---
title: "\"ГОСТ Р 8.659-2009. Национальный стандарт Российской Федерации. Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки\""
number: "ГОСТ Р 8.659-2009"
issuer: "Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии"
status: действует
canonical: "https://bukva.ai/docs/metodika-gost-r-8-659-2009"
---
## "ГОСТ Р 8.659-2009. Национальный стандарт Российской Федерации. Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки"
# "ГОСТ Р 8.659-2009. Национальный стандарт Российской Федерации. Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки"
(утв. и введен в действие Приказом Ростехрегулирования от 15.12.2009 N 972-ст)
> [!IMPORTANT]
> Документ [введен](#p100008) в действие с 1 января 2011 года.
Утвержден и введен в действие
Приказом Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологии
от 15 декабря 2009 г. N 972-ст
**НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ**
**ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ**
Средства измерений характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии обеспечивают измерения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм следующих характеристик УФ излучателей:
-
энергетической яркости в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более $10^{3}\text{Вт}/(\text{м}^{2} \cdot \text{ср})$ , верхняя - не менее $10^{8}\text{Вт}/(\text{м}^{2} \cdot \text{ср});$
-
силы излучения в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более $10^{- 3}\text{Вт}/\text{ср}$ , верхняя - не менее $10^{2}\text{Вт}/\text{ср}.$
Методы оценки погрешностей СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям N 53 Международной комиссии по освещению [[1]](#p100917).
Межповерочный интервал - не более одного года.
### 2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 8.197-2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн от 0,04 до 0,25 мкм
[ГОСТ 8.207-76](https://bukva.ai/docs/gost-8-207-76) Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
ГОСТ 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм
*Примечание* - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
### 3 Операции поверки
При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование операции | Номер раздела, подраздела, пункта настоящего стандарта | Обязательность проведения операций при поверке |
| первичной | периодической |
| Внешний осмотр | 8.1 | + | + |
| Опробование | 8.2 | + | + |
| Определение метрологических характеристик | 8.3 | + | + |
| Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности | 8.3.1 | + | - |
| Определение погрешности абсолютной чувствительности в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм | 8.3.2 | + | + |
| Определение погрешности, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазонов измерений энергетической яркости и силы излучения | 8.3.3 | + | - |
| Определение погрешности, возникающей из-за неидеальной коррекции угловой зависимости чувствительности | 8.3.4 | + | - |
| Обработка результатов измерений | 9 | + | + |
### 4 Средства поверки
При проведении поверки применяют следующие средства поверки:
- установку для измерений энергетической яркости и силы излучения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм в составе вторичного эталона спектральной плотности энергетической яркости (далее - ВЭТ СПЭЯ) по ГОСТ 8.197. Относительное суммарное среднее квадратическое отклонение (далее - СКО) - не более 3%;
- установку для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм в составе рабочего эталона потока излучения и энергетической освещенности (далее - РЭ ПИ и ЭО) по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО - не более 3%;
- установку для измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров УФ излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО - не более 4%;
- установку для измерений угловой зависимости чувствительности фотопреобразователей УФ излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552, включающую в себя гониометр. Относительное суммарное СКО - не более 5%.
### 5 Требования к квалификации поверителей
Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с используемыми средствами поверки, изучившие настоящий стандарт и эксплуатационную документацию на средства поверки и средства измерений.
### 6 Требования безопасности
При поверке СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии должны быть соблюдены правила электробезопасности. Измерения должны проводить два оператора, аттестованных по группе электробезопасности не ниже III, прошедших инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок.
### 7 Условия поверки
При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
- температура окружающего воздуха - 20 °С +/- 5 °C;
- относительная влажность воздуха - 65% +/- 15%;
- атмосферное давление - от 84 до 104 кПа;
- напряжение питающей сети - (220 +/- 4) В;
- частота питающей сети - (50 +/- 1) Гц.
### 8 Подготовка и проведение поверки
Методика поверки СИ характеристик УФ излучения в нанофотолитографии включает в себя подготовку к поверке, внешний осмотр, опробование и определение метрологических характеристик. При подготовке к поверке СИ необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по эксплуатации.
