---
title: "\"ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация молекулярных загрязнений в воздухе\""
number: "ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008"
issuer: "Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии"
status: утратил силу
canonical: "https://bukva.ai/docs/gost-r-iso-14644-8-2008"
---

## "ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация молекулярных загрязнений в воздухе"

# "ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация молекулярных загрязнений в воздухе"

(утв. и введен в действие Приказом Ростехрегулирования от 18.12.2008 N 625-ст)

> [!WARNING]
> Документ утратил силу с 1 декабря 2015 года в связи с изданием Приказа Росстандарта от 24.10.2014 N 1406-ст.
> Взамен введен в действие [ГОСТ Р ИСО 14644-8-2014](https://bukva.ai/docs/gost-r-iso-14644-8-2014).
> Документ утратил силу с 1 декабря 2015 года в связи с изданием Приказа Росстандарта от 24.10.2014 N 1406-ст. Взамен введен в действие [ГОСТ Р ИСО 14644-8-2014](https://bukva.ai/docs/gost-r-iso-14644-8-2014).
> Текст данного документа приведен с учетом [поправки](https://bukva.ai/docs/popravka-popravki-gost-r-iso-14644-8-2008), опубликованной в "ИУС", N 7, 2009.
> Документ [введен](#p100012) в действие с 1 сентября 2009 года.

> [!NOTE]
> ИСТОРИЯ ИЗМЕНЕНИЙ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИХ АКТОВ

```mermaid
flowchart LR
  n0["ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008"]:::rst
  click n0 "https://bukva.ai/docs/gost-r-iso-14644-8-2008" "ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация молекулярных... (утв. и введен"
  n1["ГОСТ Р ИСО 14644-8-2014"]:::doc
  click n1 "https://bukva.ai/docs/gost-r-iso-14644-8-2014" "ГОСТ Р ИСО 14644-8-2014. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация чистоты воздуха по... (утв. и "
  n0 --> n1
classDef rst fill:#FFEBEB,stroke:#8B0000,color:#000;
classDef doc fill:#EBFFEB,stroke:#006400,color:#000;
classDef notEnt fill:#FFFFEB,stroke:#FF8C00,color:#000;
```


<div align="right">

<a id="p100001"></a>Утвержден и введен в действие<br>
Приказом Федерального<br>
агентства по техническому<br>
регулированию и метрологии

</div>

от 18 декабря 2008 г. N 625-ст

<a id="p100002"></a>**НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ**

<a id="p100003"></a>**ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ**

<a id="p100004"></a>**ЧАСТЬ 8**

<a id="p100005"></a>**КЛАССИФИКАЦИЯ МОЛЕКУЛЯРНЫХ ЗАГРЯЗНЕНИЙ В ВОЗДУХЕ**

<a id="p100006"></a>Cleanrooms and associated controlled environments.
Part 8. Classification of airborne molecular contamination

<a id="p100007"></a>**ISO 14644-8:2006**
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8:
Classification of airborne molecular contamination
**(IDT)**

<a id="p100008"></a>**ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008**

<div align="right">

<a id="p100009"></a>Группа Т58

<a id="p100010"></a>ОКС 13.040.35

<a id="p100011"></a>19.020

<a id="p100012"></a>Дата введения<br>
1 сентября 2009 года

</div>


<div align="center">

<a id="p100013"></a>Предисловие

</div>


<a id="p100014"></a>Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения".

<div align="center">

<a id="p100015"></a>Сведения о стандарте

</div>


1. <a id="p100016"></a>Подготовлен Общероссийской общественной организацией "Ассоциация инженеров по контролю микрозагрязнений" (АСИНКОМ) на основе собственного аутентичного перевода стандарта, указанного в [пункте 4](#p100019).
2. <a id="p100017"></a>Внесен Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 "Обеспечение промышленной чистоты".
3. <a id="p100018"></a>Утвержден и введен в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 18 декабря 2008 г. N 625-ст.
4. <a id="p100019"></a>Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-8:2006 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация молекулярных загрязнений в воздухе" (ISO 14644-8:2006 "Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of airborne molecular contamination").
<a id="p100020"></a>При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных международных стандартов соответствующие им национальные стандарты, сведения о которых приведены в дополнительном [Приложении E](#p100367).
5. <a id="p100021"></a>Введен впервые.

<a id="p100022"></a>Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется е ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет.

<div align="center">

<a id="p100023"></a>Введение

</div>


<a id="p100024"></a>Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды предназначены для обеспечения заданного уровня чистоты воздуха по загрязнению частицами. Защита от аэрозольных загрязнений играет важную роль в космической, электронной, фармацевтической, медицинской, пищевой промышленности и в лечебных учреждениях.
<a id="p100025"></a>В ряде случаев отрицательное влияние на продукцию или процесс могут оказать содержащиеся в воздухе молекулярные загрязнения, источником которых могут быть наружный воздух, сам процесс и пр.
<a id="p100026"></a>Данный стандарт рассматривает молекулярные загрязнения в воздухе. В формировании молекулярных загрязнений можно выделить три этапа. Первый этап - это выделение загрязнений внешними источниками, самим процессом, строительными материалами или персоналом. Второй этап - перенос загрязнений. Третий этап - оседание загрязнений на чувствительную поверхность.
<a id="p100027"></a>Молекулярным загрязнениям поверхности может быть дана количественная оценка.
<a id="p100028"></a>На уровень молекулярных загрязнений также оказывают влияние исходные материалы и поверхности, на которые оседают эти загрязнения.
<a id="p100029"></a>Данный стандарт устанавливает классификацию ИСО для молекулярных загрязнений в воздухе чистых помещений и связанных с ними контролируемых средах, в которых этот вид загрязнений может представлять опасность для процесса или продукта.
<a id="p100030"></a>Для целей классификации данный стандарт устанавливает пределы молекулярных загрязнений с учетом их химического состава и методы испытаний с учетом фактора времени.
<a id="p100031"></a>Стандарт содержит справочные приложения, относящиеся к:
- <a id="p100032"></a>характеристике загрязнений [(Приложение A)](#p100137);
- <a id="p100033"></a>описанию типичных загрязнений [(Приложение B)](#p100198);
- <a id="p100034"></a>типовым методам испытаний [(Приложение C)](#p100268);
- <a id="p100035"></a>специальным требованиям, относящимся к изолирующим устройствам [(Приложение D)](#p100354).
<a id="p100036"></a>Настоящий стандарт входит в комплекс стандартов по чистым помещениям и контролю загрязнений. При проектировании чистых помещений, выборе оборудования, эксплуатации и контроле параметров чистых помещений следует учитывать и другие факторы, помимо молекулярных загрязнений.
<a id="p100037"></a>Международный стандарт ИСО 14644-8 подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды".
<a id="p100038"></a>Международный стандарт ИСО 14644 состоит из следующих частей:
- <a id="p100039"></a>Часть 1. Классификация чистоты воздуха;
- <a id="p100040"></a>Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14644-1;
- <a id="p100041"></a>Часть 3. Методы испытаний;
- <a id="p100042"></a>Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию;
- <a id="p100043"></a>Часть 5. Эксплуатация;
- <a id="p100044"></a>Часть 6. Термины;
- <a id="p100045"></a>Часть 7. Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения);
- <a id="p100046"></a>Часть 8. Классификация молекулярных загрязнений в воздухе.

