин, необходимых для изготовления изделий микроэлектроники, к процессу нанесения слоя фоторезиста |
| Проведение процесса нанесения слоя фоторезиста на поверхность пластин, необходимых для изготовления изделий микроэлектроники, проведение сушки нанесенного слоя фоторезиста |
| Проведение визуального контроля качества сформированного слоя фоторезиста на поверхности пластин, необходимых для изготовления изделий микроэлектроники |
| Заполнение сопроводительных листов и рабочих журналов при проведении технологического процесса нанесения слоя фоторезиста на поверхность пластин |
| Принятие решения о дальнейшей обработке пластин в соответствии с требованиями технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники |
| Взаимодействие с сотрудниками отдела сопровождения технологических процессов изготовления изделий микроэлектроники и отдела по обслуживанию технологического оборудования для получения необходимой информации, касающейся обработки рабочих пластин |
| Необходимые умения | Определять, выставлять и регулировать на оборудовании параметры технологического процесса нанесения слоя фоторезиста в соответствии с требованиями технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники |
| Оценивать состояние поверхности пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники, перед началом технологического процесса |
| Работать с вакуумными пинцетами |
| Проводить измерение толщины слоя фоторезиста (фоторезистивной маски) на поверхности пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Проводить входной контроль качества применяемых в процессе фотолитографии химических материалов в соответствии с технологической документацией по изготовлению изделий микроэлектроники |
| Оформлять записи по качеству пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Требования нормативно-технической и технологической документации, требования технического задания на изготовление изделий микроэлектроники с применением процессов фотолитографии |
| Технологические карты проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Межоперационное время хранения пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Методы и режимы нанесения слоя фоторезиста на поверхность пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники, и режимы нанесения вспомогательных слоев, применяемых при нанесении слоя фоторезиста на поверхность пластин |
| Методы и режимы сушки фоторезистивного слоя на поверхности пластин, необходимых для производства изделий микроэлектроники |
| Виды и свойства химических материалов, используемых в процессе фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Сроки годности и условия хранения используемых в процессе фотолитографии материалов, необходимых при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Методы оценки качества слоя фоторезиста на поверхности пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Требования охраны труда при работе на оборудовании нанесения слоя фоторезиста при проведении процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Физико-химические основы процесса фотолитографии |
| Правила электронно-вакуумной гигиены и правила работы в чистых помещениях |
| Основы системы менеджмента качества |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.1.2 Трудовая функция
| Наименование |
Совмещение и экспонирование фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на неавтоматизированном оборудовании |
Код |
A/02.4 |
Уровень (подуровень) квалификации |
4 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Проверка готовности оборудования к проведению процесса совмещения и экспонирования фоторезистивной маски согласно регламенту изготовления изделий микроэлектроники |
| Выбор фотошаблона для проведения процесса экспонирования при изготовлении изделий микроэлектроники в соответствии с конструкторской документацией на изделие |
| Выбор режимов экспонирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники для обеспечения параметров фоторезистивной маски в соответствии с требованиями контрольной карты процесса фотолитографии (доза излучения, фокусное расстояние, величина смещения) |
| Проведение визуального контроля качества фотошаблона и отсъема на повторяющиеся дефекты при проведении процессов совмещения и экспонирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Принятие решения о дальнейшей обработке рабочих пластин в соответствии с требованиями технологической документации на изготовление изделий микроэлектроники |
| Заполнение сопроводительных листов и рабочих журналов при проведении операции совмещения и экспонирования фоторезистивной маски |
| Взаимодействие с сотрудниками отдела сопровождения технологических процессов изготовления изделий микроэлектроники и отдела по обслуживанию технологического оборудования для получения необходимой информации, касающейся обработки рабочих партий пластин |
| Необходимые умения | Определять тип фотошаблона для процесса экспонирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проводить контроль точности совмещения слоев формируемой структуры на пластине при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проводить контроль повторяющихся дефектов фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Определять режимы процесса экспонирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Осуществлять загрузку фотошаблонов в фотолитографическое оборудование при проведении процессов совмещения и экспонирования пластин при изготовлении изделий микроэлектроники, осуществлять выгрузку фотошаблонов по окончании процесса экспонирования |
| Определять и классифицировать метки совмещения слоев формируемой структуры на пластине при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Работать с вакуумными пинцетами |
