Изменение № 1 ГОСТ 26239.7-84. Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота
(утв. Постановлением Госстандарта СССР от 26.06.1990 № 1847)
Примечание
Введен в действие с 1 января 1991 года.
от 26 июня 1990 г. № 1847
ИЗМЕНЕНИЕ № 1 ГОСТ 26239.7-84. КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ.
МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ КИСЛОРОДА, УГЛЕРОДА И АЗОТА
Дата введения 1 января 1991 года
Раздел 2. Первый, второй абзацы изложить в новой редакции: «Ускоритель заряженных частиц — источников ионов {}^{3}He с энергией 13 мэВ при токе ионов в пучке 1 — 5 мкА, источник протонов с энергией не менее 6,5 МэВ и током ионов в пучке 1 — 5 мкА»;
четвертый, пятый абзацы изложить в новой редакции: «Универсальный радиометр-дозиметр типа МКС-61Р.»
Бюксы типа 1К-НЖ для радиохимических работ с дополнительной защитой из свинцовых кирпичей и просвинцованного стекла в соответствии с требованиями НРБ-76/87»; после слов «толщиной 10, 15, 23» дополнить значениями: 34, 50, 70;
заменить слова и ссылки: «вырезанные из углей спектральных ОСЧ 7-3 диаметром 6 мм и толщиной 3 мм» на «вырезанные из пирографита марки МПГ-8, размером 15 х 15 х 3 мм», «высотой 20 — 25» на «высотой 25 — 30», ГОСТ 18300-72 на ГОСТ 18300-87, ОСП-72 на ОСП-72/87;
исключить ссылки: ГОСТ 10696-75, ГОСТ 2871-75.
Раствор 1. Заменить значение: 12 г на 312 г.
Пункт 3.1.1. Первый абзац после слов «двух параллельных пластин кремния» дополнить словами: «На анализ готовят пластины кремния в виде квадратов со стороной 12 — 14 мм и толщиной 0,3 — 3,5 мм».
Пункт 3.2. Последний абзац. Заменить значение: 1 — 10 мин на 1 — 3 мин.
Пункт 3.4. Третий абзац изложить в новой редакции: «При определении кислорода и углерода с поверхности облученных пластин кремния должен быть удален слой толщиной 45 — 50 мкм, которому соответствует уменьшение энергии ионов от 13 до 10 МэВ».
Пункт 4.1. Первый абзац после слов «в поликристаллическом кремнии» дополнить словами: «и в нелегированном кремнии»;
пятый абзац после слов «образцы сравнения из графита» дополнить словами: «и нитрида алюминия»;
После экспликации формул (2) и (3) дополнить абзацем: «Описанный принцип измерения кривых распада, обработки результатов измерения и получения конечного результата — концентрации определяемой примеси в пластине кремния, — положены в основу автоматизированной системы „АКАН“ в комплексе с ЭВМ ЕС-1010. Программа обработки результатов измерений составлена на языке „FORTRAN-4“.»
Пункт 4.2.1. После экспликации формулы (5) дополнить абзацем: «Измерение кривых распада выделенных осадков фторида лантана и обработка результатов измерений предусмотрены программой, составленной для автоматизированной системы „АКАН“ в комплексе с ЭВМ ЕС-1010, написанной на языке „FORTRAN-4“.»
Пункт 4.2.2. Второй абзац. Заменить слова: «После окончания сплавления тигель извлекают из печи, охлаждают до 100 — 150 °С и помещают в реакционную колбу 1 прибора (черт. 2)» на «После окончания сплавления никелевый тигель 1 извлекают из печи, охлаждают на воздухе до 100 — 150 °С и помещают на дно реакционного сосуда 2 прибора (черт. 2)»;
чертеж 2 заменить новым:
1 — никелевый тигель с охлажденным расплавам;
2 — реакционный сосуд; 3 — трубка с силикагелем,
пропитанным концентрированной серной кислотой;
4 — приемник фтора,
содержащий 15 см3 дистиллированной воды;
5 — промежуточная емкость;
6 — приемник углекислого газа,
содержащий 15 см3 аммиачного раствора
хлорида бария
третий абзац. Заменить слова: «Реакционную колбу» на «Реакционный сосуд», «В реакционную колбу» на «В реакционный сосуд».
Пункт 4.2.2.1. Первый абзац. Заменить слова: «содержащегося в приемнике 3» на «содержащегося в приемнике 4».
Пункт 4.2.2.2. Первый абзац изложить в новой редакции: «Из раствора, содержащегося в приемнике 6, выделяют осадок карбоната бария. Для этого содержимое приемника 6 переливают в стакан. Стакан накрывают часовым стеклом, ставят на электроплитку и кипятят в течение 1 — 2 мин. Затем раствор охлаждают, образовавшийся осадок собирают на бумажном фильтре, помещенном на дно воронки Шотта. Фильтрование производят при разряжении, создаваемом водоструйным насосом. Осадок промывают последовательно холодным раствором хлорида бария, спиртом, эфиром, подсушивают на воздухе. Фильтр с осадком переносят на кальку, заворачивают в нее. Кальку с осадком помещают в алюминиевую кассету для измерения активности на спектрометре \gamma - \gamma -совпадений»; после экспликации формулы (8) дополнить абзацем: «Измерение кривых распада выделенных осадков карбоната бария и обработка результатов измерений предусмотрены программой, составленной для автоматизированной системы „АКАН“ в комплексе с ЭВМ ЕС-1010, написанной на языке „FORTRAN-4“.»
Пункт 4.2.3. Второй абзац изложить в новой редакции: «При определении азота из прибора для дистилляции (черт. 2) исключить приемник 4, соединив трубку с силикагелем 3 и промежуточную емкость 5 хлорвиниловой трубкой. Определение выполняют как указано в п. 4.2.2.2».