#### 8.1 Внешний осмотр
При внешнем осмотре должны быть установлены:
- соответствие комплектности СИ паспортным данным;
- отсутствие механических повреждений блоков СИ, сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;
-
четкость надписей на панели СИ;
-
наличие маркировки (тип и заводской номер СИ);
-
отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях СИ.
Значение относительного суммарного СКО результатов измерений ОСЧ в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм не должно превышать 5%.
Погрешность спектральной коррекции поверяемого СИ $\Theta_{1}$ в процентах, вызванную отклонением относительной спектральной чувствительности $S(\lambda)$ от стандартной $S^{\text{ст}}(\lambda)$ , определяют по формуле
$\Theta_{1} = | \frac{\int_{7}^{1100} L(\lambda)S(\lambda)d\lambda \int_{7}^{1100} L^{\text{ст}}(\lambda)S^{\text{ст}}(\lambda)d\lambda}{\int_{7}^{1100} L(\lambda)S^{\text{ст}}(\lambda)d\lambda \int_{7}^{1100} L^{\text{ст}}(\lambda)S(\lambda)d\lambda} - 1|100,(4)$
где:
$L(\lambda)$ - относительная спектральная плотность энергетической яркости контрольных источников УФ излучения;
$L^{\text{ст}}(\lambda)$ - относительная спектральная плотность энергетической яркости стандартного источника УФ излучения.
Для определения возможности применения поверяемого СИ при технологическом контроле в нанофотолитографии установлен перечень контрольных и стандартных источников излучения. Табулированные значения $L(\lambda)$ и $L^{\text{ст}}(\lambda)$ приведены в таблицах 2 - 7. Значение погрешности спектральной коррекции чувствительности $\Theta_{1}$ СИ характеристик УФ излучения для каждого контрольного источника должно быть не более 6%.
Таблица 2
ЗНАЧЕНИЯ $L^{\text{ст}}(\lambda)$ ДЛЯ СТАНДАРТНОГО ИСТОЧНИКА СИНХРОТРОННОГО
**ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ ЭНЕРГИИ 450 МЭВ И РАДИУСЕ ОРБИТЫ 1,0 ММ**
| Длина волны, нм | $L^{\text{ст}}(\lambda)$ | Длина волны, нм | $L^{\text{ст}}(\lambda)$ | Длина волны, нм | $L^{\text{ст}}(\lambda)$ |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 9,8 | 231 | 70 | 601 | 250 | 36,9 |
| 10 | 279 | 80 | 471 | 275 | 29,1 |
| 13 | 680 | 90 | 375 | 300 | 23,5 |
| 15 | 975 | 100 | 302 | 350 | 15,9 |
| 18,5 | 1385 | 110 | 249 | 400 | 11,1 |
| 20 | 1504 | 120 | 206 | 500 | 6,38 |
| 25 | 1663 | 130 | 173 | 600 | 3,33 |
| 30 | 1622 | 140 | 146 | 700 | 2,67 |
| 35 | 1493 | 150 | 124 | 800 | 1,89 |
| 40 | 1326 | 160 | 106 | 900 | 1,38 |
