Изменение № 1 ГОСТ 26239.5-84 «Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей»
(утв. Постановлением Госстандарта СССР от 26.06.1990 № 1847)
Примечание
Введен в действие с 1 января 1991 года.
от 26 июня 1990 г. № 1847
ИЗМЕНЕНИЕ № 1 ГОСТ 26239.5-84 «КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ И КВАРЦ. МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ»
1 января 1991 года
Вводную часть изложить в новой редакции: «Настоящий стандарт устанавливает нейтронно-активационный метод определения примесей в нелегированном полупроводниковом кремнии и кварце в интервалах значений массовых долей примесей:»
вольфрама \text{от }1 \cdot 10^{- 10}\text{до }1 \cdot 10^{- 5}\%
галлия \text{от }2 \cdot 10^{- 11}\text{до }1 \cdot 10^{- 5}\%
европия \text{от }1 \cdot 10^{- 10}\text{до }1 \cdot 10^{- 5}\%
железа \text{от }2 \cdot 10^{- 8}\text{до }1 \cdot 10^{- 3}\%
золота \text{от }1 \cdot 10^{- 11}\text{до }1 \cdot 10^{- 6}\%
индия \text{от }1 \cdot 10^{- 8}\text{до }1 \cdot 10^{- 4}\%
кобальта \text{от }1 \cdot 10^{- 10}\text{до }1 \cdot 10^{- 6}\%
лантана \text{от }1 \cdot 10^{- 10}\text{до }1 \cdot 10^{- 5}\%
лютеция \text{от }1 \cdot 10^{- 9}\text{до }1 \cdot 10^{- 4}\%
меди \text{от }1 \cdot 10^{- 9}\text{до }1 \cdot 10^{- 5}\%
молибдена \text{от }1 \cdot 10^{- 9}\text{до }1 \cdot 10^{- 4}\%
мышьяка \text{от }1 \cdot 10^{- 10}\text{до }1 \cdot 10^{- 5}\%
натрия \text{от }1 \cdot 10^{- 8}\text{до }1 \cdot 10^{- 5}\%
никеля \text{от }2 \cdot 10^{- 8}\text{до }1 \cdot 10^{- 3}\%
скандия \text{от }1 \cdot 10^{- 11}\text{до }1 \cdot 10^{- 6}\%
серебра \text{от }1 \cdot 10^{- 9}\text{до }1 \cdot 10^{- 6}\%
сурьмы \text{от }1 \cdot 10^{- 10}\text{до }1 \cdot 10^{- 6}\%
тантала \text{от }1 \cdot 10^{- 10}\text{до }1 \cdot 10^{- 6}\%
хрома \text{от }1 \cdot 10^{- 9}\text{до }1 \cdot 10^{- 5}\%
цинка \text{от }1 \cdot 10^{- 9}\text{до }1 \cdot 10^{- 4}\%
Метод не распространяется для анализа кремния марок КЭС-0,01 и КЭМ-0,01».
Раздел 2. Первый, второй абзацы изложить в новой редакции: «Ядерный реактор с плотностью потока нейтронов 0,5 — 1 \cdot 10^{- 4} нейтрон/(см2 х с) и кадмиевым отношением по золоту в канале для облучения проб, равном 2 — 5.»
Гамма-спектрометр, состоящий из многоканального анализатора (число каналов анализатора не менее 2000), блока усиления сигналов, полупроводникового германиевого или германий-литиевого детектора с фотоэффективностью регистрации гамма-квантов линии {}^{60}\text{Со} с энергией 1332 кэВ не менее 1,5% (в угол 4 \pi ). Отношение пик/комптон для {}^{60}\text{Со} не менее 30:1. Разрешение спектрометра не более 3 кэВ по линии {}^{60}\text{Со} с энергией 1332 кэВ»;
четвертый абзац изложить в новой редакции: «Контейнер свинцовый транспортный марки КЛ-10,0 с толщиной стенок 100 мм»;
одиннадцатый абзац дополнить ссылкой: ГОСТ 618-73;
заменить слова: «Весы аналитические» на «Весы лабораторные по ГОСТ 24104-88»;
«Стандартный раствор серебра». Заменить значения: 0,02 мг/см3 на 0,002 мг/см3, 0,0315 г на 0,00315 г.
«Стандартный раствор молибдена и хрома». Заменить значения: 0,1 мг/см3 на 0,01 мг/см3, 0,10 мг/см3 на 0,01 мг/см3.
«Стандартный раствор тантала готовят в день употребления». Заменить значения: 100 см3 на 1000 см3, 0,01 мг/см3 на 0,001 мг/см3.
«Стандартный раствор кобальта». Заменить значения: 0,02 мг/см3 на 0,002 мг/см3, 0,0200 г на 0,0020 г;
заменить ссылки: ГОСТ 18300-72 на ГОСТ 18300-87; ОСП 72/80 на ОСП 72/87.
