Постановление Минтруда РФ от 05.12.1994 № 75

«О внесении дополнений в Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих, выпуск 20»

МИНИСТЕРСТВО ТРУДА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ПОСТАНОВЛЕНИЕ от 5 декабря 1994 г. № 75

О ВНЕСЕНИИ ДОПОЛНЕНИЙ В ЕДИНЫЙ ТАРИФНО-КВАЛИФИКАЦИОННЫЙ СПРАВОЧНИК РАБОТ И ПРОФЕССИЙ РАБОЧИХ, ВЫПУСК 20

Министерство труда Российской Федерации в связи с уточнением характера выполняемых работ по отдельным профессиям рабочих постановляет: Внести в Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих, выпуск 20, утвержденный Постановлением Госкомтруда СССР и Секретариата ВЦСПС от 23 января 1985 г. № 23/3-3 и применяемый в соответствии с Постановлением Минтруда России от 12 мая 1992 г. № 15а на предприятиях и в организациях, расположенных на территории России, дополнения согласно Приложению.

Заместитель Министра труда Российской Федерации Р.БАТКАЕВ

Приложение к Постановлению Министерства труда Российской Федерации от 5 декабря 1994 г. № 75

ДОПОЛНЕНИЯ В ЕДИНЫЙ ТАРИФНО-КВАЛИФИКАЦИОННЫЙ СПРАВОЧНИК РАБОТ И ПРОФЕССИЙ РАБОЧИХ, ВЫПУСК 20, УТВЕРЖДЕННЫЙ ПОСТАНОВЛЕНИЕМ ГОСКОМТРУДА СССР И СЕКРЕТАРИАТА ВЦСПС ОТ 23 ЯНВАРЯ 1985 Г. № 23/3-3 И ПРИМЕНЯЕМЫЙ В СООТВЕТСТВИИ С ПОСТАНОВЛЕНИЕМ МИНТРУДА РОССИИ ОТ 12 МАЯ 1992 Г. № 15А НА ПРЕДПРИЯТИЯХ И В ОРГАНИЗАЦИЯХ, РАСПОЛОЖЕННЫХ НА ТЕРРИТОРИИ РОССИИ

1. Дополнить профессию «Оператор прецизионной резки» раздела «Общие профессии электронной техники» тарифно-квалификационной характеристикой 6 разряда (§ 54а), изложив ее в следующей редакции:

§ 54а. Оператор прецизионной резки

6-й разряд

Характеристика работ. Ориентированная прецизионная резка заготовок и слитков полупроводниковых материалов диаметром свыше 100 мм на пластины на автоматизированном агрегате резки с программным управлением с разбросом по толщине + 10 мкм. Установка и настройка режущего инструмента, контроль за его исправностью. Регулировка агрегата и подналадка режущего инструмента в процессе работы. Составление и корректировка программы автоматической работы агрегата. Определение направления и величины ухода режущей кромки, правка режущего инструмента, снижение величины ухода режущей кромки. Должен знать: конструкцию и основы работы оборудования с программным управлением; способы проверки и регулировки параметров работы обслуживаемого оборудования; методы контроля качества резки.

2. Дополнить профессию «Оператор прецизионной фотолитографии» раздела «Общие профессии электронной техники» тарифно — квалификационной характеристикой 7 разряда (§ 59а), изложив ее в следующей редакции:

§ 59а. Оператор прецизионной фотолитографии

7-й разряд

Характеристика работ. Проведение полного цикла фотолитографического процесса по изготовлению сверхбольших интегральных схем (СБИС) с размерами элементов 2 мкм, точностью совмещения + 0,15 мкм и размером рабочего модуля 10 / 10 мм. Обслуживание установок совмещения и мультипликации всех типов, установок нанесения и сушки, установок проявления и задубливания фоторезиста на линии типа Лада — 150 с программным управлением. Ввод коррекции на совмещение слоев, оценка значения масштаба и разворота на проекционной печати, качества совмещения внутри модуля и по полю пластины. Ввод рабочих программ для обеспечения автоматического режима работы оборудования. Определение дефектности фоторезиста и локализация узла оборудования, генерирующего дефекты. Измерение линейных размеров на автоматическом измерителе типа Zeitz. Входной контроль металлизированного промежуточного оригинала (МПО), подготовка его к работе, сборка и выдача в работу с двусторонней защитой пелликлом. Должен знать: конструкцию и принцип работы фотолитографического оборудования с программным управлением; правила пользования автоматической системой управления движением пластин; методы корректировки технологических режимов формирования фоторезистивных покрытий по результатам контроля основных характеристик фоторезиста и лака. Требуется среднее профессиональное образование. Примеры работ.

1. Металлизированные промежуточные оригиналы (МПО) — изготовление пробных отъемов, контроль совмещаемости слоев.

2. Пластины СБИС с размером элементов 2 мкм — проведение полного технологического цикла фотолитографических операций и контроль качества выполнения их перед проведением плазмохимических процессов.

3. Рамка контактная — проведение полного цикла фотолитографических операций.

4. Шаблоны пленочные с допуском несовмещения 15 км — проведение полного технологического цикла фотолитографических операций.