| Работать на метрологическом оборудовании для проверки точности совмещения фотолитографических слоев на пластинах при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Назначение и типы фотошаблонов для проведения процессов фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Методы оценки качества фотошаблона, применяемого в процессе фотолитографии для формирования топологического слоя на поверхности пластин при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Правила хранения и перемещения фотошаблона, необходимого для изготовления изделий микроэлектроники с применением фотолитографии |
| Назначение защитной пленки (пелликла) и требования к ней |
| Правила электронно-вакуумной гигиены и правила работы в чистых помещениях |
| Виды дефектов фоторезистивной маски, возникающих при выполнении процесса совмещения и экспонирования |
| Параметры процессов экспонирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Межоперационное время хранения пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Требования охраны труда при работе на участке фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Нормативно-техническая и технологическая документация проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Физико-химические основы процесса фотолитографии с проектными нормами выше 0,6 мкм |
| Свойства химических материалов, используемых для проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Основы системы менеджмента качества |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.1.3 Трудовая функция
| Наименование |
Проявление фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на неавтоматизированном оборудовании |
Код |
A/03.4 |
Уровень (подуровень) квалификации |
4 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Проверка готовности оборудования к проведению процесса проявления фоторезистивной маски на поверхности пластин согласно регламенту изготовления изделий микроэлектроники |
| Выбор режима проявления фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проведение процесса проявления фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проведение визуального контроля качества фоторезистивной маски на поверхности пластин согласно требованиям технологической карты изготовления изделий микроэлектроники |
| Заполнение сопроводительных листов и рабочих журналов при проведении процесса проявления слоя фоторезиста |
| Взаимодействие с сотрудниками отдела технологического сопровождения процессов изготовления изделий микроэлектроники и отдела по обслуживанию технологического оборудования для получения необходимой информации, касающейся обработки рабочих партий пластин |
| Необходимые умения | Определять, выставлять и регулировать параметры технологического процесса проявления слоя фоторезиста на оборудовании для проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Работать с вакуумными пинцетами |
| Оценивать качество поверхности пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники, до и после проведения процесса проявления в соответствии с требованиями технологической документации |
| Проводить контроль качества проявления слоя фоторезиста на поверхности пластины |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Межоперационное время хранения пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Правила электронно-вакуумной гигиены и правила работы в чистых помещениях |
| Физико-химические основы процесса фотолитографии |
| Свойства химических материалов, используемых для проведения процесса фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Режимы проявления слоя фоторезиста на поверхности пластин |
| Виды и свойства проявителей, используемых при проведении процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Сроки годности и условия хранения проявителей, используемых при проведении процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Методы оценки качества проявления слоя фоторезиста на поверхности пластин, необходимых для изготовления изделий микроэлектроники |
| Нормативно-техническая и технологическая документация, используемая при проведении процессов фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Требования охраны труда при работе на оборудовании, используемом для проведения процессов проявления фоторезиста на поверхности пластин, необходимых для изготовления изделий микроэлектроники |
| Требования технологической и контрольной карты на процесс фотолитографии и порядок действий при выявлении отклонений параметров фоторезистивной маски |
| Основы системы менеджмента качества |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.2 Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Проведение технологических процессов формирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на автоматизированных установках |
Код |
B |
Уровень квалификации |
4 |
| Происхождение обобщенной трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Возможные наименования должностей, профессий |
Оператор прецизионной фотолитографии 5-го разряда
Оператор прецизионной фотолитографии 6-го разряда |
| Требования к образованию и обучению |
Среднее профессиональное образование — программы подготовки квалифицированных рабочих, служащих |
| Требования к опыту практической работы |
Не менее одного года работы с более низким (предыдущим) разрядом |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверка знаний требований охраны труда |
| Другие характеристики |
Дополнительное профессиональное образование — программы повышения квалификации не реже, чем один раз в пять лет |
Дополнительные характеристики
| Наименование документа | Код | Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
| ОКЗ | 8189 | Операторы промышленных установок и машин, не входящие в другие группы |
| ЕТКС | § 85 | Оператор прецизионной фотолитографии 5-го разряда |
| § 86 | Оператор прецизионной фотолитографии 6-го разряда |
| ОКПДТР | 15916 | Оператор прецизионной фотолитографии |
| ОКСО | 2.11.01.09 | Оператор микроэлектронного производства |
