ГОСТ 9847-79. Государственный стандарт Союза ССР. Приборы оптические для измерения параметров шероховатости поверхности. Типы и основные параметры
(утв. и введен в действие Постановлением Госстандарта СССР от 29.08.1979 № 3261)
(ред. от 01.04.1991)
от 29 августа 1979 г. № 3261
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ
Optical instruments for surface roughness parameters measuring. Basis parameters and types
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
1. Разработчики: А.Н. Кузнецов, А.А. Кучин.
2. Утвержден и введен в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.08.1979 № 3261.
3. Срок проверки — 1995 г., периодичность — 5 лет.
4. Ссылочные нормативно-технические документы
| Обозначение НТД, на который дана ссылка | Номер пункта |
|---|---|
| ГОСТ 2789-73 | Вводная часть |
5. Проверен в 1991 г. Ограничение срока действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 23.04.1991 № 551.
6. Переиздание (декабрь 1992 г.) с Изменениями № 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3-87, 7-91).
Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы (далее — приборы), действие которых основано на принципе одновременного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров R_{max} , Rz и S по ГОСТ 2789-73, а также устанавливает типы и основные параметры оптических приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчетного устройства.
Требования к величине линейного поля зрения (табл. 4, 5 и 6), а также требования пп. 2.1, 2.2.1 - 2.2.3, 2.4.1 - 2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, другие требования — рекомендуемыми.
(Измененная редакция, Изм. № 2).
1. ТИПЫ
Типы приборов устанавливаются следующие:
ПТС — прибор теневого сечения;
ПСС — прибор светового сечения;
МИИ — микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;
МПИ — микроскоп-профилометр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
2.1. Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов измерений, указанных в табл. 1.
| Тип прибора | Параметр шероховатости | Пределы измерений |
| ПТС | Rz, R max | 40 — 320 мкм |
| S | 0,2 — 1,6 мм | |
| ПСС | Rz, R max | 0,5 — 40 мкм |
| S | 0,002 — 0,5 мм | |
| МИИ | Rz, R max | 0,05 — 0,8 мкм |
| S | 0,002 — 0,05 мм | |
| МПИ | Rz, R max | 0,05 — 0,8 мкм |
Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы, указанные в табл. 1.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2.2. Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл. 2 и в пп. 2.2.1 - 2.2.3.
| Диапазон измерения параметров Rz и R , мкм max | Линейное поле зрения, мм, не менее | Увеличение объектива с дополнительной линзой, крат, не менее | Апертура объектива | Общее увеличение микроскопа, крат, не более |
|---|---|---|---|---|
| От 40 до 320 | 8 | 1 | 0,03 0,05 | 32 32 |
| От 10 до 40 | 2,5 | 4 | 0,1 0,12 0,15 | 80 60 60 |
| От 4 до 10 | 0,8 | 10 | 0,2 0,3 | 200 160 |
| От 1,6 до 4 | 0,8 | 12,5 | 0,4 0,45 | 260 200 |
| От 0,5 до 1,6 | 0,25 | 32 | 0,5 0,6 | 750 520 |
Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в Приложении 2.
2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.
2.2.2. Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.
2.2.3. Отклонение от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.
2.3; 2.3.1. (Исключены, Изм. № 1).
2.4. Основные параметры приборов типа МИИ должны соответствовать указанным в табл. 5 и пп. 2.4.1 - 2.4.3.
| Диапазон измерения параметров Rz и R , мкм max | Линейное поле зрения, мм, не менее | Апертура объектива | Общее увеличение микроскопа, крат, не более |
| От 0,1 до 0,8 | 0,25 | 0,3 | 400 |
| 0,5; 0,65 | 670 | ||
| От 0,05 до 0,4 | 0,25 | 0,85; 0,95 | 1120 |
| От 0,05 до 0,1 | 0,08 | 0,95; 1,25 | 2500 |
2.4.1. Искривление интерференционных полос в поле зрения в направлении измерения не должно быть более 0,1 полосы для диапазона измерения от 0,1 до 0,8 мкм и 0,05 полосы для диапазона измерения от 0,05 до 0,1 мкм.