| 45 | 1172 | 180 | 81,4 | 1000 | 1,04 |
| 50 | 1020 | 200 | 63,6 | 1100 | 0,82 |
| 60 | 7791 | 225 | 47,8 | | |
Таблица 3
ЗНАЧЕНИЯ $L(\lambda)$ ДЛЯ КОНТРОЛЬНОГО ИСТОЧНИКА -
**РТУТНОЙ ЛАМПЫ СРЕДНЕГО ДАВЛЕНИЯ**
| Длина волны, нм | $L(\lambda)$ | Длина волны, нм | $L(\lambda)$ | Длина волны, нм | $L(\lambda)$ |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 200 | $5,55 \cdot 10^{- 2}$ | 505 | $4,49 \cdot 10^{- 3}$ | 810 | $5,16 \cdot 10^{- 3}$ |
| 205 | $8,19 \cdot 10^{- 2}$ | 510 | $4,63 \cdot 10^{- 3}$ | 815 | $5,16 \cdot 10^{- 3}$ |
| 210 | $1,04 \cdot 10^{- 1}$ | 515 | $4,70 \cdot 10^{- 3}$ | 820 | $5,18 \cdot 10^{- 3}$ |
| 215 | $1,04 \cdot 10^{- 1}$ | 520 | $4,65 \cdot 10^{- 3}$ | 825 | $5,18 \cdot 10^{- 3}$ |
| 220 | $1,23 \cdot 10^{- 1}$ | 525 | $4,69 \cdot 10^{- 3}$ | 830 | $5,19 \cdot 10^{- 3}$ |
| 225 | $1,29 \cdot 10^{- 1}$ | 530 | $4,74 \cdot 10^{- 3}$ | 835 | $5,22 \cdot 10^{- 3}$ |
| 230 | $1,18 \cdot 10^{- 1}$ | 535 | $9,77 \cdot 10^{- 3}$ | 840 | $5,25 \cdot 10^{- 3}$ |
| 235 | $1,02 \cdot 10^{- 1}$ | 540 | $6,49 \cdot 10^{- 3}$ | 845 | $5,28 \cdot 10^{- 3}$ |
| 240 | $8,64 \cdot 10^{- 2}$ | 545 | $7,18 \cdot 10^{- 1}$ | 850 | $5,31 \cdot 10^{- 3}$ |
| 245 | $4,87 \cdot 10^{- 2}$ | 550 | $5,61 \cdot 10^{- 3}$ | 855 | $5,33 \cdot 10^{- 3}$ |
| 250 | $9,05 \cdot 10^{- 2}$ | 555 | $5,50 \cdot 10^{- 3}$ | 860 | $5,36 \cdot 10^{- 3}$ |
| 255 | $4,42 \cdot 10^{- 1}$ | 560 | $5,40 \cdot 10^{- 3}$ | 865 | $5,38 \cdot 10^{- 3}$ |
| 260 | $1,75 \cdot 10^{- 1}$ | 565 | $5,51 \cdot 10^{- 3}$ | 870 | $5,41 \cdot 10^{- 3}$ |
| 265 | $2,93 \cdot 10^{- 1}$ | 570 | $6,27 \cdot 10^{- 3}$ | 875 | $5,43 \cdot 10^{- 3}$ |
| 270 | $1,01 \cdot 10^{- 1}$ | 575 | $9,48 \cdot 10^{- 3}$ | 880 | $5,45 \cdot 10^{- 3}$ |
| 275 | $6,52 \cdot 10^{- 2}$ | 580 | $7,04 \cdot 10^{- 1}$ | 885 | $5,48 \cdot 10^{- 3}$ |
| 280 | $1,78 \cdot 10^{- 1}$ | 585 | $5,47 \cdot 10^{- 3}$ | 890 | $5,52 \cdot 10^{- 3}$ |
| 285 | $2,15 \cdot 10^{- 2}$ | 590 | $5,07 \cdot 10^{- 3}$ | 895 | $5,55 \cdot 10^{- 3}$ |
| 290 | $8,08 \cdot 10^{- 2}$ | 595 | $5,05 \cdot 10^{- 3}$ | 900 | $5,58 \cdot 10^{- 3}$ |
| 295 | $1,21 \cdot 10^{- 1}$ | 600 | $5,02 \cdot 10^{- 3}$ | 905 | $5,62 \cdot 10^{- 3}$ |
| 300 | $1,48 \cdot 10^{- 1}$ | 605 | $4,98 \cdot 10^{- 3}$ | 910 | $5,65 \cdot 10^{- 3}$ |
| 305 | $3,67 \cdot 10^{- 1}$ | 610 | $4,99 \cdot 10^{- 3}$ | 915 | $5,70 \cdot 10^{- 3}$ |