3.2.1 Трудовая функция
| Наименование |
Проведение технологического процесса нанесения слоя фоторезиста, антиотражающего покрытия при изготовлении изделий микроэлектроники на автоматизированных установках |
Код |
B/01.4 |
Уровень (подуровень) квалификации |
4 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Подготовка автоматизированной установки для проведения процессов фотолитографии и материалов к проведению процесса нанесения слоя фоторезиста и антиотражающего покрытия на поверхность пластин, используемых при производстве изделий микроэлектроники |
| Проверка готовности автоматизированных установок к проведению процессов нанесения слоя фоторезиста, антиотражающего покрытия |
| Подготовка поверхности пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники, к процессу нанесения слоя фоторезиста на автоматизированных установках |
| Проведение процесса нанесения слоя фоторезиста и антиотражающего покрытия на поверхность пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники, проведение процесс сушки слоя фоторезиста и антиотражающего покрытия |
| Оценка качества формирования слоя фоторезиста на поверхности пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Заполнение сопроводительных листов и рабочих журналов при работе на автоматизированных установках для проведения процессов фотолитографии в производстве изделий микроэлектроники |
| Взаимодействие с сотрудниками отдела технологического сопровождения процессов изготовления изделий микроэлектроники и отдела по обслуживанию технологического оборудования для получения необходимой информации, касающейся обработки рабочих партий пластин |
| Необходимые умения | Определять и выставлять на автоматизированных установках для проведения процессов фотолитографии необходимые рецепты обработки пластин согласно технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники |
| Отслеживать межоперационное время хранения пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники, и при необходимости отправлять пластины по реставрационному маршруту |
| Проводить визуальный контроль качества сформированного слоя фоторезиста на поверхности пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Межоперационное время хранения пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Методы и режимы нанесения слоя фоторезиста и антиотражающего покрытия на поверхность пластин, необходимых для производства изделий микроэлектроники |
| Виды дефектов, возникающих при проведении процесса нанесения слоя фоторезиста на поверхность пластин |
| Виды и свойства химических материалов, используемых для проведения процесса фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Методы оценки качества слоя фоторезиста на поверхности пластин, необходимых для изготовления изделий микроэлектроники |
| Требования охраны труда при работе на автоматизированном оборудовании для нанесения слоя фоторезиста на поверхность пластин, необходимых для изготовления изделий микроэлектроники |
| Физико-химические основы процесса фотолитографии |
| Нормативно-техническая и технологическая документация по работе на автоматизированном оборудовании для проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Правила электронно-вакуумной гигиены и правила работы в чистых помещениях |
| Основы работы на персональном компьютере |
| Английский язык (базовый курс) |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.2.2 Трудовая функция
| Наименование |
Совмещение и экспонирование фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на автоматизированных установках |
Код |
B/02.4 |
Уровень (подуровень) квалификации |
4 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Подготовка автоматизированной установки совмещения и экспонирования для проведения процессов фотолитографии и материалов к проведению процессов совмещения и экспонирования фоторезистивной маски на поверхности пластин при производстве изделий микроэлектроники в соответствии с технологическим регламентом |
| Выбор фотошаблона для проведения процессов совмещения и экспонирования рабочих пластин в соответствии с требованиями конструкторской документации и технологической карты на процесс фотолитографии изготовлении изделий микроэлектроники |
| Выбор режимов экспонирования фоторезистивной маски в соответствии с требованиями технологической документации (доза излучения, фокусное расстояние, точность совмещения) |
| Проведение процессов совмещения и экспонирования фоторезистивной маски на поверхности пластин, используемых при производстве изделий микроэлектроники, на автоматизированной установке |
| Проведение визуального контроля качества фоторезистивной маски на поверхности пластин, используемых при производстве изделий микроэлектроники |
| Заполнение сопроводительных листов и рабочих журналов при работе на автоматизированных установках для проведения процессов фотолитографии в производстве изделий микроэлектроники |
| Взаимодействие с сотрудниками отдела технологического сопровождения процессов изготовления изделий микроэлектроники и отдела по обслуживанию технологического оборудования для получения необходимой информации, касающейся обработки рабочих партий пластин |
| Необходимые умения | Определять необходимый тип фотошаблона для проведения процесса экспонирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Определять режимы процесса экспонирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на автоматизированной установке |
| Осуществлять загрузку фотошаблонов для проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники в автоматизированные установки и выгрузку фотошаблонов в соответствии с технологическими регламентами |
| Определять и классифицировать метки совмещения топологических слоев пластин, используемых при производстве изделий микроэлектроники |