3. Дополнить профессию «Травильщик прецизионного травления» раздела «Общие профессии электронной техники» тарификационной характеристикой 6 разряда (§ 97а), изложив ее в следующей редакции:

§ 97а. Травильщик прецизионного травления

6-й разряд

Характеристика работ. Ведение процессов объемной химической обработки пластин, химического травления диэлектрических пленок (двуокиси кремния, нитрида кремния, фосфоросиликатного стекла) на автоматизированных комплексах, состоящих из шести и более установок. Самостоятельный выбор и задание на ЭВМ программы на приготовление технологических растворов с требуемой концентрацией компонентов. Ввод в ЭВМ технологических параметров химической обработки, отмывки и сушки. Контроль по дисплею и регулирование технологических параметров (время обработки, температура, удельное сопротивление воды). Определение и задание на ЭВМ маршрута движения робота с партиями пластин. Контроль дефектности, процесса, оценка уровня дефектности на автоматизированных анализаторах поверхности типа «Surfskan 4500». Обслуживание автоматизированных комплексов химической обработки в режиме «отладка». Ведение учета отказов автоматизированного комплекса, анализа диагностики, выдаваемой ЭВМ, проведение простых наладочных работ. Обслуживание и подналадка автоматических перегрузчиков пластин. Химическая обработка стеклопластин на автоматических ультразвуковых линиях, Определение и задание параметров обработки стеклопластин путем программирования режимов отмывки на компьютере, контроль параметров технологического процесса с последующей корректировкой задаваемых режимов с применением контрольных графиков. Должен знать: устройство, принцип работы, конструктивные особенности и правила эксплуатации автоматизированных комплексов химической обработки и автоматических перегрузчиков пластин; основные принципы работы на персональном компьютере и способы задания параметров химической обработки при работе на автоматизированных комплексах, состоящих из шести и более установок, устройство и правила эксплуатации ЭВМ типа IBM PC, принцип сборки и обработки данных на ПЭВМ; порядок доставки химреагентов; правила эксплуатации систем автоматизированной подачи химреактивов; требования к качеству обработанных изделий; основные виды брака и способы их устранения. Примеры работ.

1. Пластины СБИС — обработка в перекисно-аммиачных растворах и растворах серной кислоты с перекисью водорода на линии «Кубок; травление Si O, Si N, ФСС на линии „Кубок Т“.»

2. Пластины стеклянные — многостадийная химическая обработка на автоматических ультразвуковых линиях.

4. Дополнить профессию «Оператор вакуумно-напылительных процессов» раздела «Полупроводниковое производство» подраздела «Производство полупроводниковых приборов, интегральных и твердых схем» тарифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (§ 20а), изложив ее в следующей редакции:

§ 20а. Оператор вакуумно-напылительных процессов

7-й разряд

Характеристика работ. Напыление металлических и окисных покрытий с заданной оптической плотностью и дефектностью. Напыление тугоплавких металлов с образованием силицидов. Составление программ проведения процесса напыления с использованием ЭВМ. Замер поверхностного сопротивления силицидов и пленок металла. Определение отражающей способности пленки и коэффициента запыления рельефа пленкой. Обработка режимов напыления пленки с получением указанных параметров (толщина, состав, коэффициенты запыления и отражения), настройка и калибровка по эталонам приборов для измерения заданных параметров. Сборка и разборка внутрикамерного устройства установок и их чистка. Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер по их ликвидации. Оценка качества высокого вакуума. Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования; принцип работы откачных средств и способы измерения вакуума; наладку и настройку контрольно-измерительных приборов; способы получения проводящих, резистивных, барьерных, диэлектрических слоев и диодов Шоттки; влияние режимов напыления на электрофизические свойства пленок. Требуется среднее профессиональное образование.

5. Дополнить профессию «Оператор диффузионных процессов» раздела «Полупроводниковое производство» подраздела «Производство полупроводниковых приборов, интегральных и твердых схем» тарифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (§ 25а), изложив ее в следующей редакции:

§ 25а. Оператор диффузионных процессов

7-й разряд

Характеристика работ. Ведение особо сложных высокотемпературных процессов диффузии на опытном оборудовании и оборудовании с микропроцессорным программным управлением с применением различных типов диффузантов. Ведение процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом. Расчет необходимых пропорций кислорода и водорода в их смеси. Одновременное проведение трех процессов окисления или диффузии. Выбор способа формирования диэлектрика в зависимости от назначения и требований к нему. Получение p-n переходов и контроль их вольтамперных характеристик на измерителе Л2-56. Сбор и обработка информации с помощью компьютера. Анализ причин возникновения брака на операциях высокотемпературных обработок и принятие мер по их устранению. Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования; назначение и условия применения сложного контрольно-измерительного оборудования (спектрометры типа MPVSD, «Surfscan», ЛЭФ-3М); назначение окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним; факторы, определяющие скорость роста окислов; механизмы диффузии в полупроводниках; виды брака на термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения; способы получения p-n переходов и методы определения их годности. Требуется среднее профессиональное образование. Примеры работ.

1. Изолирующий окисел — пирогенное окисление.

2. Диффузия фосфора в поликремний — легирование затвора.

6. Дополнить профессию «Оператор плазмохимических процессов» раздела «Полупроводниковое производство» подраздела «Производство полупроводниковых приборов, интегральных и твердых схем» тарифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (§ 32а), изложив ее в следующей редакции:

§ 32а. Оператор плазмохимических процессов

7-й разряд

Характеристика работ. Проведение процессов плазмохимической очистки и травления полупроводниковых материалов на экспериментальном и опытном оборудовании. Проведение многостадийных процессов травления. Плазмохимическое травление многослойных структур. Анизотропное травление поликремния. Сборка и разборка внутрикамерного устройства и его очистка. Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер к их устранению. Должен знать: конструкцию экспериментального и опытного оборудования для проведения плазмохимических процессов; правила ведения плазмохимического травления многослойных структур и ведения многостадийных процессов; методы отыскания течей в вакуумных системах и способы их устранения и предупреждения. Требуется среднее профессиональное образование. Примеры работ.

1. Кремниевые пластины — плазмохимическое травление Al/Si; AlSi/TiW.

2. Кремниевые пластины — плазмохимическое травление ФСС, БФСС, SiO селективно к Si, ПКК при формировании контактов.

---