<div align="center">

1. <a id="p100047"></a>Область применения

</div>


<a id="p100048"></a>Настоящий стандарт устанавливает классификацию молекулярных загрязнений в воздухе чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред с учетом их химического состава, методов испытаний и анализа с учетом фактора времени.
<a id="p100049"></a>Стандарт рассматривает молекулярные загрязнения в воздухе в пределах от $10^{0}$ до $10^{- 12}\text{г}/\text{м}^{3}$ .
<a id="p100050"></a>Стандарт не предназначен для применения в случаях, когда аэрозольные молекулярные загрязнения не представляют опасности для продукции или процесса.
<a id="p100051"></a>Стандарт не содержит описания природы молекулярных загрязнений.
<a id="p100052"></a>Стандарт не устанавливает классификацию молекулярных загрязнений поверхностей.

<div align="center">

2. <a id="p100053"></a>Нормативные ссылки

</div>


<a id="p100054"></a>В настоящем стандарте использована нормативная ссылка на следующий стандарт:
<a id="p100055"></a>ИСО 14644-6-2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 6. Термины.

<div align="center">

3. <a id="p100056"></a>Термины и определения

</div>


<a id="p100057"></a>В настоящем стандарте применены термины с соответствующими определениями:

#### <a id="p100058"></a>3.1 Общие термины

<a id="p100059"></a>3.1.1. Молекулярные загрязнения (molecular contamination): молекулярные образования химической природы (не частицы), которые могут оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или оборудование.
<a id="p100060"></a>3.1.2. Молекулярные загрязнения в воздухе (airborne molecular contamination - AMC): молекулярные загрязнения в виде газов или паров, находящиеся в воздухе чистого помещения и контролируемой среды, которые могут оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или оборудование.
<a id="p100061"></a>*Примечание.* Это определение не распространяется на макромолекулярные образования биологической природы, которые рассматриваются как частицы.

<a id="p100062"></a>3.1.3. Молекулярные загрязнения поверхностей (surface molecular contamination - SMC): молекулярные загрязнения, осевшие на поверхности, которые могут оказать отрицательное влияние на продукт или поверхность в чистом помещении и контролируемой среде.
<a id="p100063"></a>3.1.4. Вид загрязнения (contaminant category): общее наименование веществ, которые оказывают специфическое или отрицательное воздействие при их оседании на поверхность.

##### <a id="p100064"></a>3.1.5 Выделение (outgassing): выделение материалом газов или паров.


#### <a id="p100065"></a>3.2 Виды загрязнений

<a id="p100066"></a>3.2.1. Кислота (acid): вещество, которое при химической реакции образует новое соединение, выступая акцептором электронных пар.
<a id="p100067"></a>3.2.2. Основание (base): вещество, которое при химической реакции образует новое соединение, выступая донором электронных пар.
<a id="p100068"></a>3.2.3. Биотоксин (biotoxic): загрязняющее вещество, которое оказывает неблагоприятное воздействие на развитие и жизнедеятельность организмов, микроорганизмов, тканей или обособленных клеток.
<a id="p100069"></a>3.2.4. Конденсирующееся загрязнение (condensable): вещество, которое может оседать на поверхности в чистом помещении в эксплуатируемом состоянии путем образования конденсата.
<a id="p100070"></a>3.2.5. Коррозионно-опасное загрязнение (corrosive): вещество, оказывающее разрушающее химическое воздействие на поверхность.
<a id="p100071"></a>3.2.6. Примесь (dopant): вещество, которое после осаждения и/или диффузии проникает в материал продукта и способно изменить свойства материала, даже если оно присутствует в виде следов (в малых количествах).
<a id="p100072"></a>3.2.7. Органическое загрязнение (organic): углеводород с наличием или отсутствием кислорода, азота или других элементов.
<a id="p100073"></a>3.2.8. Окислитель (oxidant): вещество $(O_{2}/O_{3})$ , которое после осаждения на поверхность или продукт приводит к образованию оксидов или участвует в реакции окисления.

<div align="center">

4. <a id="p100074"></a>Классификация

</div>



#### <a id="p100075"></a>4.1 Общие положения

<a id="p100076"></a>Для целей классификации молекулярных загрязнений используется обозначение по 4.2. Данное обозначение включает в себя буквы "ИСО-AMC" и задает предельно допустимую концентрацию молекулярных загрязнений в воздухе для данного вида загрязнений, отдельного вещества или группы веществ.

#### <a id="p100077"></a>4.2 Обозначение при классификации молекулярных загрязнений (ИСО-AMC)

<a id="p100078"></a>Классификация молекулярных загрязнений в воздухе чистого помещения или связанной с ним контролируемой среде дается для определенного вида загрязнений (отдельного вещества или группы веществ).
<a id="p100079"></a>Обозначение дается в следующей форме:

<div align="center">

<a id="p100080"></a>Класс ИСО-AMC N (X),

</div>


<a id="p100081"></a>где N - класс ИСО-AMC, представляющий собой десятичный логарифм концентрации вещества $c_{X}$ в граммах на 1 м3 и находящийся в пределах от 0 до -12. Промежуточные классы могут быть заданы с шагом 0,1 $(N = log_{10}[c_{X}])$ ;
<a id="p100082"></a>X - вид загрязнения, к которому относятся, например:
- <a id="p100083"></a>кислоты (ac);
- <a id="p100084"></a>основания (ba);
- <a id="p100085"></a>биотоксины (bt);
- <a id="p100086"></a>конденсирующиеся загрязнения (cd);
- <a id="p100087"></a>коррозионно-опасные загрязнения (cr);
- <a id="p100088"></a>примеси (dp);
- <a id="p100089"></a>органические загрязнения (or);
- <a id="p100090"></a>оксиды (ox);
- <a id="p100091"></a>загрязнение несколькими веществами или отдельным веществом.
<a id="p100092"></a>Данный перечень не является исчерпывающим.
<a id="p100093"></a>Примеры
1. <a id="p100094"></a>Для загрязнения аммиаком при его концентрации $10^{- 6}\text{г}/\text{м}^{3}$ используется обозначение $"\text{Класс ИСО} - \text{АМС} - 6(NH_{3})"$ .
2. <a id="p100095"></a>Для общего органического загрязнения при его концентрации $10^{- 4}\text{г}/\text{м}^{3}$ используется обозначение "Класс ИСО-AMC-4 (or)".
3. <a id="p100096"></a>Для общего количества конденсирующихся загрязнений при их концентрации $5 \cdot 10^{- 8}\text{г}/\text{м}^{3}$ используется обозначение "Класс ИСО-AMC-7,3 (cd)".
<a id="p100097"></a>Классы ИСО-AMC в зависимости от концентрации загрязнений приведены в таблице 1 и на [рисунке 1](#p100117).