| Работать на метрологическом оборудовании для проверки точности совмещения фотолитографических слоев пластин, используемых при производстве изделий микроэлектроники |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Назначение и типы фотошаблонов для проведения процессов фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Правила хранения и перемещения фотошаблонов для проведения процессов фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Назначение и требования к защитной пленке (пелликлу) |
| Правила электронно-вакуумной гигиены и правила работы в чистых помещениях |
| Виды дефектов, возникающих при проведении процесса совмещения и экспонирования |
| Параметры процесса экспонирования фоторезистивной маски на поверхность пластины при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Межоперационное время хранения пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Свойства химических материалов, используемых для проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Требования охраны труда при работе на автоматизированных установках для проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Нормативно-техническая и технологическая документация по работе на автоматизированных установках для проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Физико-химические основы процесса фотолитографии с проектными нормами меньше 1 мкм |
| Основы работы на персональном компьютере |
| Английский язык (базовый курс) |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.2.3 Трудовая функция
| Наименование |
Проведение технологического процесса проявления фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники на автоматизированных установках |
Код |
B/03.4 |
Уровень (подуровень) квалификации |
4 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Проверка готовности автоматизированных установок к проведению процесса проявления фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Подготовка поверхности пластины к процессу проявления слоя фоторезиста на автоматизированных установках при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проведение процесса проявления фоторезистивной маски на автоматизированной установке при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Оценка качества формирования фоторезистивной маски на поверхности пластины при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Заполнение сопроводительных листов и рабочих журналов при работе на автоматизированных установках для проведения процессов фотолитографии в производстве изделий микроэлектроники |
| Ввзаимодействие с сотрудниками отдела технологического сопровождения процессов изготовления изделий микроэлектроники и отдела по обслуживанию технологического оборудования для получения необходимой информации, касающейся обработки рабочих партий пластин |
| Необходимые умения | Определять и выставлять на автоматизированных установках для проведения процессов фотолитографии необходимые рецепты обработки пластин согласно технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники |
| Отслеживать межоперационное время хранения пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники, и при необходимости отправлять пластины по реставрационному маршруту |
| Проводить визуальный контроль качества сформированной фоторезистивной маски на поверхности пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Межоперационное время хранения пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Методы и режимы процесса проявления слоя фоторезиста на поверхности пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники |
| Виды дефектов, возникающих при проведении процесса проявления слоя фоторезиста на поверхности пластин |
| Виды и свойства химических материалов, используемых для проведения процесса фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Методы оценки качества фоторезистивной маски на поверхности пластин, необходимых для изготовления изделий микроэлектроники |
| Требования охраны труда при работе на автоматизированном оборудовании при проведении процессов проявления слоя фоторезиста на поверхности пластин, необходимых для изготовления изделий микроэлектроники |
| Физико-химические основы процесса фотолитографии |
| Нормативно-техническая и технологическая документация по работе на автоматизированном оборудовании для проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Правила электронно-вакуумной гигиены и правила работы в чистых помещениях |
| Основы работы на персональном компьютере |
| Английский язык (базовый курс) |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.3 Обобщенная трудовая функция
| Наименование |
Контроль технологических процессов прецизионной фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники и регулировка параметров при выявлении несоответствий |
Код |
C |
Уровень квалификации |
4 |
| Происхождение обобщенной трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Возможные наименования должностей, профессий |
Контролер
Старший оператор |
| Требования к образованию и обучению |
Среднее профессиональное образование — программы подготовки квалифицированных рабочих, служащих |
| Требования к опыту практической работы |
Не менее одного года работы оператором прецизионной фотолитографии 4-го разряда
или
Не менее шести месяцев работы оператором прецизионной фотолитографии 5-го разряда |
| Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
Прохождение обучения по охране труда и проверка знаний требований охраны труда |
| Другие характеристики |
Дополнительное профессиональное образование — программы повышения квалификации не реже, чем один раз в пять лет |
Дополнительные характеристики
| Наименование документа | Код | Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
| ОКЗ | 8189 | Операторы промышленных установок и машин, не входящие в другие группы |
| ЕТКС | § 34 | Контролер деталей и приборов 4-го разряда |
| § 35 | Контролер деталей и приборов 5-го разряда |