2.4.2. Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через 1 ч после включения прибора.
2.4.3. Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения — 2 нм.
2.5. Основные параметры приборов типа МПИ должны соответствовать указанным в табл. 6.
| Наименование параметра | Пределы измерения параметров Rz и R , мкм max | |
| от 0,1 до 0,8 | от 0,05 до 0,5 | |
| Апертура объектива, не менее | 0,5 | |
| Линейное поле зрения, мм, не менее | 0,25 | |
| Общее увеличение прибора, не менее | 300 | 500 |
| Обратная линейная дисперсия диспергирующей системы для лямбда , нм/мм, не более | 60 | 30 |
| D | ||
| Предел разрешения диспергирующей системы для лямбда , нм, не более | 0,35 | 0,2 |
| D | ||
| Число интерференционных полос равного хроматического порядка в рабочей части поля зрения | 5 | 3 |
| Смещение интерференционных полос равного хроматического порядка в поле зрения в течение 15 мин через 1 ч после включения в долях полосы, не более | 1 | |
2.6. Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл. 2, 3, 5, 6.
2.7. Характеристики относительной погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру R_{max} на поверхности образцовых мер, не должны превышать значений, указанных в табл. 7.
| Диапазон измерения параметра R , мкм max | Базовая длина, мм | Предел допускаемой систематической составляющей погрешности, %, для типов | Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной составляющей погрешности, %, для типов | Предел допускаемой суммарной погрешности среднего трех измерений, %, для типов |
| ПТС, ПСС | ПТС, ПСС | ПТС, ПСС | ||
| Св. 160 до 320 | 8 | 2,0 | 0,5 | 2,5 |
| Св. 80 до 160 | 8 | 2,5 | 1,0 | 3,5 |
| Св. 40 до 80 | 8 | 3,0 | 1,7 | 5,0 |
| Св. 30 до 40 | 2,5 | 3,2 | 1,7 | 5,5 |
| Св. 20 до 30 | 2,5 | 3,6 | 2,0 | 6,5 |
| Св. 10 до 20 | 2,5 | 4,0 | 3,5 | 8,5 |
| Св. 6,3 до 10 | 0,8 | 5,0 | 4,5 | 10,0 |
| Св. 3,2 до 6,3 | 0,8 | 7,0 | 6,5 | 14,0 |
| Св. 1,6 до 3,2 | 0,8 | 9,0 | 8,0 | 20,0 |
| Св. 0,63 до 1,6 | 0,25 | 12,0 | 10,0 | 24,0 |
| Св. 0,5 до 0,63 | 0,25 | 16,0 | 12,0 | 30,0 |
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2.8. Характеристики относительной погрешности приборов типов МИИ и МПИ, определяемые по параметру R_{max} , не должны превышать значений, указанных в табл. 8.
| Тип прибора | Диапазон измерения параметров R , мкм max | Базовая длина, мм | Апертура объектива | Предел допускаемой систематической погрешности, % | Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной погрешности, % | Предел допускаемой суммарной погрешности трех измерений, % |
| МИИ | Св. 0,4 до 0,8 | 0,25 | 0,3 | 20 | 5 | 24 |
| От 0,5 до 0,65 | 14 | 5 | 18 | |||
| От 0,85 до 0,95 | 10 | 5 | 15 | |||
| МПИ | 0,5 | 14 | 5 | 18 | ||
| МИИ | Св. 0,1 до 0,4 | 0,25 | От 0,5 до 0,65 | 30 | 10 | 40 |
| От 0,85 до 1,25 | 20 | 10 | 30 | |||
| МПИ | 0,5 | 18 | 10 | 30 | ||
| МИИ | Св. 0,05 до 0,1 | 0,08 | От 0,95 до 1,25 | 30 | 20 | 50 |
| МПИ | 0,5 | 10 | 20 | 35 |
Приложение 1. (Исключено, Изм. № 1).
2. Увеличение объектива с дополнительной линзой для приборов типов ПТС и ПСС — увеличение оптической системы, проектирующей изображение в предметную плоскость окуляра.