<div align="right">

<a id="p100098"></a>Таблица 1

</div>


<div align="center">

<a id="p100099"></a>Классификация молекулярных загрязнений

</div>



<table>
<colgroup><col width="20%"><col width="23%"><col width="28%"><col width="28%"></colgroup>
<tr><td>Обозначение класса</td><td colspan="3">Концентрация загрязнений</td></tr>
<tr><td>молекулярного загрязнения</td><td>г/м3</td><td>мкг/м3</td><td>нг/м3</td></tr>
<tr><td>0</td><td>0 10</td><td>6 10 (1000000)</td><td>9 10 (1000000000)</td></tr>
<tr><td>-1</td><td>-1 10</td><td>5 10 (100000)</td><td>8 10 (100000000)</td></tr>
<tr><td>-2</td><td>-2 10</td><td>4 10 (10000)</td><td>7 10 (10000000)</td></tr>
<tr><td>-3</td><td>-3 10</td><td>3 10 (1000)</td><td>6 10 (1000000)</td></tr>
<tr><td>-4</td><td>-4 10</td><td>2 10 (100)</td><td>5 10 (100000)</td></tr>
<tr><td>-5</td><td>-5 10</td><td>1 10 (10)</td><td>4 10 (10000)</td></tr>
<tr><td>-6</td><td>-6 10</td><td>0 10 (1)</td><td>3 10 (1000)</td></tr>
<tr><td>-7</td><td>-7 10</td><td>-1 10 (0,1)</td><td>2 10 (100)</td></tr>
<tr><td>-8</td><td>-8 10</td><td>-2 10 (0,01)</td><td>1 10 (10)</td></tr>
<tr><td>-9</td><td>-9 10</td><td>-3 10 (0,001)</td><td>0 10 (1)</td></tr>
<tr><td>-10</td><td>-10 10</td><td>-4 10 (0,0001)</td><td>-1 10 (0,1)</td></tr>
<tr><td>-11</td><td>-11 10</td><td>-5 10 (0,00001)</td><td>-2 10 (0,01)</td></tr>
<tr><td>-12</td><td>-12 10</td><td>-6 10 (0,000001)</td><td>-3 10 (0,001)</td></tr>
</table>


<a id="p100115"></a> ![рис. 1](https://i.bukva.ai/LS3EZDxI/img_0.png) 

<div align="center">

<a id="p100116"></a>X1 - концентрация (нг/м3), X2 - концентрация (г/м3),<br>
Y - класс ИСО-AMC

<a id="p100117"></a>Рисунок 1. Классы ИСО-AMC в зависимости

</div>

от концентрации загрязнений

5. <a id="p100118"></a>Подтверждение соответствия


#### <a id="p100119"></a>5.1 Общие положения

<a id="p100120"></a>Соответствие заданному классу ИСО-AMC выполняется по методике испытаний, согласованной заказчиком и исполнителем с оформлением протокола испытаний, в котором указываются условия их проведения.

#### <a id="p100121"></a>5.2 Испытания

<a id="p100122"></a>Примеры методов испытаний приведены в [Приложении C](#p100268). Данные примеры не являются исчерпывающими. По соглашению между заказчиком и исполнителем могут быть использованы другие методы испытаний, имеющие сопоставимую точность.
<a id="p100123"></a>*Примечание* 1. Испытания, выполненные по разным методикам, могут дать различные результаты.

<a id="p100124"></a>Испытания, проводимые с целью подтверждения соответствия, должны выполняться по предназначенным для этого методикам с помощью калиброванного (поверенного) оборудования. Точки отбора проб определяются по соглашению между заказчиком и исполнителем. Рекомендуется проводить повторные отборы проб.
<a id="p100125"></a>*Примечание* 2. При измерениях не всегда удается исключить влияние загрязнений частицами.

<a id="p100126"></a>Время проведения испытаний должно быть согласовано между заказчиком и исполнителем.

#### <a id="p100127"></a>5.3 Протокол испытаний

<a id="p100128"></a>Результаты испытаний для каждого помещения или контролируемой среды должны оформляться в виде протокола (отчета), в котором дается заключение о соответствии или несоответствии помещения заданному классу ИСО-AMC.
<a id="p100129"></a>В протокол испытаний следует включать:
<a id="p100130"></a>a) фамилию и инициалы лица, проводившего испытания, наименование и адрес организации, проводившей испытания, дату испытаний, время и продолжительность отбора проб;
<a id="p100131"></a>b) номер настоящего стандарта и год его публикации, например, ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008;
<a id="p100132"></a>c) место расположения испытуемого чистого помещения или контролируемой среды, включая данные о прилегающих зонах (если необходимо) и данные о местах расположения всех точек отбора проб;
<a id="p100133"></a>d) заданные показатели для чистого помещения или контролируемой среды, включая их состояние, класс ИСО-AMC, наименование методики испытаний и, где требуется, данные о веществах, группах веществ, видах загрязнений, времени проведения испытаний и класса чистого помещения (по частицам);
<a id="p100134"></a>e) подробную методику испытаний, условия проведения испытаний, данные об используемых приборах и их калибровке (поверке);
<a id="p100135"></a>f) результаты испытаний, включая данные о концентрациях молекулярных загрязнений для всех точек отбора проб.