| § 36 | Контролер деталей и приборов 6-го разряда |
| ОКПДТР | 12950 | Контролер деталей и приборов |
| 12974 | Контролер качества продукции и технологического процесса |
| ОКСО | 2.11.01.09 | Оператор микроэлектронного производства |
3.3.1 Трудовая функция
| Наименование |
Контроль параметров фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
Код |
C/01.4 |
Уровень (подуровень) квалификации |
4 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Проведение измерений параметров фоторезистивной маски с использованием микроскопа и контрольно-измерительных средств, предусмотренных технологической документацией по изготовлению изделий микроэлектроники |
| Внесение корректировок в программу обработки изделий микроэлектроники по результатам измерений параметров фоторезистивной маски |
| Определение продукции, не соответствующей требованиям контрольной карты на процесс фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Подбор и регулировка режимов процессов фотолитографии для получения необходимых параметров фоторезистивной маски в соответствии с требованиями технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники |
| Оформление записей по результатам проведения процессов формирования фоторезистивной маски изделий микроэлектроники (заполнение сопроводительных листов и рабочих журналов) |
| Взаимодействие с сотрудниками отдела сопровождения технологических процессов изготовления изделий микроэлектроники и отдела по обслуживанию технологического оборудования для получения необходимой информации, касающейся обработки рабочих партий пластин |
| Необходимые умения | Проводить замеры толщины слоя фоторезиста на поверхности пластин, подготовленных для проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Проводить замеры линейных размеров контролируемых элементов и величины рассовмещения слоев структуры на тестовых элементах топологического слоя |
| Работать с микроскопом и контрольно-измерительными средствами при проведении измерений параметров фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Анализировать результаты измерений фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Оценивать качество процесса нанесения, проявления и экспонирования слоя фоторезиста при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Определять оптимальные значения параметров процессов фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Корректировать параметры экспонирования и совмещения на основании полученных данных при измерении контрольных пластин при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Идентифицировать обрабатываемую продукцию для изготовления изделий микроэлектроники (подпись продукции, перемещение продукции на место хранения в соответствии с идентификацией) |
| Оформлять результаты измерений параметров технологических процессов фотолитографии в соответствии с требованиями нормативно-технической и технологической документации изготовления изделий микроэлектроники |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Нормы контроля параметров технологических процессов фотолитографии изделий микроэлектроники (величина
контролируемого линейного размера, точность совмещения слоев структуры, доза облучения, время проявления, толщина слоя фоторезиста, уровень дефектности) |
| Нормативно-техническая и технологическая документация по работе на автоматизированном оборудовании и проведении процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Требования технологической документации к контролируемым параметрам фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Параметры технологических процессов формирования фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Параметры контроля фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Правила работы на автоматизированном технологическом оборудовании процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Правила работы с оптическим и контрольно-измерительным оборудованием при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Межоперационное время хранения обрабатываемой продукции для изготовления изделий микроэлектроники |
| Свойства химических материалов, используемых для проведения процесса фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Последовательность технологических операций при изготовлении изделий микроэлектроники с применением автоматизированных процессов прецизионной фотолитографии |
| Режимы выполнения технологических процессов прецизионной фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники на автоматизированном оборудовании |
| Виды дефектов при формировании фоторезистивной маски на поверхности пластин при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Режимы работы контрольно-измерительного оборудования при проведении процессов контроля параметров фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Требования нормативно-технической и технологической документации процессов фотолитографии изделий микроэлектроники, в том числе требования технологических и контрольных карт, требования технического задания на изделие |
| Порядок действий при обнаружении отклонений параметров фоторезистивной маски от требований контрольной карты процесса фотолитографии |
| Правила электронно-вакуумной гигиены и правила работы в чистых помещениях |
| Физико-химические основы процесса фотолитографии |
| Свойства поверхности пластины, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Виды дефектов, возникающих при формировании фоторезистивной маски на пластинах при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Основы работы на персональном компьютере |
| Английский язык (базовый курс) |
| Основы системы менеджмента качества |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
3.3.2 Трудовая функция
| Наименование |
Выполнение действий при выявлении технологических несоответствий, возникающих при проведении процессов фотолитографии при изготовлении изделий микроэлектроники |