| 310 | $1,20 \cdot 10^{- 1}$ | 615 | $4,92 \cdot 10^{- 3}$ | 920 | $5,72 \cdot 10^{- 3}$ |
| 315 | $6,09 \cdot 10^{- 1}$ | 620 | $4,97 \cdot 10^{- 3}$ | 925 | $5,76 \cdot 10^{- 3}$ |
| 320 | $1,50 \cdot 10^{- 2}$ | 625 | $4,94 \cdot 10^{- 3}$ | 930 | $5,79 \cdot 10^{- 3}$ |
| 325 | $1,19 \cdot 10^{- 2}$ | 630 | $4,92 \cdot 10^{- 3}$ | 935 | $5,82 \cdot 10^{- 3}$ |
| 330 | $1,13 \cdot 10^{- 2}$ | 635 | $4,95 \cdot 10^{- 3}$ | 940 | $5,84 \cdot 10^{- 3}$ |
| 335 | $1,03 \cdot 10^{- 1}$ | 640 | $4,99 \cdot 10^{- 3}$ | 945 | $5,87 \cdot 10^{- 3}$ |
| 340 | $9,48 \cdot 10^{- 3}$ | 645 | $5,02 \cdot 10^{- 3}$ | 950 | $5,89 \cdot 10^{- 3}$ |
| 345 | $7,87 \cdot 10^{- 3}$ | 650 | $5,07 \cdot 10^{- 3}$ | 955 | $5,92 \cdot 10^{- 3}$ |
| 350 | $6,71 \cdot 10^{- 3}$ | 655 | $5,16 \cdot 10^{- 3}$ | 960 | $5,96 \cdot 10^{- 3}$ |
| 355 | $9,12 \cdot 10^{- 3}$ | 660 | $5,25 \cdot 10^{- 3}$ | 965 | $5,98 \cdot 10^{- 3}$ |
| 360 | $9,51 \cdot 10^{- 3}$ | 665 | $5,27 \cdot 10^{- 3}$ | 970 | $6,01 \cdot 10^{- 3}$ |
| 365 | 1,000 | 670 | $6,07 \cdot 10^{- 3}$ | 975 | $6,04 \cdot 10^{- 3}$ |
| 370 | $2,68 \cdot 10^{- 2}$ | 675 | $5,22 \cdot 10^{- 3}$ | 980 | $6,05 \cdot 10^{- 3}$ |
| 375 | $1,01 \cdot 10^{- 2}$ | 680 | $5,21 \cdot 10^{- 3}$ | 985 | $6,05 \cdot 10^{- 3}$ |
| 380 | $1,03 \cdot 10^{- 2}$ | 685 | $5,23 \cdot 10^{- 3}$ | 990 | $6,07 \cdot 10^{- 3}$ |
| 385 | $7,87 \cdot 10^{- 3}$ | 690 | $5,82 \cdot 10^{- 3}$ | 995 | $6,08 \cdot 10^{- 3}$ |
| 390 | $2,27 \cdot 10^{- 2}$ | 695 | $5,27 \cdot 10^{- 3}$ | 1000 | $6,09 \cdot 10^{- 3}$ |
| 395 | $5,82 \cdot 10^{- 3}$ | 700 | $5,25 \cdot 10^{- 3}$ | 1005 | $6,09 \cdot 10^{- 3}$ |
| 400 | $7,40 \cdot 10^{- 3}$ | 705 | $5,34 \cdot 10^{- 3}$ | 1010 | $6,23 \cdot 10^{- 3}$ |
| 405 | $3,30 \cdot 10^{- 1}$ | 710 | $7,11 \cdot 10^{- 3}$ | 1015 | $7,66 \cdot 10^{- 3}$ |
| 410 | $7,52 \cdot 10^{- 2}$ | 715 | $5,05 \cdot 10^{- 3}$ | 1020 | $6,18 \cdot 10^{- 3}$ |
| 415 | $8,64 \cdot 10^{- 3}$ | 720 | $5,01 \cdot 10^{- 3}$ | 1025 | $6,09 \cdot 10^{- 3}$ |
| 420 | $8,36 \cdot 10^{- 3}$ | 725 | $4,94 \cdot 10^{- 3}$ | 1030 | $6,08 \cdot 10^{- 3}$ |
| 425 | $9,92 \cdot 10^{- 3}$ | 730 | $4,89 \cdot 10^{- 3}$ | 1035 | $6,06 \cdot 10^{- 3}$ |
| 430 | $1,39 \cdot 10^{- 2}$ | 735 | $4,90 \cdot 10^{- 3}$ | 1040 | $6,04 \cdot 10^{- 3}$ |
| 435 | $6,38 \cdot 10^{- 1}$ | 740 | $4,93 \cdot 10^{- 3}$ | 1045 | $6,01 \cdot 10^{- 3}$ |
| 440 | $2,37 \cdot 10^{- 2}$ | 745 | $4,92 \cdot 10^{- 3}$ | 1050 | $5,96 \cdot 10^{- 3}$ |