<div align="right">

<a id="p100136"></a>Приложение A

</div>

(справочное)

<a id="p100137"></a>**ДАННЫЕ О ЗАГРЯЗНЕНИЯХ**

<a id="p100138"></a>A.1. Общие положения
<a id="p100139"></a>В настоящем Приложении представлено руководство по формулированию данных о молекулярных загрязнениях в воздухе чистых помещений или контролируемых сред. Эти данные следует определять на ранних стадиях проектирования и задания требований к величине загрязнений с учетом специфики работы помещения.
<a id="p100140"></a>A.2. Рекомендации по определению данных о загрязнениях
<a id="p100141"></a>При определении данных, влияющих на молекулярные загрязнения в воздухе, следует:
<a id="p100142"></a>a) установить, оказывают ли молекулярные загрязнения влияние на продукцию или процесс (во многих областях молекулярные загрязнения не играют значимой роли);
<a id="p100143"></a>b) установить виды загрязнений, влияющих на продукцию или процесс, а также определить вещества или группы веществ, требующие особого внимания;
<a id="p100144"></a>c) установить предельно допустимые концентрации загрязнений для продукции или процесса и задать класс ИСО-AMC по [4.2](#p100077);
<a id="p100145"></a>d) установить источники молекулярных загрязнений и их уровни, включая:
- <a id="p100146"></a>наружный воздух, подаваемый в чистое помещение;
- <a id="p100147"></a>материалы чистого помещения, особенно те, которые соприкасаются с потоками рециркуляционного воздуха или воздуха, подаваемого системой вентиляции и кондиционирования;
- <a id="p100148"></a>возможные перекрестные загрязнения внутри помещения;
- <a id="p100149"></a>порядок эксплуатации и технического обслуживания помещения;
- <a id="p100150"></a>персонал, одежду для чистых помещений и вспомогательные материалы;
- <a id="p100151"></a>технологические среды и оборудование;
<a id="p100152"></a>e) задать требования к проекту с целью предотвращения или уменьшения молекулярных загрязнений (см. [A.2, перечисление d](#p100145)) для обеспечения необходимого класса ИСО-AMC.
<a id="p100153"></a>A.3. Наружный воздух
<a id="p100154"></a>A.3.1. В случаях, когда наружный воздух подается в помещение, в котором продукция или процесс находится в открытом виде, следует учитывать качество наружного воздуха и его сезонные колебания с учетом их воздействия на концентрацию загрязнений, влияющих на продукцию или процесс. Следует также учитывать влияние материалов, из которых изготовлено оборудование систем отопления, вентиляции и кондиционирования.
<a id="p100155"></a>A.3.2. Анализ наружного воздуха следует проводить в течение периода времени, достаточного для того, чтобы учесть возможные изменения. Следует также учесть любую планируемую в будущем деятельность, которая может повлиять на качество наружного воздуха.
<a id="p100156"></a>A.3.3. В отдельных случаях, при наличии преобладающего направления ветра, можно снизить влияние источников загрязнений за счет выбора мест забора воздуха.
<a id="p100157"></a>A.4. Материалы строительных конструкций
<a id="p100158"></a>A.4.1. Материалы строительных конструкций помещения могут выделять молекулярные загрязнения. Примеры строительных материалов, которые рекомендуется использовать для чистых помещений, представлены в [[1]](#p100376).
<a id="p100159"></a>A.4.2. На выделение загрязнений может оказывать влияние температура, относительная влажность и давление воздуха в помещении. Это влияние следует учесть при проектировании помещения.
<a id="p100160"></a>A.4.3. Выделения от строительных конструкций могут во многих случаях снижаться экспоненциально и асимптотически с течением времени.
<a id="p100161"></a>A.4.4. В помещениях, защищаемых от молекулярных загрязнений в воздухе, следует оценивать химический состав всех материалов строительных конструкций с учетом назначения помещения. Результаты этого анализа могут быть сведены в таблицу.
<a id="p100162"></a>A.5. Перекрестные загрязнения
<a id="p100163"></a>A.5.1. Молекулярные загрязнения могут распространяться при перемещениях между помещениями и зонами (процессами), а также за счет перепадов давления.
<a id="p100164"></a>A.5.2. Степень влияния загрязнений следует учитывать на этапе разработки концепции проекта.
<a id="p100165"></a>A.5.3. В некоторых случаях можно избежать или уменьшить перекрестные загрязнения за счет применения изолирующей (барьерной) технологии, защищающей продукцию или процесс.
<a id="p100166"></a>Примеры таких решений представлены в [[1]](#p100376) и [[3]](#p100378).
<a id="p100167"></a>A.6. Эксплуатация и техническое обслуживание
<a id="p100168"></a>Молекулярные загрязнения, вызываемые процессами эксплуатации и технического обслуживания, могут быть предотвращены или уменьшены за счет организационных мер (см. [[2]](#p100377)). К таким мерам относятся:
- <a id="p100169"></a>применение при работе масок для лица или вентилируемых (снабженных фильтрами) шлемов;
- <a id="p100170"></a>химический анализ одежды и упаковочных материалов;
- <a id="p100171"></a>химический анализ моющих жидкостей и других материалов для уборки;
- <a id="p100172"></a>химический анализ упаковочных материалов;
- <a id="p100173"></a>порядок работы, сводящий к минимуму выделение молекулярных загрязнений от переносного оборудования или материалов для временного пользования;
- <a id="p100174"></a>использование временных изолирующих барьеров на период технического обслуживания или ремонта оборудования;
- <a id="p100175"></a>методы работы, сводящие к минимуму молекулярные загрязнения.
<a id="p100176"></a>A.7. Персонал
<a id="p100177"></a>Молекулярные загрязнения от персонала могут быть предупреждены или уменьшены за счет ограничения (запрещения):
- <a id="p100178"></a>использования косметики, духов и средств ухода за волосами;
- <a id="p100179"></a>курения;
- <a id="p100180"></a>использования лекарственных средств;
- <a id="p100181"></a>употребления отдельных продуктов питания;
<a id="p100182"></a>и контроля за:
- <a id="p100183"></a>порядком входа и выхода;
- <a id="p100184"></a>использованием моющих и дезинфицирующих материалов.
<a id="p100185"></a>Данный перечень не является исчерпывающим.
<a id="p100186"></a>Примечание. Степень контроля зависит от защищаемого процесса. Меры защиты указаны в [[2]](#p100377).

<a id="p100187"></a>A.8. Другие источники
<a id="p100188"></a>К другим источникам загрязнений относятся:
- <a id="p100189"></a>расходные материалы;
- <a id="p100190"></a>оборудование;
- <a id="p100191"></a>химические вещества.
<a id="p100192"></a>A.9. Подготовка воздуха с целью уменьшения молекулярных загрязнений
<a id="p100193"></a>Для контроля или уменьшения отдельных видов молекулярных загрязнений можно использовать процессы:
- <a id="p100194"></a>сорбции определенными материалами (активированный уголь, обработанный активированный уголь, ионообменная смола, цеолиты и пр.);
- <a id="p100195"></a>фотоэлектронной ионизации и электростатического удаления ионов;
- <a id="p100196"></a>каталитического фотоокисления.