Код |
C/02.4 |
Уровень (подуровень) квалификации |
4 |
| Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | | |
| | | Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Выявление видов несоответствия обрабатываемой продукции требованиям технологической карты при выполнении процессов фотолитографии изделий микроэлектроники (дефектность, отклонения линейного размера, рассовмещение слоев, недопроявление) |
| Регистрация выявленного несоответствия обрабатываемой продукции изделий микроэлектроники в рабочих журналах |
| Определение причин несоответствия обрабатываемой продукции изделий микроэлектроники требованиям технологической карты |
| Формирование алгоритма регулировки параметров процессов фотолитографии изделий микроэлектроники для устранения несоответствий обрабатываемой продукции |
| Регулировка параметров процессов фотолитографии изделий микроэлектроники в диапазонах, допустимых технологической документацией, для корректировки при выявлении технологических несоответствий обрабатываемой продукции |
| Оповещение начальника смены и инженера-технолога о выявленных несоответствиях обрабатываемой продукции изделий микроэлектроники для проведения регулирующих мероприятий и устранения причин несоответствий |
| Необходимые умения | Идентифицировать обрабатываемую продукцию как несоответствующую микроэлектронную продукцию |
| Работать с микроскопом и контрольно-измерительными средствами при проведении измерений параметров фоторезистивной маски при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Осуществлять корректирующие действия, разработанные технологической службой, при отклонениях параметров процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Устанавливать причинно-следственные связи возникновения микроэлектронной продукции, не соответствующей требованиям технологической документации |
| Вести записи по качеству изготовленной микроэлектронной продукции (заполнение рабочих журналов, сопроводительных листов, сигнальных талонов) |
| Осуществлять сравнение полученных результатов замеров параметров фоторезистивной маски с требованиями нормативной технологической документации |
| Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве |
| Необходимые знания | Требования нормативно-технической и технологической документации к контролируемым параметрам микроэлектронной продукции |
| Виды дефектов при формировании фоторезистивной маски изделий микроэлектроники |
| Критерии несоответствия микроэлектронной продукции требованиям технологической документации |
| Виды, причины и методы устранения несоответствий процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Порядок действий при выявлении несоответствующей микроэлектронной продукции |
| Последовательность технологических операций при проведении процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Причины и порядок проведения внеплановой аттестации оборудования для проведения процессов фотолитографии изделий микроэлектроники |
| Правила работы с оптическим и контрольно-измерительным оборудованием при оценке качества формирования фоторезистивной маски изделий микроэлектроники, изготовленных с применением процессов прецизионной фотолитографии на автоматизированном оборудовании |
| Физико-химические основы процесса фотолитографии |
| Правила электронно-вакуумной гигиены и правила работы в чистых помещениях |
| Основы работы на персональном компьютере |
| Английский язык (базовый курс) |
| Основы системы менеджмента качества |
| Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве |
| Другие характеристики | - |
IV. Сведения об организациях — разработчиках профессионального стандарта
4.1 Ответственная организация-разработчик
| Фонд инфраструктурных и образовательных программ, город Москва |
| Генеральный директор | Титов Руслан Вадимович |
4.2 Наименования организаций-разработчиков
| 1 |
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники», город Москва, город Зеленоград |
| 2 |
Некоммерческое партнерство «Межотраслевое объединение наноиндустрии», город Москва |
| 3 |
Акционерное общество «Микрон», город Москва, город Зеленоград |
| 4 |
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Российская академия народного хозяйства и государственной службы при Президенте Российской Федерации», город Москва |
<1> Общероссийский классификатор занятий.
<2> Общероссийский классификатор видов экономической деятельности.
<3> Приказ Минтруда России, Минздрава России от 31 декабря 2020 г. № 988н/1420н «Об утверждении перечня вредных и (или) опасных производственных факторов и работ, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные медицинские осмотры при поступлении на работу и периодические медицинские осмотры» (зарегистрирован Минюстом России 29 января 2021 г., регистрационный № 62278); приказ Минздрава России от 28 января 2021 г. № 29н «Об утверждении Порядка проведения обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров работников, предусмотренных частью четвертой статьи 213 Трудового кодекса Российской Федерации, перечня медицинских противопоказаний к осуществлению работ с вредными и (или) опасными производственными факторами, а также работам, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные и периодические медицинские осмотры» (зарегистрирован Минюстом России 29 января 2021 г., регистрационный № 62277).
<4> Постановление Правительства Российской Федерации от 24 декабря 2021 г. № 2464 «О порядке обучения по охране труда и проверки знания требований охраны труда» (Собрание законодательства Российской Федерации, 2022, № 1, ст. 171).
<5> Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих, выпуск 20, раздел «Общие профессии производства изделий электронной техники».
<6> Общероссийский классификатор профессий рабочих, должностей служащих и тарифных разрядов.
<7> Общероссийский классификатор специальностей по образованию.