| 445 | $1,20 \cdot 10^{- 2}$ | 750 | $4,94 \cdot 10^{- 3}$ | 1055 | $5,93 \cdot 10^{- 3}$ |
| 450 | $7,58 \cdot 10^{- 3}$ | 755 | $4,98 \cdot 10^{- 3}$ | 1060 | $5,89 \cdot 10^{- 3}$ |
| 455 | $6,42 \cdot 10^{- 3}$ | 760 | $4,97 \cdot 10^{- 3}$ | 1065 | $5,86 \cdot 10^{- 3}$ |
| 460 | $5,43 \cdot 10^{- 3}$ | 765 | $4,99 \cdot 10^{- 3}$ | 1070 | $5,82 \cdot 10^{- 3}$ |
| 465 | $5,19 \cdot 10^{- 3}$ | 770 | $5,01 \cdot 10^{- 3}$ | 1075 | $5,79 \cdot 10^{- 3}$ |
| 470 | $5,57 \cdot 10^{- 3}$ | 775 | $5,04 \cdot 10^{- 3}$ | 1080 | $5,75 \cdot 10^{- 3}$ |
| 475 | $5,65 \cdot 10^{- 3}$ | 780 | $5,05 \cdot 10^{- 3}$ | 1085 | $5,72 \cdot 10^{- 3}$ |
| 480 | $5,38 \cdot 10^{- 3}$ | 785 | $5,11 \cdot 10^{- 3}$ | 1090 | $5,69 \cdot 10^{- 3}$ |
| 485 | $6,13 \cdot 10^{- 3}$ | 790 | $5,09 \cdot 10^{- 3}$ | 1095 | $5,66 \cdot 10^{- 3}$ |
| 490 | $1,79 \cdot 10^{- 2}$ | 795 | $5,11 \cdot 10^{- 3}$ | 1100 | $5,69 \cdot 10^{- 3}$ |
| 495 | $7,15 \cdot 10^{- 3}$ | 800 | $5,14 \cdot 10^{- 3}$ | | |
| 500 | $4,26 \cdot 10^{- 3}$ | 805 | $5,16 \cdot 10^{- 3}$ | | |
Таблица 4
ЗНАЧЕНИЯ $L(\lambda)$ ДЛЯ КОНТРОЛЬНОГО ИСТОЧНИКА -
**ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ, ТИП I**
| Длина волны, нм | $L(\lambda)$ | Длина волны, нм | $L(\lambda)$ | Длина волны, нм | $L(\lambda)$ |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 10,0 | 0,299 | 17,0 | 0,086 | 24,0 | 0,007 |
| 10,5 | 0,489 | 17,5 | 0,056 | 24,5 | 0,011 |
| 11,0 | 0,161 | 18,0 | 0,038 | 25,0 | 0,014 |
| 11,5 | 0,175 | 18,5 | 0,025 | 25,5 | 0,007 |
| 12,0 | 0,109 | 19,0 | 0,018 | 26,0 | 0,014 |
| 12,5 | 0,095 | 19,5 | 0,015 | 26,5 | 0,012 |
| 13,0 | 0,474 | 20,0 | 0,007 | 27,0 | 0,006 |
| 13,5 | 1,000 | 20,5 | 0,009 | 27,5 | 0,013 |
| 14,0 | 0,832 | 21,0 | 0,008 | 28,0 | 0,015 |
| 14,5 | 0,825 | 21,5 | 0,008 | 28,5 | 0,007 |
| 15,0 | 0,474 | 22,0 | 0,015 | 29,0 | 0,011 |
| 15,5 | 0,336 | 22,5 | 0,009 | 29,5 | 0,014 |
| 16,0 | 0,321 | 23,0 | 0,015 | 30,0 | 0,009 |
| 16,5 | 0,175 | 23,5 | 0,009 | | |
Таблица 5
ЗНАЧЕНИЯ $L(\lambda)$ ДЛЯ КОНТРОЛЬНОГО ИСТОЧНИКА -
**ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ, ТИП II**
| Длина волны, нм | $L(\lambda)$ | Длина волны, нм | $L(\lambda)$ |
| --- | --- | --- | --- |
| 9 | 1,00 | 60 | 0,14 |
| 11 | 1,44 | 80 | 0,074 |
| 13 | 5,62 | 100 | 0,035 |
| 13,5 | 6,40 | 200 | $1,60 \cdot 10^{- 2}$ |
| 14 | 5,84 | 300 | $1,03 \cdot 10^{- 2}$ |