<div align="right">

<a id="p100197"></a>Приложение B

</div>

(справочное)

<a id="p100198"></a>**ТИПОВЫЕ ЗАГРЯЗНЕНИЯ**

<a id="p100199"></a>B.1. Общие положения
<a id="p100200"></a>Молекулярные загрязнения в воздухе имеют сложную природу. Многие соединения имеют разнообразные химические свойства, и для их описания следует учитывать влияние вызываемой ими химической реакции на продукцию, производимую в чистом помещении. В таблице B.1 приведены типовые примеры химических загрязнений, которые могут влиять на продукцию или процесс. Пользователям следует определить загрязняющие вещества, специфичные для конкретного случая.

<a id="p100201"></a>Таблица B.1

<a id="p100202"></a>Типовые примеры химических загрязнений


<table>
<colgroup><col width="11%"><col width="33%"><col width="27%"><col width="3%"><col width="3%"><col width="3%"><col width="3%"><col width="2%"><col width="2%"><col width="2%"><col width="3%"><col width="3%"><col width="3%"></colgroup>
<tr><td rowspan="3">CAS N</td><td rowspan="3">Вещество</td><td rowspan="3">Химическая формула</td><td colspan="10">Вид загрязнения &lt;а&gt;</td></tr>
<tr><td rowspan="2">ac</td><td rowspan="2">ba</td><td rowspan="2">or</td><td rowspan="2">bt</td><td colspan="3">cd</td><td rowspan="2">cr</td><td rowspan="2">dp</td><td rowspan="2">ox</td></tr>
<tr><td>H</td><td>M</td><td>L</td></tr>
<tr><td>7664-41-7</td><td>Аммиак</td><td>NH 3</td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>141-43-5</td><td>2-Аминоэтанол</td><td>CH NH CHOH 3 2</td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>35320-23-1</td><td>2-Аминопропанол</td><td>CH NH C H OH 3 2 2 4</td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>128-37-0</td><td>БГТ: 2,6-Дитретбутил-п-крезол</td><td>H CC H (t-C H ) OH 3 6 3 4 9 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>85-68-7</td><td>Бутилбензилфталат</td><td>H C OCOC H COOCH C H 9 4 6 4 2 6 5</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>7637-07-2</td><td>Бром трифторид</td><td>BF 3</td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td></tr>
<tr><td>1303-86-2</td><td>Бром оксид</td><td>B O 2 3</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td></tr>
<tr><td>108-91-8 -</td><td>Циклогексиламин Циклополидиметилсилоксаны</td><td>C H NH 6 11 2 (-Si(CH ) O-) 3 2 n</td><td></td><td>+</td><td>+ +</td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>106-46-7</td><td>п-Дихлорбензол</td><td>ClC H Cl 6 4</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>100-37-8</td><td>2-Диэтиламиноэтанол</td><td>(C H ) NC H OH 2 5 2 2 4</td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>117-84-0</td><td>Диоктилфталат</td><td>C H (C=OOC H ) 6 4 8 15 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>84-66-2</td><td>Диэтилфталат</td><td>C H (C=OOC H ) 6 4 2 5 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>84-74-2</td><td>Дибутилфталат</td><td>C H (C=OOC H ) 6 4 4 9 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>117-81-7</td><td>Ди-(2-этилгексил)-фталат</td><td>C H (C=OOCH CHC H C H ) 6 4 2 2 5 4 9 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>84-61-7</td><td>Дициклогексилфталат</td><td>C H (C=OOC H ) 6 4 6 11 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>103-23-1</td><td>Ди-(2-этилгексил)-адипат</td><td>C H (C=OOCH CHC H C H ) 4 8 2 2 5 4 9 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>84-76-4</td><td>Динонилфталат</td><td>C H (C=OOC H ) 6 4 9 19 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>84-77-5</td><td>Дидецилфталат</td><td>C H (C=OOC H ) 6 4 10 21 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>541-02-6</td><td>Декаметилциклопентасилоксан</td><td>(-Si(CH ) O-) 3 2 5</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>540-97-6</td><td>Додекаметилциклогексасилоксан</td><td>(-Si(CH ) O-) 3 2 6</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>141-43-5</td><td>Этаноламин</td><td>H NCH CH OH 2 2 2</td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>104-76-7</td><td>2-Этилгексанол</td><td>CH (CH ) C H CHCH OH 3 2 3 2 5 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>50-00-0</td><td>Формальдегид</td><td>HCHO</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>142-82-5</td><td>Гептан</td><td>C H 7 16</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>66-25-1</td><td>Гексанал</td><td>HC H O 6 12</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>7647-01-0</td><td>Соляная кислота</td><td>HCl</td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>766-39-3</td><td>Фтороводородная кислота</td><td>HF</td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>10035-10-6</td><td>Бромоводородная кислота</td><td>HBr</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>7783-06-4</td><td>Сероводород</td><td>H S 2</td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>999-97-3</td><td>1,1,1,3,3,3-Гексаметилдисилазан</td><td>(CH ) SiNHSi(CH ) 3 3 3 3</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>541-05-9</td><td>Гексаметилциклотрисилоксан</td><td>(-Si(CH ) O-) 3 2 3</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>67-63-0</td><td>Изопропиловый спирт</td><td>(CH ) CHOH 3 2</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>141-43-5</td><td>Моноэтаноламин</td><td>H NC H OH 2 2 4</td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>10102-43-9</td><td>Азот оксид</td><td>NO</td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>10102-44-0</td><td>Азот диоксид</td><td>NO 2</td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>872-50-4</td><td>N-Метилпирролидон</td><td>-CHNCH CHCH CO- 3 2</td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>644-31-5</td><td>Озон</td><td>O 3</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td></tr>
<tr><td>556-67-2</td><td>Октаметилциклотетрасилоксан</td><td>(-Si(CH ) O-) 3 2 4</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>7803-51-2</td><td>Фосфин</td><td>PH 3</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td></tr>
<tr><td>7446-09-5</td><td>Сера диоксид</td><td>SO 2</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>121-44-8</td><td>Триэтиламин</td><td>(C H ) N 2 5 3</td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>45-40-0</td><td>Триэтилфосфат</td><td>(C H O) P=O 2 5 3</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td></tr>
<tr><td>6145-73-9</td><td>Трис-(2-хлоро-1-пропил)-фосфат</td><td>(CH ClCHCH O) P=O 3 2 3</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>13674-73-9</td><td>Трис-(1-хлоро-2-пропил)-фосфат</td><td>((CH )(ClCH )CH-O-) P=O 3 2 3</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>78-30-8</td><td>Три-о-крезилфосфат</td><td>(CH C H O) P=O 3 6 4 3</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td></tr>
<tr><td>126-73-8</td><td>Три-(n-бутил)-фосфат</td><td>(C H O) P=O 4 9 3</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td></tr>
<tr><td>306-52-5</td><td>Трихлорэтилфосфат</td><td>(ClC H O) P=O 2 4 3</td><td></td><td></td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td>+</td><td></td></tr>
<tr><td>75-59-2</td><td>Тетраметиламмоний гидроксид</td><td>(CH ) N OH 3 4</td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td>95-47-6</td><td>о-Ксилол</td><td>(CH ) C H 3 2 6 4</td><td></td><td></td><td>+</td><td>+</td><td></td><td>+</td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr>
<tr><td></td><td>Фталаты Фосфаты Циклосилоксаны Производные углеводородов Производные углеводородов (кроме метана) Производные ненасыщенных углеводородов</td><td>R OCOC H COOR 1 6 4 2 (RO) P=O 3 (-Si(CH ) O-) 3 2 n C H O X (где X - любой m n p y другой элемент) C H O X , кроме CH m n p y 4 (где X - любой другой элемент) C H O X (где X - любой m n p y другой элемент, n &lt;= 2m и C=O)</td><td></td><td></td><td>+ + + + + +</td><td></td><td>+ + + + + +</td><td>+ + +</td><td>+ + +</td><td></td><td>+</td><td></td></tr>
<tr><td colspan="13">&lt;а&gt; ac: кислота; ba: основание; or: органическое загрязнение; bt: биотоксин; cd: конденсирующееся загрязнение; cr: коррозионно-опасное загрязнение; dp: примесь; ox: окислитель.</td></tr>
<tr><td colspan="13">H: Высокая степень конденсации, температура кипения Т &gt; 200 °C; b M: Средняя степень конденсации, температура кипения</td></tr>
<tr><td colspan="13">100 °C &lt;= Т &lt;= 200 °C; b L: Слабая степень конденсации, температура кипения Т &lt; 100 °C. b</td></tr>
</table>