Пункт 3.1. Второй абзац изложить в новой редакции: «От каждой анализируемой пробы отбирают две навески толщиной 2 — 3 мм, массой 4 — 6 г, помещают каждую навеску в алюминиевый пакет, пакет маркируют»;
четвертый абзац. Заменить слова: «молибдена 0,01 мг» на «молибдена 0,001 мг», «серебра 0,002 мг» на «серебра 0,0002 мг», «тантала 0,001 мг» на «тантала 0,0001 мг», «хрома 0,01 мг на „хрома 0,001 мг“;»
последний абзац изложить в новой редакции: «Пенал с анализируемыми образцами и образцами сравнения облучают в ядерном реакторе в течение:»
100 ч, если ожидаемая массовая доля примесей, которые необходимо определять, составляет менее 10^{- 7} % масс;
10 ч, если ожидаемая массовая доля примесей, которые необходимо определять, составляет более 10^{- 7} % масс.
Облученные образцы перевозят в лабораторию в свинцовом транспортном контейнере КЛ-10,0».
Пункт 4.1. Первый абзац. Заменить значение: 20 — 25 ч на 25 — 30 ч.
Пункт 4.2. Первый абзац. Заменить значение: 1,0 — 1,5 кэВ на 0,7 — 1,0 кэВ;
шестой абзац исключить;
восьмой абзац. Заменить значения: 10 — 60 мин на 1 — 6 ч, (1 - 3) \cdot 10^{- 5} % на (1 - 3) \cdot 10^{- 6} %, (1 - 3) \cdot 10^{- 7} % на (1 - 3) \cdot 10^{- 8} %, 20 — 30 ч на 25 — 30 ч.
Пункт 5.3. Таблицу 2 изложить в новой редакции; дополнить абзацем:
| Определяемый элемент | Массовая доля определяемого элемента, % | Абсолютное допускаемое расхождение, % |
|---|---|---|
| Железо, никель | -3 1,0 х 10 -5 1,0 х 10 -7 1,0 х 10 -8 2,0 х 10 | -3 0,23 х 10 -5 0,23 х 10 -7 0,30 х 10 -8 1,0 х 10 |
| Молибден, хром, цинк, лютеций | -4 1,0 х 10 -6 5,0 х 10 -7 5,0 х 10 -9 1,0 х 10 | -4 0,30 х 10 -6 2,2 х 10 -7 2,2 х 10 -9 0,5 х 10 |
| Индий | -4 1,0 х 10 -6 1,0 х 10 -8 1,0 х 10 | -4 0,30 х 10 -6 0,40 х 10 -8 0,50 х 10 |
| Вольфрам, европий, лантан, мышьяк | -5 1,0 х 10 -7 1,0 х 10 -8 1,0 х 10 -10 1,0 х 10 | -5 0,23 х 10 -7 0,23 х 10 -8 0,25 х 10 -10 0,50 х 10 |
| Галлий | -5 1,0 х 10 -7 1,0 х 10 -9 1,0 х 10 -11 2,0 х 10 | -5 0,23 х 10 -7 0,23 х 10 -9 0,30 х 10 -11 1,0 х 10 |
| Медь | -5 1,0 х 10 -7 1,0 х 10 -8 1,0 х 10 -9 1,0 х 10 | -5 0,23 х 10 -7 0,23 х 10 -8 0,30 х 10 -9 0,50 х 10 |
| Натрий | -5 1,0 х 10 -7 1,0 х 10 -8 1,0 х 10 | -5 0,23 х 10 -7 0,25 х 10 -8 0,50 х 10 |
| Серебро | -6 1,0 х 10 -7 1,0 х 10 -8 1,0 х 10 -9 1,0 х 10 | -6 0,23 х 10 -7 0,23 х 10 -8 0,30 х 10 -9 0,50 х 10 |
| Золото, скандий | -6 1,0 х 10 -8 1,0 х 10 -10 1,0 х 10 -11 1,0 х 10 | -6 0,23 х 10 -8 0,23 х 10 -10 0,30 х 10 -11 0,50 х 10 |
| Кобальт, сурьма, тантал | -6 1,0 х 10 -8 1,0 х 10 -9 1,0 х 10 -10 1,0 х 10 | -6 0,23 х 10 -8 0,23 х 10 -9 0,30 х 10 -10 0,50 х 10 |
Допускаемые расхождения для промежуточных значений массовых долей находят методом линейного интерполирования»;
пятый абзац. Заменить значения: 1,0 \cdot 10^{- 5} % на 1,0 \cdot 10^{- 6} %; 5,0 \cdot 10^{- 5} % на 5,0 \cdot 10^{- 6} % (2 раза);
шестой абзац. Заменить значения: 1,0 \cdot 10^{- 5} % на 1,0 \cdot 10^{- 6} %; 5,0 \cdot 10^{- 6} % на 5,0 \cdot 10^{- 7} %;
таблицу 3 изложить в новой редакции:
| Номер смеси | Определяемый элемент | Время выдержки, ч |
|---|---|---|
| 1 | Натрий, европий Лантан Лютеций, скандий | 30 — 70 50 — 80 Более 100 |
| 2 | Молибден, сурьма Серебро, хром | 30 — 70 Более 100 |
| 3 | Галлий, мышьяк Кобальт, железо, тантал | 30 — 40 Более 100 |
| 4 | Вольфрам, медь, цинк Индий, никель Золото | 30 — 40 Более 100 80 — 120 |