| 15 | 3,80 | 400 | $5,90 \cdot 10^{- 3}$ |
| 16 | 2,61 | 500 | $3,48 \cdot 10^{- 3}$ |
| 18 | 1,32 | 600 | $2,64 \cdot 10^{- 3}$ |
| 20 | 1,02 | 800 | $6,05 \cdot 10^{- 3}$ |
| 30 | 0,87 | 1000 | $2,02 \cdot 10^{- 3}$ |
| 40 | 0,59 | 1100 | $3,23 \cdot 10^{- 4}$ |
| 50 | 0,21 | | |
Таблица 6
ЗНАЧЕНИЯ $L(\lambda)$ ДЛЯ КОНТРОЛЬНОГО ИСТОЧНИКА -
**ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ, ТИП III**
| Длина волны, нм | $L(\lambda)$ | Длина волны, нм | $L(\lambda)$ |
| --- | --- | --- | --- |
| 10,0 | 0,009 | 20,5 | 0,084 |
| 10,5 | 0,009 | 21,0 | 0,079 |
| 11,0 | 0,009 | 21,5 | 0,086 |
| 11,5 | 0,010 | 22,0 | 0,083 |
| 12,0 | 0,013 | 22,5 | 0,082 |
| 12,5 | 0,039 | 23,0 | 0,086 |
| 13,0 | 0,106 | 23,5 | 0,079 |
| 13,5 | 1,000 | 24,0 | 0,085 |
| 14,0 | 0,508 | 24,5 | 0,088 |
| 14,5 | 0,267 | 25,0 | 0,082 |
| 15,0 | 0,164 | 25,5 | 0,087 |
| 15,5 | 0,113 | 26,0 | 0,083 |
| 16,0 | 0,132 | 26,5 | 0,085 |
| 16,5 | 0,109 | 27,0 | 0,084 |
| 17,0 | 0,096 | 27,5 | 0,083 |
| 17,5 | 0,094 | 28,0 | 0,086 |
| 18,0 | 0,092 | 28,5 | 0,084 |
| 18,5 | 0,087 | 29,0 | 0,083 |
| 19,0 | 0,074 | 29,5 | 0,085 |
| 19,5 | 0,081 | 30,0 | 0,083 |
| 20,0 | 0,086 | | |
Таблица 7
ЗНАЧЕНИЯ $L(\lambda)$ ДЛЯ КОНТРОЛЬНОГО ИСТОЧНИКА -
**ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ, ТИП IV**
| Длина волны, нм | $L(\lambda)$ | Длина волны, нм | $L(\lambda)$ |
| --- | --- | --- | --- |
| 8,00 | 0,175 | 12,50 | 0,095 |
| 8,25 | 0,226 | 12,75 | 0,153 |
| 8,50 | 0,263 | 13,00 | 0,474 |
| 8,75 | 0,336 | 13,25 | 0,803 |
| 9,00 | 0,584 | 13,50 | 1,000 |
| 9,25 | 0,504 | 13,75 | 0,978 |
| 9,50 | 0,460 | 14,00 | 0,832 |
| 9,75 | 0,474 | 14,25 | 0,788 |
| 10,00 | 0,299 | 14,50 | 0,825 |
| 10,25 | 0,394 | 14,75 | 0,672 |
| 10,50 | 0,489 | 15,00 | 0,474 |
| 10,75 | 0,292 | 15,25 | 0,394 |
| 11,00 | 0,161 | 15,50 | 0,336 |
| 11,25 | 0,146 | 15,75 | 0,285 |
| 11,50 | 0,175 | 16,00 | 0,321 |
| 11,75 | 0,102 | 16,25 | 0,263 |
| 12,00 | 0,109 | 16,50 | 0,175 |
| 12,25 | 0,073 | | |
8.3.2 Определение погрешности абсолютной чувствительности средств измерений в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм
Определение погрешности абсолютной чувствительности средств измерений в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм проводят с использованием источника синхротронного излучения. Эталонное и поверяемое средство измерений энергетической яркости поочередно устанавливают на одинаковом расстоянии от излучателя и юстируют по углу для получения изображения излучающей области источника. Показания эталонного средства измерений I° и поверяемого средства измерений I регистрируют поочередно пять раз. Значение абсолютной чувствительности поверяемого средства измерений рассчитывают по формуле