<a id="p100266"></a>[Таблица B.1](#p100202) дает только общее представление и не является исчерпывающей.





<div align="right">

<a id="p100267"></a>Приложение C

</div>

(справочное)

<a id="p100268"></a>**ТИПОВЫЕ МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ**

<a id="p100269"></a>C.1. Общие положения
<a id="p100270"></a>C.1.1. Настоящее Приложение содержит руководство по методам испытаний и анализа молекулярных загрязнений с учетом их ожидаемых концентраций.
<a id="p100271"></a>C.1.2. Перечень приборов для проведения испытаний, приведенный в таблице C.1, не является исчерпывающим и содержит примеры, отражающие современное состояние техники.

<a id="p100272"></a>Таблица C.1

<div align="center">

<a id="p100273"></a>Примеры методов анализа в зависимости

</div>

от предполагаемых концентраций AMC


<table>
<colgroup><col width="10%"><col width="11%"><col width="13%"><col width="13%"><col width="13%"><col width="15%"><col width="16%"><col width="10%"></colgroup>
<tr><td>Класс ИСО-AMC</td><td colspan="7">Виды загрязнений</td></tr>
<tr><td>n 10 , г/м3</td><td>Кислота</td><td>Основание</td><td>Органическое загрязнение</td><td>Биотоксин</td><td>Конденсирующееся загрязнение</td><td>Коррозионноопасное загрязнение</td><td>Примесь</td></tr>
<tr><td>0</td><td>IMP, IC, UVS,</td><td>IMP, IC, UVS,</td><td>DIFF, SOR, SB,</td><td>IMP, IC, UVS, SB,</td><td>SOR, GC-FID,</td><td>IMP, IC, UVS, DIFF,</td><td>SOR, GC-FID,</td></tr>
<tr><td>-1</td><td rowspan="3">DIFF, ECS</td><td rowspan="3">DIFF, ECS</td><td rowspan="5">GC-FID, GC-MS, IR</td><td>DIFF, SOR,</td><td rowspan="5">GC-MS, IR</td><td>SOR, GC-FID, GC-MS, IR,</td><td>GC-MS, IR,</td></tr>
<tr><td>-2</td><td>GC-FID, GC-MS,</td><td rowspan="2">ECS</td><td>IMP, IC,</td></tr>
<tr><td>-3</td><td>IR, CPR, ECS</td><td rowspan="3">ICP-MS, GF-AAS, UVS</td></tr>
<tr><td>-4</td><td>IMP, IC, UVS, CLS, IR,</td><td>IMP, IC, UVS, CLS, IR, CPR,</td><td>IMP, IC, UVS, CLS, IR, CPR,</td><td>IMP, IC, UVS, CLS, IR, CPR,</td></tr>
<tr><td>-5</td><td>CPR, DIFF</td><td>DIFF</td><td>DIFF</td><td>DIFF</td></tr>
<tr><td>-6</td><td>IMP, IC, UVS, IR,</td><td>IMP, IC, UVS, IR,</td><td>SOR, GC-FID,</td><td>IMP, IC, UVS, IR,</td><td>SOR, GC-FID,</td><td>IMP, IC, UVS, IR,</td><td>IMP, IC,</td></tr>
<tr><td>-7</td><td>CLS, CPR, DIFF</td><td>CLS, CPR, DIFF</td><td rowspan="2">GC-MS, IMS</td><td>CLS, CPR, DIFF, SOR, GC-MS, ICP-MS</td><td rowspan="2">GC-MS, MGD</td><td>CLS, CPR, DIFF, SOR, GC-FID, GC-MS</td><td rowspan="6">SOR, GC-MS, ICP-MS</td></tr>
<tr><td>-8</td><td>IMP, IC</td><td rowspan="2">IMP, IC, IMS</td><td>IMP, IC, SOR, GC-MS, ICP-MS</td><td>IMP, IC, SOR, GC-MS</td></tr>
<tr><td>-9</td><td>IMP, IC, CZE, IMS</td><td rowspan="4">SOR, GC-MS</td><td>IMP, IC, CZE, IMS, SOR, GC-MS, ICP-MS</td><td rowspan="4">SOR, GC-MS</td><td>IMP, IC, CZE, IMS, SOR, GC-MS</td></tr>
<tr><td>-10</td><td rowspan="3">IMP, CZE</td><td rowspan="3">IMP, IC, CZE</td><td>IMP, CZE, SOR,</td><td>IMP, CZE, SOR,</td></tr>
<tr><td>-11</td><td rowspan="2">GC-MS, ICP-MS</td><td rowspan="2">GC-MS</td></tr>
<tr><td>-12</td></tr>
<tr><td colspan="8">Примечание. Методы анализа, соответствующие сокращенным обозначениям, приведены в <a href="#p100306">C.3</a> и C.4.</td></tr>
</table>


<a id="p100290"></a>*Примечание.* Выбор метода контроля для данной концентрации загрязнений зависит от скорости отбора проб и его продолжительности.