**S = S°I / I°, (5)**
где S° - значение абсолютной чувствительности эталонного СИ.
Определяют среднеарифметическое значение абсолютной чувствительности поверяемого СИ, суммарное СКО результата измерений с учетом погрешности эталонного СИ по формулам (1) - (3). Предельная погрешность определения абсолютной чувствительности $\Theta_{2}$ не должна превышать 6%.
8.3.3 Определение погрешности, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности средства измерений от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения
Коэффициент линейности определяют по отклонению значения чувствительности СИ от постоянного значения в рабочем диапазоне измеряемой величины. Фиксируют ток источника синхротронного излучения $I_{1}$ , соответствующий нижней границе диапазона измерений энергетической яркости, указанной в паспорте поверяемого СИ, и составляющий не более $10^{3}\text{Вт}/(\text{м}^{2} \cdot \text{ср})$ , или силы излучения, составляющей не более $10^{- 3}\text{Вт}/\text{ср}$ . Увеличивают ток источника вдвое и регистрируют показания поверяемого СИ $I_{2}$ . Измерения проводят пять раз. Определяют средние значения измеренных сигналов, СКО $S_{0}$ , суммарное СКО результатов измерений, рассчитывают коэффициент линейности
$K = (I_{1} + I_{2})/3I_{1}(6)$
и погрешность поверяемого СИ $\Theta_{3}$ , вызванную нелинейностью чувствительности СИ,
$\Theta_{3} = 100|K - 1|.(7)$
При определении границ диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения поверяемого СИ ток излучателя увеличивают таким образом, чтобы значение энергетической яркости (силы излучения) увеличилось на порядок. Измеряют значения сигналов и рассчитывают соответствующее значение погрешности $\Theta_{3}$ . Измерения повторяют до достижения верхней границы диапазона измерений, указанной в паспорте поверяемого СИ и составляющей не менее $10^{8}\text{Вт}/(\text{м}^{2} \cdot \text{ср})$ для энергетической яркости и $10^{2}\text{Вт}/\text{ср}$ для силы излучения. По результатам измерений определяют границы диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения поверяемого СИ, в пределах которого значение погрешности $\Theta_{3}$ не превышает 3%.