<a id="p100291"></a>C.2. Принципы построения методов испытаний
<a id="p100292"></a>C.2.1. Методы могут быть разделены на две группы:
- <a id="p100293"></a>методы прямого анализа;
- <a id="p100294"></a>методы, в которых точки отбора проб отделены от анализа и даже находятся на расстоянии от места проведения анализа.
<a id="p100295"></a>C.2.2. Прямой анализ позволяет быстро получить результаты испытаний. Устройства для отбора проб могут показывать значения, относящиеся ко всему периоду испытаний.
<a id="p100296"></a>C.2.3. Устройства для отбора проб могут быть пассивными и активными (имеющими насос).
<a id="p100297"></a>C.2.4. Пассивные диффузионные устройства для отбора проб (DIFF) содержат специально подготовленную поверхность, которая избирательно удерживает молекулы одного или более видов газов. Данный метод требует длительного времени отбора проб в случае низких концентраций молекулярных загрязнений в воздухе.
<a id="p100298"></a>C.2.5. В активных устройствах для отбора проб предусматривают принудительную подачу определенного объема пробы через адсорбирующую среду. Данный метод позволяет оценивать уровень молекулярных загрязнений при их низкой концентрации в течение сокращенного периода времени. Устройства для активного отбора проб могут быть сложными, требующими соблюдения правил работы с ними.
<a id="p100299"></a>C.2.6. Типовыми методами отбора проб могут быть:
- <a id="p100300"></a>сорбционные трубки (SOR), в состав которых входит стальная или стеклянная трубка с требуемым адсорбентом, например, тенакс, [<1>](#p100305) активированный древесный уголь, силикагель и пр.;
- <a id="p100301"></a>удерживающие фильтры с покрытием (FC), химический состав которого имеет специальные адсорбирующие свойства для данного вида загрязнений;
- <a id="p100302"></a>импинджер (IMP), содержащий один или несколько последовательно расположенных и обтекаемых газом сосудов, которые наполнены деионизованной водой или соответствующим реагентом;
- <a id="p100303"></a>пакет для отбора проб (SB), применяемый при высоких уровнях молекулярных загрязнений, в который непосредственно проводится отбор проб от проверяемого оборудования (данный метод не требует, как правило, адсорбирующей среды).

<a id="p100304"></a>

---

<a id="p100305"></a><1> Тенакс является примером адсорбента, имеющегося на рынке. Данная информация носит лишь справочный характер и не служит целям рекламы данного вещества.

<a id="p100306"></a>C.3. Выбор устройств для отбора проб и методов анализа
<a id="p100307"></a>C.3.1. Типовые средства отбора проб
<a id="p100308"></a>К типовым средствам отбора проб относятся:
- <a id="p100309"></a>пассивные диффузионные устройства для отбора проб (DIFF);
- <a id="p100310"></a>удерживающие фильтры с покрытием (FC);
- <a id="p100311"></a>импинджеры (IMP);
- <a id="p100312"></a>пакеты для отбора проб (SB);
- <a id="p100313"></a>сорбционные трубки (SOR);
- <a id="p100314"></a>контрольные пластины (чашки), используемые для отбора проб (WW);
- <a id="p100315"></a>устройства экстракции со сканированием капель (DSE);
- <a id="p100316"></a>диффузионные трубки (DT).
<a id="p100317"></a>Данный перечень не является исчерпывающим.
<a id="p100318"></a>C.3.2. Типовые методы анализа
<a id="p100319"></a>C.3.2.1. Методы анализа, проводимого вне оборудования (offline)
<a id="p100320"></a>К типовым методам анализа относятся:
- <a id="p100321"></a>атомная абсорбционная спектроскопия (AA-S);
- <a id="p100322"></a>атомная абсорбционная спектроскопия с графитовой печью (AA-GF);
- <a id="p100323"></a>атомная эмиссионная спектроскопия (AES);
- <a id="p100324"></a>хемолюминесценция (CL);
- <a id="p100325"></a>капиллярный зональный электрофорез (CZE);
- <a id="p100326"></a>газовая хроматография с детектором ионизации в пламени (GC-FID);
- <a id="p100327"></a>газовая хромато-масс-спектроскопия (GC-MS);
- <a id="p100328"></a>ионная хроматография (IC);
- <a id="p100329"></a>индуктивная связанная плазма с масс-спектроскопией (ICP-MS);
- <a id="p100330"></a>инфракрасная спектроскопия (IR);
- <a id="p100331"></a>масс-спектроскопия (MS);
- <a id="p100332"></a>ультрафиолетовая спектроскопия (UVS);
- <a id="p100333"></a>инфракрасная спектроскопия с преобразованием Фурье (FTIR);
- <a id="p100334"></a>общая спектроскопия флюоресценции отраженных рентгеновских лучей (TXRF);
- <a id="p100335"></a>декомпозиция паров с общей спектроскопией флюоресценции отраженных рентгеновских лучей (VPD-TXRF);
- <a id="p100336"></a>масс-спектроскопия времени пролета вторичных ионов (TOF-SIMS);
- <a id="p100337"></a>масс-спектроскопия с ионизацией при атмосферном давлении (API-MS).
<a id="p100338"></a>Данный перечень не является исчерпывающим.
<a id="p100339"></a>C.3.2.2. Методы анализа, проводимого непосредственно в оборудовании (online)
<a id="p100340"></a>К типовым методам анализа относятся:
- <a id="p100341"></a>колориметрическое детектирование анализатором рулонного типа с помощью бумаги, пропитанной химическим составом (CPR);
- <a id="p100342"></a>спектроскопия подвижности ионов (IMS);
- <a id="p100343"></a>детектирование с усилением массы (конденсируемых органических веществ) с использованием различных типов пьезоэлектрических резонаторов (MGD);
- <a id="p100344"></a>портативные газовые хроматографы (PGC);
- <a id="p100345"></a>электрохимические сенсоры (ECS);
- <a id="p100346"></a>системы мониторинга на основе ионной хроматографии (ICS);
- <a id="p100347"></a>системы мониторинга на основе хемолюминесценции (CLS);
- <a id="p100348"></a>мониторинг ионов фтора (FIM);
- <a id="p100349"></a>звуковые волны на поверхности (SAW).
<a id="p100350"></a>Данный перечень не является исчерпывающим.
<a id="p100351"></a>Пользователь должен установить пределы обнаружения загрязнений. Повторяемость результатов должна быть в интервале от 75% до 125%.
<a id="p100352"></a>В [таблице C.1](#p100273) приведены рекомендации по выбору указанных выше методов контроля.





<a id="p100353"></a>Приложение D
(справочное)

<div align="right">

<a id="p100354"></a>**ТРЕБОВАНИЯ К ИЗОЛИРУЮЩИМ УСТРОЙСТВАМ**

</div>


<a id="p100355"></a>D.1. Общие положения
<a id="p100356"></a>D.1.1. Настоящее Приложение содержит требования к изолирующим устройствам с учетом защиты от молекулярных загрязнений в воздухе. Подробная информация о таких устройствах и областях их применения дана в [ГОСТ Р ИСО 14644-7](https://bukva.ai/docs/gost-r-iso-14644-7-2007).
<a id="p100357"></a>D.1.2. Следует учесть возможность выделения молекулярных загрязнений самим изолирующим устройством.
<a id="p100358"></a>В отдельных случаях, когда невозможно организовать прямой контроль молекулярных загрязнений (например, когда объем устройства слишком мал), единственным методом оценки молекулярных загрязнений в воздухе AMC является оценка молекулярных загрязнений на поверхностях SMC.
<a id="p100359"></a>*Примечание.* Как правило, соотношение между концентрацией SMC (отнесенной к единице площади поверхности) и концентрацией AMC неизвестно. В случаях, когда это соотношение установлено экспериментально (или другим способом), данные о SMC могут использоваться для оценки AMC.

<a id="p100360"></a>D.2. Специальные требования
<a id="p100361"></a>D.2.1. Особенности конструкции изолирующего устройства могут внести ограничения на методы отбора проб для оценки молекулярных загрязнений. В связи с этим метод отбора проб должен быть согласован заказчиком и исполнителем с учетом конструкции устройства и возможности доступа внутрь устройства.
<a id="p100362"></a>D.2.2. Материалы изолирующего устройства должны соответствовать требованиям [Приложения A](#p100137) настоящего стандарта. Во многих случаях в изолирующих устройствах используются гибкие экраны или барьеры в сочетании с эластичными перчатками, боксами и манипуляторами. Следует учитывать возможность выделения молекулярных загрязнений этими материалами.
<a id="p100363"></a>D.2.3. Следует учитывать возможность выделения молекулярных загрязнений при внесении изменений в материалы или конструкцию изолирующего устройства.
<a id="p100364"></a>D.2.4. При высокой чувствительности продукции к загрязнениям рекомендуется провести испытания изолирующего устройства в реальном процессе и оценить концентрацию молекулярных загрязнений на поверхностях продукции (см. [D.1.2](#p100357)).
<a id="p100365"></a>В случаях, когда оценка AMC проводится путем анализа SMC, следует учесть продолжительность времени, в течение которого продукция находится в изолирующем устройстве, что может оказать решающее влияние на величину загрязнений.





<a id="p100366"></a>Приложение E
(справочное)

<div align="center">

<a id="p100367"></a>**СВЕДЕНИЯ О СООТВЕТСТВИИ НАЦИОНАЛЬНЫХ СТАНДАРТОВ**

</div>

<div align="right">

**РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ССЫЛОЧНЫМ МЕЖДУНАРОДНЫМ СТАНДАРТАМ**

</div>


<a id="p100368"></a>Таблица E.1


<table>
<colgroup><col width="24%"><col width="76%"></colgroup>
<tr><td>Обозначение ссылочного международного стандарта</td><td>Обозначение и наименование соответствующего национального стандарта</td></tr>
<tr><td>ИСО 14644-4:2001</td><td><a href="https://bukva.ai/docs/gost-r-iso-14644-4-2002">ГОСТ Р ИСО 14644-4-2002</a> Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию</td></tr>
<tr><td>ИСО 14644-5:2004</td><td><a href="https://bukva.ai/docs/prikaz-gost-r-iso-14644-5-2005">ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005</a> Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация</td></tr>
<tr><td>ИСО 14644-6:2007</td><td>&lt;*&gt;</td></tr>
<tr><td>ИСО 14644-7:2004</td><td><a href="https://bukva.ai/docs/gost-r-iso-14644-7-2007">ГОСТ Р ИСО 14644-7-2006</a> Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 7. Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения)</td></tr>
<tr><td colspan="2">&lt;*&gt; Соответствующий национальный стандарт отсутствует. До его утверждения рекомендуется использовать перевод на русский язык данного международного стандарта. Перевод данного международного стандарта находится в Федеральном информационном фонде технических регламентов и стандартов.</td></tr>
</table>






<div align="center">

<a id="p100375"></a>**БИБЛИОГРАФИЯ**

</div>



1. <a id="p100376"></a>ISO 14644-4:2001 Cleanrooms and associated controlled environments -
   Part 4: Design, construction and start-up
2. <a id="p100377"></a>ISO 14644-5      Cleanrooms and associated controlled environments -
   Part 5: Operations
3. <a id="p100378"></a>ISO 14644-7      Cleanrooms and associated controlled environments -
   Part 7: Separative devices (clean air hoods,
   gloveboxes, isolators and mini-environments)
4. <a id="p100379"></a>ISO 14698        Cleanrooms and associated controlled environments -
   (all parts)      Biocontamination control
   <a id="p100380"></a>Методы оценки молекулярных загрязнений
   в воздухе - ссылочные документы
   <a id="p100381"></a>Пример методов оценки для определения молекулярных загрязнений в воздухе в следующих ссылочных документах:
5. <a id="p100382"></a>JACA No. 34:2000 Standard for Evaluation of Airborne Molecular
   Contaminants Emitted from Construction/Composition
   Materials for Clean Room
6. <a id="p100383"></a>JACA No.         Standard for Classification of Air Cleanliness for
   35A:2003         Airborne Molecular Contaminant
   (AMC) Level in Cleanrooms and Associated Controlled
   Environments and its Evaluation Methods
7. <a id="p100384"></a>JACA No. 43:2006 Standard for Evaluation Methods on Substrate Surface
   Contamination in Cleanrooms and Associated
   Controlled Environments
8. <a id="p100385"></a>SEMI E108-0301   Test Method for the Assessment of Outgassing Organic
   Contamination from Minienvironments using Gas
   Chromatography/Mass Spectrometry
9. <a id="p100386"></a>IEST-RP-CC031.1  Method for Characterizing Outgassed Compounds from
   Cleanroom Materials and Components
10. <a id="p100387"></a>IDEMA Standard  General Outgas Test Procedure by Dynamic Headspace
   M11-99          Analysis
11. <a id="p100388"></a>ASTM D5127-99   Standard Guide for Ultra Pure Water Used in the
   Electronics and Semiconductor Industry
   <a id="p100389"></a>------------------------------------------------------------------