8.3.4 Определение погрешности средства измерений, возникающей из-за неидеальной коррекции угловой зависимости чувствительности
Поверяемое СИ устанавливают на поворотном столике гониометра с использованием в качестве излучателя источника синхротронного излучения. Регистрируют показания $I(\varphi)$ поверяемого СИ в зависимости от угла падения потока излучения $\varphi$ в пределах от 0° до 30° с шагом 1°. Показания СИ $I(\varphi)$ для угла $\varphi$ нормируют на показание СИ $I(\varphi_{0})$ при нормальном угле падения $\varphi_{0}$ потока излучения. Рассчитывают угловую зависимость $f(\varphi)$ отклонения относительной чувствительности СИ от функции $cos\varphi$ по формуле
${}^{f(\varphi) = 100}{_{(0)}^{I(\varphi)/[I\varphi cos\varphi] - 1}}^{.(8)}$
Косинусную погрешность СИ $\Theta_{4}$ рассчитывают по формуле:
$\Theta_{4} = \int_{0^{\circ}}^{30^{\circ}} |f(\varphi)|sin2\varphi d\varphi.(9)$
Значение $\Theta_{4}$ должно быть не более 3%.
При превышении указанного значения косинусной погрешности допускается ограничивать угол зрения СИ.
### 9 Обработка результатов измерений
Обработку результатов измерений характеристик СИ и определение основной относительной погрешности проводят в соответствии с [ГОСТ 8.207](https://bukva.ai/docs/gost-8-207-76).
Относительное СКО $S_{0}$ результатов измерений для n независимых измерений оценивают по формуле (2).
СКО $S_{0}$ определяют по результатам измерений в соответствии с [8.3.3](#p100881) в динамическом диапазоне $10^{3} - 10^{8}\text{Вт}/(\text{м}^{2} \cdot \text{ср})$ для энергетической яркости, в динамическом диапазоне $10^{- 3} - 10^{2}\text{Вт}/\text{ср}$ для силы излучения.
Границу относительной неисключенной систематической погрешности $\Theta_{0}$ определяют по формуле
$\Theta_{0} = 1,1(\sum_{j = 1}^{4} \Theta_{j}^{2})^{1/2},(10)$
$\Theta_{j}$ - составляющие неисключенной систематической погрешности:
$\Theta_{1}$ - погрешность спектральной коррекции ( $\Theta_{1} \leq 6%$ - по [8.3.1](#p100101));
$\Theta_{2}$ - погрешность определения абсолютной чувствительности ( $\Theta_{2} \leq 6%$ - по [8.3.2](#p100876));
$\Theta_{3}$ - погрешность линейности ( $\Theta_{3} \leq 3%$ - по [8.3.3](#p100881));
$\Theta_{4}$ - погрешность угловой коррекции ( $\Theta_{4} \leq 3%$ - по [8.3.4](#p100887)).
Предел допускаемой основной относительной погрешности СИ $\Delta_{0}$ рассчитывают по формуле
$\Delta_{0} = KS_{\Sigma_{0}} = K(\sum_{j = 1}^{4} \Theta_{j}^{2}/3 + S_{0}^{2})^{1/2},(11)$
где:
$S_{\Sigma_{0}}$ - суммарное относительное СКО;
K - коэффициент, определяемый соотношением случайной и неисключенной систематической погрешностей.
При $\Theta_{0}>8S_{0}$ случайной погрешностью по сравнению с систематической пренебрегают и принимают $\Delta_{0} = \Theta_{0}.$
Результаты поверки СИ энергетической яркости и силы излучения считают положительными, если предел допускаемой основной относительной погрешности не превышает 10%.
### 10 Оформление результатов поверки
10.1 При положительных результатах поверки оформляют свидетельство о поверке и СИ допускают к применению.
10.2 При отрицательных результатах поверки свидетельство аннулируют и выдают извещение о непригодности СИ.
## Библиография
[1] CIE N53 Methods of characterizing the performance of radiometers and photometers. - 1982. - 24 р.
---